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1. 发明申请

WO2022050453A1 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2022050453A1
公开(公告)日：2022-03-10
申请号：PCT/KR2020/011914
申请日：2020-09-04
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 모승기 , 이승준 , 이광희 , 추성원
IPC分类号： H01L21/66 , G01R1/073 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치를 제공한다. 본 발명은 프로브 카드, 웨이퍼, 개별척을 카트리지로 결합하거나 상기 카트리지를 분해하는 작업공간을 구비하는 본체 챔버; 상기 카트리지가 배치되는 배치부를 관통형성한 본체 챔버의 상판에 구비되며, 상기 카트리지가 이동되어 수용되는 내부공간을 구비하는 상부 챔버; 상기 배치부에 위치하는 카트리지의 일부를 클램핑하여 구속하거나 언클램핑하여 해제하는 록킹 모듈; 을 포함하여, 상기 록킹 모듈에서 언클램핑된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 검사 유닛 측으로 공급되거나 상기 검사 유닛에서 검사완료된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 상기 상부 챔버에 공급되어 상기 록킹 모듈에서 클램핑 고정된다.

2. 发明申请

WO2023074947A1 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2023074947A1
公开(公告)日：2023-05-04
申请号：PCT/KR2021/015322
申请日：2021-10-28
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 모승기 , 추성원
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/04 , G01R1/073
摘要： 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공한다. 본 발명은 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체를 포함하는 카트리지에서 상기 카드조립체와 척조립체를 락킹하는 장치에 있어서, 상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부; 상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함한다.

3. 发明申请

WO2023074942A1 멀티 프로버용 카트리지 이송장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2023074942A1
公开(公告)日：2023-05-04
申请号：PCT/KR2021/015277
申请日：2021-10-28
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 모승기 , 추성원
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/04
摘要： 멀티 프로버용 카트리지 이송 장치를 제공한다. 본 발명은 제1구동원에 의해서 본체프레임을 검사챔버의 폭방향과 나란한 Y축방향으로 이동시키는 제1이송부; 제2구동원에 의해서 내부프레임을 검사챔버의 높이방향과 나란한 Z축방향으로 이동시키는 제2이송부; 제3구동원에 의해서 왕복대를 Y축방향과 직교하는 X축방향으로 이동시키는 제3이송부; 및 상기 왕복대에 구비되는 제1서브레일과 활주이동가능하게 조립되는 상부캐리어판을 갖추고 상기 상부캐리어판을 Z축방향으로 이동시키는 제1서브구동원을 갖추며, 상기 상부캐리어판에 구비되는 제2서브레일과 활주이동가능하게 조립되는 하부캐리어판을 갖추며, 카트리지의 선,후단에 각각 관통형성된 제1,2암공과 대응하여 선택적으로 걸림연결되는 제1,2암을 선,후단에 각각 구비하는 하부캐리어판을 X축방향으로 이동시키는 제2서브구동원을 갖추어 상기 제1,2암에 구속된 카트리지를 X축방향으로 이송시키는 핸들러;를 포함한다.

4. 发明授权

KR102250702B1 멀티프로버 시스템용 얼라이너 및 이를 구비하는 멀티프로버 시스템 有权
公开(公告)号：KR102250702B1
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：KR1020190160193
申请日：2019-12-04
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 모승기 , 추성원 , 이광희 , 이승준
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073
摘要： 본발명의일 실시예에따른멀티프로버시스템용얼라이너는, 웨이퍼가안착되는척 조립체및 상기웨이퍼를검사하기위해탐침이형성되는프로브카드조립체를정렬및 결합시키기위한멀티포로버시스템용얼라이너로서, 상기웨이퍼와상기탐침을정렬시키도록하는얼라인척; 상기얼라인척이내부에위치하고상기얼라인척을기준으로회전가능하게형성되는테두리부및 상기테두리부하부에위치하고, 상기얼라인척과상기테두리부에결합되어상기테두리부를상기얼라인척을기준으로회전시키는락킹부를포함한다.

5. 发明授权

KR102014334B1 기판 검사 카트리지 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102014334B1
公开(公告)日：2019-08-26
申请号：KR1020170126318
申请日：2017-09-28
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남경태 , 이상무 , 이승준 , 이광희 , 추성원
IPC分类号： G01R1/04 , G01R1/073 , G01R31/28 , G01R3/00

6. 发明授权

KR102218894B1 중복인식 물체를 처리하는 컨베이어 벨트 영상 처리장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102218894B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020190102532
申请日：2019-08-21
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 이광희 , 남경태 , 김현수 , 이승준 , 추성원
IPC分类号： B65G43/08 , B65G47/90 , G06T7/00
摘要： 본발명은중복인식을최소화하여영상처리 CPU리소스를최소화시킬수 있는중복인식물체를처리하는컨베이어벨트영상처리장치및 방법에관한것으로서, 본발명의일 형태에따르면, 물체를이송하는컨베이어벨트의이동거리를측정하는엔코더, 상기컨베이어벨트상을촬영하는비전카메라, 상기비전카메라와엔코더로부터수집되는정보로서, 상기비전카메라에의해촬영된물체의중복인식여부를판단하며, 그에따라상기컨베이어벨트상의물체를픽업하여이동시키거나정렬시키는로봇을제어하며, 상기컨베이어벨트의이송속도와물체의길이로서비전카메라의촬영주기를제어하는제어부를포함하는비전카메라를포함하는컨베이어벨트영상처리장치가제공된다.

7. 发明授权

KR102049413B1 멀티 프로브 시스템 有权
公开(公告)号：KR102049413B1
公开(公告)日：2019-11-27
申请号：KR1020170153155
申请日：2017-11-16
申请人： 한국생산기술연구원 , 한국전기연구원 , 한국기계연구원
发明人： 남경태 , 이상무 , 이승준 , 이광희 , 추성원 , 정순종 , 전재호 , 김인성 , 김민수 , 구보근 , 차현애
IPC分类号： G01R31/28 , G01R1/073 , G01R1/04

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