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1. 发明申请

WO2016076556A1 유도 가열 선형 증발 증착 장치 审中-公开
标题翻译：线性蒸发沉积装置使用感应加热
公开(公告)号：WO2016076556A1
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：PCT/KR2015/011565
申请日：2015-10-30
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 신용현
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/203
CPC分类号： H01L21/203 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 선형 증발 증착 장치를 제공한다. 상기 선형 증발 증착 장치는 제1 방향으로 연장되는 슬릿을 포함하는 진공 용기; 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하고, 도전성 재질로 형성되고, 노즐을 통하여 증착 물질을 토출하고, 제1 방향으로 배열된 직육면체 형상의 복수의 증착 셀들; 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기의 외부에 배치되어 상기 증착 셀들을 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및 상기 유도 가열 코일과 상기 증착 셀들 사이에 배치되고, 상기 유도 가열 코일에 의하여 형성된 유도 전자기장을 투과시키고, 상기 진공 용기의 상기 슬릿에 장착되어 상기 제1 방향으로 연장되는 유전체판을 포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种线性蒸发沉积装置。线性蒸发沉积装置包括：真空容器，其包括沿第一方向延伸的狭缝; 设置在真空容器中，接收沉积材料的多个长方体的沉积单元由导电材料形成，通过喷嘴排出沉积材料，并沿第一方向排列; 感应加热线圈，其在第一方向上延伸并设置在真空容器的外部，以感应加热方法加热沉积池; 以及设置在所述感应加热线圈和所述沉积单元之间的电介质板，以传输由所述感应加热线圈产生的感应电磁场并安装在所述真空容器的所述狭缝中以沿所述第一方向延伸。

2. 发明申请

WO2016167479A1 유도 가열 선형 증발 증착 장치 审中-公开
标题翻译：线性蒸发沉积装置使用感应加热
公开(公告)号：WO2016167479A1
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：PCT/KR2016/002630
申请日：2016-03-17
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 신용현
IPC分类号： H01L51/00 , H01L51/56 , H01L21/203
CPC分类号： H01L21/203 , H01L51/00 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 선형 증발 증착 장치를 제공한다. 이 선형 증발 증착 장치는 제1 방향으로 연장되는 진공 용기; 상기 진공 용기의 내부에 배치되고, 증착 물질을 수납하는 수납 공간을 포함하고, 도전성 재질로 형성되고, 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 발생시키고, 상기 수납 공간에 각각 연결되는 복수의 노즐부를 통하여 상기 증기를 분사하고, 상기 제1 방향으로 연장되는 증발 도가니; 상기 제1 방향으로 연장되고 상기 진공 용기 내부에 배치되고 유도 전기장을 형성하고, 상기 증발 도가니를 유도 가열하는 유도 가열 코일; 및 상기 증발 도가니를 상기 진공 용기에 고정하는 증발 도가니 지지부;를 포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种线性蒸发沉积装置。线性蒸发沉积装置包括：沿第一方向延伸的真空容器; 蒸发坩埚，其设置在所述真空容器内并由导电材料形成并沿所述第一方向延伸，其中所述蒸发坩埚包括用于接收待沉积材料的容纳空间，通过加热待沉积的材料产生蒸汽，蒸汽通过连接到接收空间的多个喷嘴; 感应加热线圈，其设置在所述真空容器内并沿所述第一方向延伸，其中所述感应加热线圈产生感应电场，并通过感应加热来加热所述蒸发坩埚; 以及将蒸发坩埚固定在真空容器上的蒸发坩埚支撑部。

3. 发明申请

WO2016024718A1 금속 기체 투과도 측정장치 审中-公开
标题翻译：金属气体渗透性测量装置
公开(公告)号：WO2016024718A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/007108
申请日：2015-07-09
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 성대진 , 신용현 , 김정형 , 임인태
IPC分类号： G01N15/08 , G01N1/44 , G01N25/00
CPC分类号： G01N1/44 , G01N15/08 , G01N25/00
摘要： 본 발명은 기체 투과도 측정 장치 및 기체 투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체 투과도 측정 장치는 중간에 오리피스를 가지는 측정 챔버; 상기 측정 챔버에 연결되고 판형의 측정하고자 하는 금속 시료를 금속 가스켓 양면 접속 피팅으로 결합한 시료 챔버; 상기 금속 시료의 주위를 감싸도록 배치되고 유전체로 형성된 보조 챔버; 및 상기 보조 챔버를 감싸도록 배치된 유도 가열 코일을 포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。气体渗透性测量装置包括：测量室，其中部具有孔口; 连接到测量室并且被测量的板状金属样品通过金属垫片双面连接配件联接到的样品室; 辅助室，其设置成围绕金属样品的周边并由电介质材料形成; 以及设置成围绕所述辅助室的感应加热线圈。

4. 发明申请

WO2015083957A1 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법 审中-公开
标题翻译：气体渗透性测量装置和气体渗透性测量方法
公开(公告)号：WO2015083957A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/KR2014/011111
申请日：2014-11-19
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 성대진 , 신용현 , 임인태
IPC分类号： G01N15/08 , G01N7/10
CPC分类号： G01N15/08 , G01N15/0826
摘要： 본 발명은 기체투과도 측정장치 및 기체투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체투과도 측정 장치는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버; 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버; 상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버; 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부; 상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;및 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 차압을 측정하는 차압계를 포함한다. 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 순차적으로 제공한다.
摘要翻译：本发明提供一种透气性测定装置和透气性测定方法。气体渗透性测量装置包括：填充有测量气体并保持在恒定压力的第一室; 与第一室串联连接的第二室; 与第二室串联连接的第三室; 分离板，其具有通孔并将所述第二室和所述第三室彼此分离; 电导控制部，设置在所述第二室和所述第三室之间的连接部，并且控制通过所述分离板的通孔的电导; 连接到第三室并将空气排出第三室的真空泵; 以及测量第二室和第三室之间的压差的差压表。样品设置在第一室和第二室之间的连接部分处，并且测量气体穿透样品以被输送到第二室。此外，电导控制部分依次提供至少两个不同的电导。

5. 发明申请

WO2014168352A1 증발 증착 장치 审中-公开
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：WO2014168352A1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：PCT/KR2014/002260
申请日：2014-03-18
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 유신재 , 신용현
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
摘要： 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
摘要翻译：提供了根据本发明的蒸发沉积设备及其操作方法。蒸发沉积装置包括：用于接收蒸发材料的第一腔; 用于通过所述第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道; 形成在所述第二腔中的蒸发器，包括用于径向排出具有点源的蒸汽并由导电材料形成的出口; 由导电材料形成的反射喷嘴，连接到出口，并且包括具有逐渐增大的直径的通孔; 用于覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及用于向感应线圈施加交流电力的交流电源。感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。

6. 发明申请

WO2014027778A1 증발 증착 장치 审中-公开
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：WO2014027778A1
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：PCT/KR2013/007020
申请日：2013-08-05
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 신용현 , 유신재 , 유용심
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/24
摘要： 본 발명은 증발 증착 장치를 제공한다. 이 장치는 증기를 제공받는 입구, 입구의 주위에 배치되어 증기의 방향을 전환하는 배플, 증기를 반사시키는 구형 또는 타원형의 케비티, 및 케비티에서 복수 회 반사 또는 산란된 증기를 점원에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하는 적분구, 내부에 증발물질이 담기고 제1 개구부를 통하여 증발된 증기를 적분구의 입구에 제공하는 도가니, 및 적분구 및 도가니를 감싸도록 배치되어 도가니 및 적분구를 가열하는 가열부를 포함하고, 적분구는 도전성 물질로 형성되고, 케비티의 내부 표면은 거칠어 증발 물질이 산란된다.
摘要翻译：蒸镀装置技术领域本发明涉及蒸镀装置。该装置包括：供给蒸汽的入口; 布置在入口附近以改变蒸汽方向的挡板; 反射蒸汽的球形或椭圆形腔; 具有出口的积分球，通过该出口，在空腔中反射或扩散多次的蒸汽通过点源径向排出; 其中引入蒸发材料的坩埚，坩埚将通过第一开口蒸发的蒸汽供应到积分球的入口; 以及加热单元，其布置成围绕积分球和坩埚以加热坩埚和积分球。积分球由导电材料形成，并且使空腔的内表面粗糙以使蒸发材料扩散。

7. 发明授权

KR101520804B1 광대역 파장 흡수 및 에너지변환을 이용한 고효율 태양전지 有权
公开(公告)号：KR101520804B1
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020130010162
申请日：2013-01-30
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 신용현
IPC分类号： H01L31/07 , H01L31/072 , H01L31/042
摘要： 본 발명은 이종 접합 양자점과 쇼트키 접합 태양 전지를 이용한 태양 전지를 제공한다. 이 태양 전지는 제1 도전형의 반도체층 및 제1 도전형의 반도체층 상에 형성된 금속층을 포함하는 쇼트키(Schottky) 접합 태양전지, 및 반도체층 상에 배치되고, 코어(core) 및 코어를 감싸는 셀(shell)을 가지는 이종 접합 양자점을 포함한다. 상기 이종 접합 양자점은 태양광을 흡수하여 형성된 전자-전공 쌍을 포스터 공명 에너지 전달(Forster resonance energy transfer;FRET)을 통하여 쇼트키(Schottky) 접합 태양전지에 전달한다.

8. 发明授权

KR101473345B1 증발 증착 장치 有权
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：KR101473345B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020120088125
申请日：2012-08-13
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 신용현 , 유신재
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/24
摘要： 본발명은증발증착장치를제공한다. 이장치는증기를제공받는입구, 입구의주위에배치되어증기의방향을전환하는배플, 증기를반사시키는구형또는타원형의케비티, 및케비티에서복수회 반사또는산란된증기를점원에의한방사형으로토출하는출구를포함하는적분구, 내부에증발물질이담기고제1 개구부를통하여증발된증기를적분구의입구에제공하는도가니, 및적분구및 도가니를감싸도록배치되어도가니및 적분구를가열하는가열부를포함하고, 적분구는도전성물질로형성되고, 케비티의내부표면은거칠어증발물질이산란된다.
摘要翻译：本发明提供的蒸发装置。通过滤饼蒂径向排出时，多次反射或散射的蒸气在mitke蒂圆形或椭圆形，其布置成围绕所述接收所述值滑移蒸汽入口，入口反射挡板，蒸汽在店员切换的蒸汽的方向积分球，它包括一个插座，以提供通过goje第一开口添加蒸发材料积分球入口坩埚内的闪蒸蒸汽，并且被布置成围绕所述积分球和坩埚被加热以加热所述坩埚和所述积分球部分包括，并且形成为导电材料的积分球，蛋糕的Bt的内表面是粗糙的蒸发材料被散射。

9. 发明公开

KR1020140122838A 증발 증착 장치 有权
标题翻译：蒸发沉积装置
公开(公告)号：KR1020140122838A
公开(公告)日：2014-10-21
申请号：KR1020130039747
申请日：2013-04-11
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 이주인 , 김정형 , 유용심 , 유신재 , 신용현
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/228 , C23C14/243
摘要： 본 발명의 증발 증착 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 이 증발 증착 장치는 증발물질을 수납하는 제1 케비티, 제1 케비티와 연결통로를 통하여 증기를 제공받는 제2 케비티, 및 제2 케비티에 형성되고 증기를 점원(point source)에 의한 방사형으로 토출하는 출구를 포함하고 도전체로 형성된 증발기, 도전체로 형성되고 출구에 연결되고 점점 직경이 증가하는 관통홀을 포함하는 반사 노즐, 반사 노즐 및 증발기를 감싸는 유도 코일, 및 유도 코일에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 유도 코일은 증발기 및 반사 노즐을 유도 가열하여 상기 증발 물질을 증발시키고, 증기는 반사 노즐을 통하여 토출된다.
摘要翻译：本发明提供蒸发沉积装置及其操作方法。蒸发沉积装置包括：蒸发器，其包括构造成接收蒸发材料的第一空腔，被构造成通过第一空腔接收蒸汽的第二腔和连接通道，以及形成在第二空腔中并被配置成径向排出蒸汽的蒸汽具有点源，其中所述蒸发器由导电材料形成; 由导电材料形成的反射喷嘴，其连接到出口，并且包括具有逐渐增加的直径的通孔; 构造成覆盖反射喷嘴和蒸发器的感应线圈; 以及被配置为向所述感应线圈施加AC电力的交流（AC）电源。感应线圈感应加热蒸发器和反射喷嘴以蒸发蒸发材料，蒸汽通过反射喷嘴排出。

10. 发明授权

KR101442409B1 유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치 有权
标题翻译：用于流量控制和颗粒复合特征测量装置的装置
公开(公告)号：KR101442409B1
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020130043451
申请日：2013-04-19
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 강상우 , 신용현 , 윤주영 , 문지훈 , 김동빈 , 김태성
IPC分类号： G01N15/02 , G01N27/64 , H01J49/26
摘要： A flow rate control device by means of the present invention comprises: a pipe-shaped first member which includes first flange units having the same shape on both ends thereof; a second member which has second flange units corresponding to the first flange unit, is connected with the first member through the surface contact of the first and second flange units, and includes a screw thread unit formed on the outer circumferential surface thereof; an adjusting member which has a female screw unit formed on the inner circumferential surface to be screwed with the screw thread unit and includes one side end which can be inserted into a position contacting the second flange unit; a moving member which is inserted and disposed in the second member and in an internal spatial part of the adjusting member, is roundly moved in an axial direction by being connected with the rotation of the adjusting member, and includes a body connected with one side end of the adjusting means through surface contact and a tip member coupled with a through-hole formed in the center of the second member so as to adjust the passing flow rate of a gas including particles flowing in the internal spatial part; and a third member which is coupled with the end of the moving member in order to be moved along with the moving member and has a third flange unit.
摘要翻译：本发明的流量控制装置包括：管状的第一构件，其包括在其两端具有相同形状的第一凸缘单元; 具有与第一凸缘单元相对应的第二凸缘单元的第二构件通过第一和第二凸缘单元的表面接触与第一构件连接，并且包括形成在其外周表面上的螺纹单元; 调节构件，其具有形成在与所述螺纹单元螺合的内周面上的内螺纹单元，并且包括能够插入到与所述第二凸缘单元接触的位置的一个侧端; 插入并设置在第二构件中和调节构件的内部空间部分中的移动构件通过与调节构件的旋转连接而在轴向方向上圆周地移动，并且包括主体，其与一个侧端调节装置通过表面接触和与形成在第二构件的中心的通孔联接的尖端构件以调节包括在内部空间部分中流动的颗粒的气体的通过流量; 以及与移动构件的端部联接以便与移动构件一起移动并具有第三凸缘单元的第三构件。

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