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1. 发明申请

WO2004076101A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON MINIATURKÖRPERN ODER MIKROSTRUKTURIERTEN KÖRPERN 审中-公开
标题翻译：方法和设备微型物体或微结构体生产
公开(公告)号：WO2004076101A2
公开(公告)日：2004-09-10
申请号：PCT/EP2004/001892
申请日：2004-02-26
申请人： 3D-MICROMAC AG , EBERT, Robby , EXNER, Horst , HARTWIG, Lars , KEIPER, Bernd , KLÖTZER, Sascha , REGENFUSS, Peter
发明人： EBERT, Robby , EXNER, Horst , HARTWIG, Lars , KEIPER, Bernd , KLÖTZER, Sascha , REGENFUSS, Peter
IPC分类号： B22F3/105
CPC分类号： B22F5/003 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B29C64/153 , Y02P10/295
摘要： Die Erfindung betrifft Verfahren und Vorrichtungen zur Herstellung von Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern auf einem Träger in einer Bearbeitungskammer mit Laserstrahlen mindestens eines Lasers innerhalb oder außerhalb der Bearbeitungskammer im Vakuum oder unter Schutzgas, wobei Laserstrahlen über die Oberfläche des Trägers mit Partikeln führbar sind. Die Miniaturkörper und die mikrostrukturierten Körper werden dabei aus schichtweise aufgebrachten Partikeln realisiert. Zwischen dem Träger und den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern befinden sich Abstandskörper, die gleichfalls aus schichtweise aufgebrachten Partikeln bestehen. Diese Abstandskörper werden mit dem Bestrahlen durch Laserstrahlen so hergestellt, dass Partikel partiell flächig, flächig oder linienförmig in der betreffenden Ebene zu kleine Kontaktbereichsstrukturen und Leerstellen aufweisenden, deshalb zerstörbaren und folglich von dem Träger und von den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern separierbaren Abstandskörpern sintern. Gleichzeitig bilden sich Abstandskörper mit einer statischen Festigkeit aus, so dass eine sichere Positionierung der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper auf dem Träger und/oder im Pulverbett gegeneinander gegeben ist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于对由内或在真空下或在保护气体的处理室，其中，所述激光束被通过与颗粒上的基底的表面上的外部的至少一个激光器的激光束在一个处理室中的支撑生产微型体或微结构体的方法和装置。微型机构和微结构体由沉积的颗粒层来实现。是间隔元件，其同样由沉积在载体和微型体或微结构化机构之间的颗粒层。这些间隔体通过辐照产生的激光束，使得具有局部平面形的，平面的或线性的方式在各自的平面内小的接触面积的结构和空隙，因此可破坏并烧结从而从支撑可分离和微型体或微结构体的间隔体颗粒。在从本体形式的相同时间距离具有静态强度，使得载体和/或在粉末床的微型体或微结构体的可靠定位放置成抵靠彼此。

2. 发明申请

WO2023083759A1 VERFAHREN UND SYSTEM ZUR HERSTELLUNG EINES xMR-MAGNETFELDSENSORS 审中-公开
公开(公告)号：WO2023083759A1
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：PCT/EP2022/081008
申请日：2022-11-07
申请人： 3D-MICROMAC AG
发明人： BÖHM, Alexander , KEIPER, Bernd , BELGARDT, Christian , GRIMM, Michael , WERNER, Michael , ALBERT, Sven , KOBER, Uwe
IPC分类号： G01R33/00 , G01R33/09 , H10N50/10
摘要： Bei einem Verfahren zur Herstellung eines xMR-Magnetfeldsensors mit mindestens einem xMR-Sensorelement aus einem Werkstück (150), das eine oder mehrere Schichten eines xMR-Mehrschichtsystems aufweist, das eine hartmagnetische Referenzschicht mit einer Referenz- Magnetisierungsrichtung aufweist, wird eine Programmieroperation durchgeführt, in welcher die räumliche Orientierung der Referenz-Magnetisierungsrichtung in einem zur Bildung eines xMR-Sensorelements vorgesehenen Sensorbereich eingestellt und/oder verändert wird, indem die Referenzschicht in einer Laserbearbeitungsoperation in dem Sensorbereich (SB) mittels Laserstrahlung (105) lokal begrenzt über eine Schwellentemperatur hinaus aufgeheizt wird, der aufgeheizte Bereich der Referenzschicht zu Einstellung der Referenz-Magnetisierungsrichtung einem von einer Magnetisierungseinrichtung (160) bereitgestellten, externen Magnetfeld mit vorgebbarer Feldrichtung ausgesetzt wird und der aufgeheizte Bereich anschließend wieder unter die Schwellentemperatur abgekühlt wird. Die Laserbearbeitungsoperation umfasst eine Maskenprojektionsoperation, worin eine Maske (130) mit wenigstens einer Maskenapertur (133) in einer Maskenebene (132) angeordnet wird, die mit Abstand zu einer Bearbeitungsebene (122) der Laserbearbeitungsoperation angeordnet ist, ein die Maskenapertur enthaltenden Bereich der Maske mit einem oder mehreren Laserpulsen einer gepulster Laserstrahlung bestrahlt wird; und ein mit Laserstrahlung ausgeleuchteter Bereich der Maskenapertur mithilfe eines zwischen der Maskenebene und der Bearbeitungsebene angeordneten Abbildungsobjektivs (140) in die Bearbeitungsebene (122) abgebildet wird.

3. 发明授权

EP1597003B1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MINIATURKÖRPERN ODER MIKROSTRUKTURIERTEN KÖRPERN 有权
标题翻译：用于生产微小型组织或微结构体
公开(公告)号：EP1597003B1
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：EP04714738.4
申请日：2004-02-26
申请人： 3D-Micromac AG
发明人： EBERT, Robby , EXNER, Horst , HARTWIG, Lars , KEIPER, Bernd , KLÖTZER, Sascha , REGENFUSS, Peter
IPC分类号： B22F3/105 , B29C67/00
CPC分类号： B22F5/003 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B29C64/153 , Y02P10/295
摘要： The invention relates to methods and devices for producing miniature bodies or microstructured bodies on a support in a processing chamber in a vacuum or protective gas atmosphere, using laser beams of at least one laser that is placed inside or outside said chamber, whereby the laser beams are guided over the surface of the support that is provided with particles. The miniature bodies and the microstructured bodies are formed from particles that are applied in layers. Spacer bodies, which are likewise configured from particles that are applied in layers, are situated between the support and the miniature bodies. Said spacer bodies are produced by irradiation by the laser beams in such a way that particles are sintered in a partially planar, planar or linear manner on the corresponding plane to form small spacer bodies that have contact area structures and voids and can thus be destroyed and subsequently removed from the support and the miniature bodies or microstructured bodies. Spacer bodies are simultaneously formed with a static stability, allowing a secure positioning of the miniature bodies or microstructured bodies in relation to one another on the support and/or in the powder bed.

4. 发明公开

EP4405694A1 VERFAHREN UND SYSTEM ZUR HERSTELLUNG EINES xMR-MAGNETFELDSENSORS 审中-公开
公开(公告)号：EP4405694A1
公开(公告)日：2024-07-31
申请号：EP22813288.2
申请日：2022-11-07
申请人： 3D-Micromac AG
发明人： BÖHM, Alexander , KEIPER, Bernd , BELGARDT, Christian , GRIMM, Michael , WERNER, Michael , ALBERT, Sven , KOBER, Uwe
IPC分类号： G01R33/00 , G01R33/09 , H10N50/10
CPC分类号： G01R33/0052 , G01R33/09 , H10N50/01

5. 发明公开

EP1597003A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON MINIATURKÖRPERN ODER MIKROSTRUKTURIERTEN KÖRPERN 有权
标题翻译：用于生产微小型组织或微结构体
公开(公告)号：EP1597003A2
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：EP04714738.4
申请日：2004-02-26
申请人： 3D-Micromac Ag
发明人： EBERT, Robby , EXNER, Horst , HARTWIG, Lars , KEIPER, Bernd , KLÖTZER, Sascha , REGENFUSS, Peter
IPC分类号： B22F3/105 , B29C67/00
CPC分类号： B22F5/003 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B29C64/153 , Y02P10/295
摘要： The invention relates to methods and devices for producing miniature bodies or microstructured bodies on a support in a processing chamber in a vacuum or protective gas atmosphere, using laser beams of at least one laser that is placed inside or outside said chamber, whereby the laser beams are guided over the surface of the support that is provided with particles. The miniature bodies and the microstructured bodies are formed from particles that are applied in layers. Spacer bodies, which are likewise configured from particles that are applied in layers, are situated between the support and the miniature bodies. Said spacer bodies are produced by irradiation by the laser beams in such a way that particles are sintered in a partially planar, planar or linear manner on the corresponding plane to form small spacer bodies that have contact area structures and voids and can thus be destroyed and subsequently removed from the support and the miniature bodies or microstructured bodies. Spacer bodies are simultaneously formed with a static stability, allowing a secure positioning of the miniature bodies or microstructured bodies in relation to one another on the support and/or in the powder bed.

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