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1. 发明授权

KR102049413B1 멀티 프로브 시스템 有权
公开(公告)号：KR102049413B1
公开(公告)日：2019-11-27
申请号：KR1020170153155
申请日：2017-11-16
申请人： 한국생산기술연구원 , 한국전기연구원 , 한국기계연구원
发明人： 남경태 , 이상무 , 이승준 , 이광희 , 추성원 , 정순종 , 전재호 , 김인성 , 김민수 , 구보근 , 차현애
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073 , G01R1/04

2. 发明申请

WO2020111690A1 멀티 프로버용 척 조립체 및 채널 审中-公开
公开(公告)号：WO2020111690A1
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：PCT/KR2019/016249
申请日：2019-11-25
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 이승준 , 이광희
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073 , H01L21/683
摘要： 멀티 프로버용 척 조립체 및 채널이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 프로버용 척 조립체는 웨이퍼를 지지하는 척; 척 상부에 결합되는 프로프 카드 구조체; 척 하부에서 척을 히팅하는 히터; 히터의 하부에 히터로부터 이격 배치되는 도전성 가드판 및, 히터 및 가드판이 내부에 위치되도록 척 하부에 위치되는 몸체부를 포함하며, 프로프 카드 구조체 및 몸체부가 기계적으로 결합되어 카트리지형 구조를 갖도록 형성된다.

3. 发明申请

WO2022050453A1 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2022050453A1
公开(公告)日：2022-03-10
申请号：PCT/KR2020/011914
申请日：2020-09-04
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 모승기 , 이승준 , 이광희 , 추성원
IPC分类号： H01L21/66 , G01R1/073 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치를 제공한다. 본 발명은 프로브 카드, 웨이퍼, 개별척을 카트리지로 결합하거나 상기 카트리지를 분해하는 작업공간을 구비하는 본체 챔버; 상기 카트리지가 배치되는 배치부를 관통형성한 본체 챔버의 상판에 구비되며, 상기 카트리지가 이동되어 수용되는 내부공간을 구비하는 상부 챔버; 상기 배치부에 위치하는 카트리지의 일부를 클램핑하여 구속하거나 언클램핑하여 해제하는 록킹 모듈; 을 포함하여, 상기 록킹 모듈에서 언클램핑된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 검사 유닛 측으로 공급되거나 상기 검사 유닛에서 검사완료된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 상기 상부 챔버에 공급되어 상기 록킹 모듈에서 클램핑 고정된다.

4. 发明申请

WO2012002622A1 개폐모듈, 개폐모듈 제어 방법, 및 이를 이용한 이미징 장치 审中-公开
标题翻译：打开模块，控制打开模块的方法和使用其的成像装置
公开(公告)号：WO2012002622A1
公开(公告)日：2012-01-05
申请号：PCT/KR2010/007628
申请日：2010-11-02
申请人： 한국생산기술연구원 , 김덕준 , 지상훈 , 손웅희 , 이상무 , 남경태 , 이광희
发明人： 김덕준 , 지상훈 , 손웅희 , 이상무 , 남경태 , 이광희
IPC分类号： A61B6/04
CPC分类号： A61B6/4435
摘要： 본 발명은 개폐모듈, 개폐모듈 제어방법, 그리고 이를 이용한 다차원 촬영이 가능한 이미징 장치에 관한 것이다. 본 이미징 장치는 통공된 원판 형상이고 상기 통공된 원판 형상의 중심을 회전축으로 회전 이동되는 회전체, 그리고 통공된 원판 형상이고 상기 회전체의 이동이 상기 회전 이동만으로 제한되도록 상기 회전체의 일면에 타면이 연결되는 지지체를 포함하되, 상기 지지체는 일부가 상기 회전축 방향으로 분리된 후 상기 회전축을 중심으로 미리 정해진 각도만큼 회전 이동되는 지지체개폐부를 포함하고, 상기 회전체는 일부가 상기 지지체개폐부와 일체적으로 거동되는 회전체개폐부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 회전 시 발생되는 진동을 완화할 수 있고, 두께나 폭이 보다 슬림(slim)해져 차지하는 공간이 줄어들게 되므로 촬영대상에 보다 많은 공간이 할애될 수 있으며, 회전체 및 지지체의 측면이 선택적으로 개폐될 수 있어 개방된 측면 공간을 통해 촬영대상의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种打开模块，一种用于控制打开模块的方法以及使用该打开模块的多维拍摄成像装置。成像装置包括具有通孔的圆板形状的转子，具有用于转子的旋转轴的通孔的圆板的中心和具有通孔的圆板形状的支撑件，支撑件的另一个表面连接到转子的一个表面，以限制转子的移动，使得转子只能旋转。支撑件包括在支撑开口部分的一部分沿旋转轴线的方向分离之后相对于旋转轴线以预定角度旋转的支撑开口部分。转子包括其一部分与支撑开口部一体地操作的转子开口部。根据本发明，可以减少旋转期间发生的振动。此外，可以使成像装置更薄或更窄，以减少由此占据的空间。因此，由于成像装置可以确保用于拍摄对象的更大的空间，所以可以选择性地打开或关闭转子和支撑件的侧表面。因此，可以容易地使用由开放的侧面限定的空间来布置要拍摄的对象。

5. 发明申请

WO2014042351A1 갠트리 포지셔닝 장치 및 이를 이용한 영상 획득 장치 审中-公开
标题翻译： GANTRY定位装置和使用相同的图像采集装置
公开(公告)号：WO2014042351A1
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：PCT/KR2013/006555
申请日：2013-07-23
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김덕준 , 지상훈 , 이광희
IPC分类号： A61B6/03
CPC分类号： A61B6/547 , A61B6/035 , A61B6/4405
摘要： 본 발명은 자유도를 최소화하여 갠트리의 웨그 모션을 쉽게 구현할 수 있는 갠트리 포지셔닝 장치 및 이를 이용한 영상 획득 장치를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명의 갠트리 포지셔닝 장치는, 전후 방향으로 순차적으로 놓이는 영상 획득 장치의 갠트리와 본체를 캔틸레버 방식으로 연결하는 갠트리 포지셔닝 장치로, 갠트리에 구비되는 제1 연결 브라켓과, 본체에 구비되는 제2 연결 브라켓과, 그리고 제1 및 제2 연결 브라켓 사이에 구비되며 갠트리가 웨그 모션을 갖도록 제1 연결 브라켓을 좌우 방향으로 원호를 그리며 이송시키는 웨그 모션 유닛을 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种台架定位装置，其使自由度最小化，以便容易地实现龙门架的摇摆运动，以及使用其的图像获取装置。根据本发明的台架定位装置是一种龙门架定位装置，其连接台架和图像采集装置的主体，其以悬臂方式相继地在前后方向上铺设，并且包括：第一连接支架，龙门架，设置在主体中的第二连接支架，以及摆动运动单元，设置在第一和第二连接支架之间，该第一和第二连接支架沿着左右方向输送第一连接支架，同时拉出电弧，使得龙门架经历摇摆运动。

6. 发明公开

KR1020140035107A 갠트리 포지셔닝 장치 및 이를 이용한 영상 획득 장치 有权
标题翻译： GANTRY定位装置和使用该图像的图像获取装置
公开(公告)号：KR1020140035107A
公开(公告)日：2014-03-21
申请号：KR1020120101536
申请日：2012-09-13
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김덕준 , 지상훈 , 이광희
IPC分类号： A61B6/03
CPC分类号： A61B6/547 , A61B6/035 , A61B6/4405
摘要： The technical object of the present invention is to provide a gantry positioning apparatus and image obtaining apparatus using the same capable of easily realizing the wag motion of a gantry by minimizing the degree of freedom. For this, the gantry positioning apparatus of the present invention, which is a gantry positioning apparatus which connects a main body to the gantry of an image obtaining apparatus which is successively placed in the front and the rear direction with a cantilever method, includes a first connection bracket having a gantry, a second connection bracket having a main body, and a wag motion unit which is formed between the first and the second connection bracket and transfers the first connection bracket with a circular arc in the right and the left direction in order to allow the gentry to have a wag motion
摘要翻译：本发明的技术目的是提供一种使用该台架的台架定位装置和图像获取装置，能够通过最小化自由度来容易地实现龙门架的摇摆运动。为此，本发明的台架定位装置是将主体与连续地以悬臂方式连续配置在前后方向上的图像获取装置的机架连接的台架定位装置，具有台架的连接支架，具有主体的第二连接支架和形成在第一和第二连接支架之间的摆动运动单元，并且按顺序将左右方向上的第一连接支架以右弧和左方向的圆弧传送给第一连接支架让绅士有摇摆动作

7. 发明授权

KR102014334B1 기판 검사 카트리지 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102014334B1
公开(公告)日：2019-08-26
申请号：KR1020170126318
申请日：2017-09-28
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 이상무 , 이승준 , 이광희 , 추성원
IPC分类号： G01R1/04 , G01R1/073 , G01R31/28 , G01R3/00

8. 发明公开

KR1020120001696A 개폐모듈 및 개폐모듈 제어 방법 有权
标题翻译：打开和关闭模块，其控制方法
公开(公告)号：KR1020120001696A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：KR1020110102272
申请日：2011-10-07
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김덕준 , 지상훈 , 손웅희 , 이상무 , 남경태 , 이광희
IPC分类号： A61B6/04
摘要： PURPOSE: An opening and shutting module and a control method thereof are provided to alleviate vibration which is created in a rotation state by constituting a rotator as a penetrated disc shape. CONSTITUTION: An opening and shutting module(24) comprises a lift part and a rotational part. The lift part(241) separates an opening and shutting part. The rotational part(242) rotates and transfers the opening and shutting part as an angle which is established in advance on a rotating axis. An opening and shutting guide is formed on one side of a fixing part to a circumference direction. A transfer member is transferred according to the opening and shutting guide. A guide rod is projected to a rotating axis direction from the transfer member. One end of a connecting member is connected to one side of the opening and shutting part and the other end of the connecting member is projected to be possible to transfer according to a longitudinal direction of the guide rod.
摘要翻译：目的：提供一种打开和关闭模块及其控制方法，以通过构成旋转体作为穿透盘形来减轻在旋转状态下产生的振动。构成：打开和关闭模块（24）包括提升部分和旋转部分。提升部分241分隔开闭部分。旋转部（242）使开闭部旋转并将其作为预先设定在旋转轴上的角度。打开和关闭引导件形成在固定部件的与圆周方向一致的一侧上。转印构件根据打开和关闭导向器传送。导杆从转印构件向旋转轴线方向突出。连接构件的一端连接到开闭部的一侧，并且连接构件的另一端突出成能够根据导杆的纵向传送。

9. 发明授权

KR102218894B1 중복인식 물체를 처리하는 컨베이어 벨트 영상 처리장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102218894B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020190102532
申请日：2019-08-21
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 이광희 , 남경태 , 김현수 , 이승준 , 추성원
IPC分类号： B65G43/08 , B65G47/90 , G06T7/00
摘要： 본발명은중복인식을최소화하여영상처리 CPU리소스를최소화시킬수 있는중복인식물체를처리하는컨베이어벨트영상처리장치및 방법에관한것으로서, 본발명의일 형태에따르면, 물체를이송하는컨베이어벨트의이동거리를측정하는엔코더, 상기컨베이어벨트상을촬영하는비전카메라, 상기비전카메라와엔코더로부터수집되는정보로서, 상기비전카메라에의해촬영된물체의중복인식여부를판단하며, 그에따라상기컨베이어벨트상의물체를픽업하여이동시키거나정렬시키는로봇을제어하며, 상기컨베이어벨트의이송속도와물체의길이로서비전카메라의촬영주기를제어하는제어부를포함하는비전카메라를포함하는컨베이어벨트영상처리장치가제공된다.

10. 发明授权

KR102164132B1 멀티 프로버용 척 조립체 및 채널 有权
公开(公告)号：KR102164132B1
公开(公告)日：2020-10-12
申请号：KR1020180149659
申请日：2018-11-28
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 이승준 , 이광희
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073 , H01L21/683

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