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1. 发明申请

WO2014104780A1 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치 审中-公开
标题翻译：电磁波高频混合等离子体转鼓
公开(公告)号：WO2014104780A1
公开(公告)日：2014-07-03
申请号：PCT/KR2013/012252
申请日：2013-12-27
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 홍용철 , 윤정식 , 김지훈
IPC分类号： H05H1/26 , H05H1/28
CPC分类号： H05H1/28 , H05H1/30 , H05H1/3405 , H05H2001/4622
摘要： 본 발명의 목적은 종래 고주파 플라즈마 토치의 문제점을 해결하여, 고주파 플라즈마의 빠른 퀀칭과 이에 따른 불안정성을 극복할 수 있는 플라즈마 토치를 개발하는 것이다. 위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은, 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치를 개시할 수 있다. 상기 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치는 전자파를 발진시키는 전자파 발진기, 상기 전자파 발진기에 전원을 공급하는 전원공급부, 상기 전자파 발진기로부터 발생된 전자파가 전송되는 전자파 전송라인, 플라즈마 형성가스를 주입하기 위한 제 1 플라즈마 형성가스 공급부, 상기 전자파 전송라인으로부터 유입된 전자파와 상기 제 1 가스공급부로부터 주입된 플라즈마 형성가스에 의해 플라즈마가 발생되는 전자파 방전관, 상기 전자파 방전관으로부터 전자파 플라즈마 플로우가 유입되는 고주파 방전관, 상기 고주파 방전관과 동축이고 내부에 유도코일이 삽입되어 있는 유도코일 구조체, 상기 고주파 방전관을 중심으로 냉각수가 유입되어 배출되는 냉각수로, 및 상기 고주파 방전관으로 플라즈마 형성가스가 유입되는 제 2 플라즈마 형성가스 공급부를 포함할 수 있다.
摘要翻译：本发明的目的是解决传统的高频等离子体火炬的问题，开发能够快速淬灭高频等离子体的等离子体焰炬，其克服了由快速淬火引起的不稳定性。为了实现上述目的，根据本发明的一个实施例，公开了一种电磁波高频混合等离子体焰炬。电磁波高频混合等离子体焰炬可以包括：用于振荡电磁波的电磁波振荡器; 用于向电磁波振荡器供电的电源单元; 用于传输由电磁波振荡器产生的电磁波的电磁波传输线; 用于喷射等离子体形成气体的第一等离子体形成气体供给单元; 电磁波放电管，用于通过从电磁波传输线引入的电磁波和由第一等离子体形成气体供给单元喷射的等离子体形成气体产生等离子体; 用于引入来自电磁波放电管的电磁波等离子体流的高频放电管; 感应线圈结构，其与高频放电管同轴并且具有插入其中的感应线圈的内部; 冷却水通道，用于在高频排放管周围引入冷却水并排出冷却水; 以及用于将等离子体形成气体引入高频排放管的第二等离子体形成气体供给单元。

2. 发明申请

WO2013151284A1 중성자 발생원 审中-公开
标题翻译： NEUTRON源
公开(公告)号：WO2013151284A1
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：PCT/KR2013/002667
申请日：2013-04-01
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 유석재 , 김성봉 , 윤정식
IPC分类号： G21G4/02 , G21K7/00
CPC分类号： G21B1/05 , G21G4/02 , H05H3/06
摘要： 본 발명은, 타겟 부근에 고밀도 플라즈마 형성하고, 타겟의 표면 과열을 방지하여 높은 플럭스로 중성자를 생성할 수 있는 중성자 발생원을 제공함을 목적으로 하여, 상기 목적 달성을 위해, 타겟 근처에 자기장을 형성하고, 상기 자기장이 형성된 공간 내부에서 플라즈마를 발생시켜 타겟 근처에 고밀도 플라즈마를 형성함으로써 타겟으로부터 중성자를 높은 플럭스로 방출하게 하였다. 또한, 플라즈마를 펄스로 발생시킴과 동시에 타겟 전압을 펄스로 인가하여 타겟의 표면 과열을 방지하였고, 반응 진행 중 흡착원소가 소진된 타겟은 타겟 바이어스 전압을 조절하여 재흡착으로 지속적인 공정을 진행할 수 있게 하였다. 또한, 본 발명의 중성자 발생원은 타겟의 형상을 평판형, 원통형, 선형 등으로 자유로이 변형할 수 있게 하여 대면적형, 포터블형 등으로 다양한 응용에 활용되게 하였으며, 속이 빈 타겟을 제공하여 핵 융합 반응 효율의 향상과 타겟의 재활용을 도모하였다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种在靶附近形成高密度等离子体的中子源，防止靶的表面过热，从而产生具有高通量的中子。为此，在靶附近形成磁场，在形成有磁场的空间中产生等离子体，从而在靶附近形成高密度等离子体，能够以高通量排出中子从目标。此外，等离子体以脉冲形式产生，并且目标电压也以脉冲施加以防止靶的表面过热。对于反应期间吸附元素耗尽的目标，调整目标偏压以使得能够再吸附，从而进行该过程。此外，本发明的中子源能够使靶的形状自由地变形为扁平状，圆筒状，线状等，从而可以利用大型，便携式等的目标在各种应用中。可以提供空目标以实现提高的热核反应效率和目标的再利用。

3. 发明公开

KR1020100047481A 환상형 타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 有权
标题翻译：用于马尔代夫目标的MAGNETRON SPUTTERING设备
公开(公告)号：KR1020100047481A
公开(公告)日：2010-05-10
申请号：KR1020080106394
申请日：2008-10-29
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 김영우 , 김용현 , 윤정식 , 이봉주 , 유석재
IPC分类号： H01L21/203
CPC分类号： H01J37/345 , H01J37/3408
摘要： PURPOSE: A torodial target magnetron sputtering apparatus is provided to deposit a thin film with high quality by generating high density plasma at low pressure. CONSTITUTION: A magnetron sputtering apparatus emits an atom from a target and deposits the tin film on the substrate. A target(100) is installed so that the cylindrical or the plurality of targets face each other. Magnets(200,210) with different polarities are installed on the upper side and the lower side of the outer circumference of the target. The substrate is installed on the opening of the target to deposit the thin film. A plasma generator generates the plasma to the inside of the target by applying the voltage to the target and the substrate.
摘要翻译：目的：提供一种旋转靶磁控溅射装置，通过在低压下产生高密度等离子体，以高质量沉积薄膜。构成：磁控溅射装置从靶发射原子并将锡膜沉积在基底上。目标（100）被安装成使得圆柱形或多个目标彼此面对。具有不同极性的磁体（200,210）安装在靶的外周的上侧和下侧。将基板安装在靶的开口上以沉积薄膜。等离子体发生器通过向靶和衬底施加电压而将等离子体产生到靶的内部。

4. 发明授权

KR102132212B1 플라즈마 상태 진단 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102132212B1
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：KR1020190069856
申请日：2019-06-13
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 송중호 , 윤정식 , 조기환 , 송미영 , 김대철 , 김영우 , 김종식 , 김용현 , 한덕선 , 송재민
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/00

5. 发明授权

KR101305588B1 중성자 발생원 有权
标题翻译： NEUTRON发电机
公开(公告)号：KR101305588B1
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：KR1020120033751
申请日：2012-04-02
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 유석재 , 김성봉 , 윤정식
IPC分类号： G21G4/02 , G21K7/00
CPC分类号： G21B1/05 , G21G4/02 , H05H3/06
摘要： PURPOSE: A neutron source is provided to minimize the evaporation of fusion reaction elements, thereby generating neutron at high flux. CONSTITUTION: A target (200) is arranged within the chamber for plasma production. A magnetic structure (300) is installed around a target (200). The magnetic structure forms a magnetic field around the target. A microwave generator (500) irradiates microwaves. A power supply unit (400) applies voltage to the target. [Reference numerals] (500) Microwave; (AA) Plasma; (BB) Plane figure
摘要翻译：目的：提供中子源以最小化融合反应元件的蒸发，从而以高通量产生中子。构成：在室内设置靶（200）用于等离子体生产。磁性结构（300）安装在靶（200）周围。磁性结构在靶周围形成磁场。微波发生器（500）照射微波。电源单元（400）向目标电压施加电压。（附图标记）（500）微波; （AA）等离子体; （BB）平面图

6. 发明授权

KR101628740B1 플라즈마 및 플라즈마 처리된 무기물 분말을 이용하는 적조 제거 장치 有权
标题翻译：使用等离子体和等离子体处理的无机功率去除红潮装置
公开(公告)号：KR101628740B1
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：KR1020140172337
申请日：2014-12-03
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 홍용철 , 김강일 , 허진영 , 조창현 , 김예진 , 김지훈 , 윤정식 , 박수훈
IPC分类号： C02F1/40 , C02F1/28 , C02F1/48 , H05H1/24 , C02F1/52
CPC分类号： C02F1/40 , C02F1/28 , C02F1/48 , C02F1/52 , C04B35/628 , H05H1/24 , Y02E50/30
摘要： 적조제거장치가개시된다. 상기적조제거장치는피처리수및 무기물분말이투입되고, 상기피처리수및 상기무기물분말을혼합하는교반기를포함하는제1 챔버; 상기제1 챔버에수용된상기피처리수에플라즈마를생성하는제1 수중플라즈마발생장치; 상기제1 챔버내의플라즈마처리된피처리수및 무기물분말을상기제1 챔버의외부로방출하는제1 방류유로; 상기제1 방류유로를통해상기제1 챔버내에서플라즈마처리된상기무기물분말및 상기피처리수가유입되는제2 챔버; 및상기제2 챔버의일측에연결된제2 방류유로를포함하고, 상기제2 챔버내에서상기무기물분말은침전되면서상기피처리수의적조를제거하고, 적조가제거된상기피처리수는상기제2 방류유로를통해제2 챔버의외부로방류되는것을특징으로한다.
摘要翻译：公开了一种去除红潮的装置，其将待处理的水与无机粉末混合并用等离子体处理无机粉末，从而除去红潮。用于去除红潮的装置包括：第一室，被处理水和无机粉末被引入到该第一室中，并且包括将待处理的水与无机粉末混合的混合器; 第一水中等离子体发生器，其在待处理的水中产生等离子体，容纳在第一腔室中; 第一排水通道，其将等离子体处理的无机粉末和待处理的水排出第一室; 第二室，等离子体处理的无机粉末和待处理的水经由第一排水通道从第一室经过的第二室; 以及连接到第二室的一侧的第二排水通道。无机粉末在沉积在第二室内时，从被处理水中除去红潮，并且从其中除去红潮的被处理水经由第二排水通道排出第二室。

7. 发明授权

KR101359320B1 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치 有权
标题翻译：微波无线电频率混合等离子切割机
公开(公告)号：KR101359320B1
公开(公告)日：2014-02-10
申请号：KR1020120154137
申请日：2012-12-27
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 홍용철 , 윤정식 , 김지훈
IPC分类号： H05H1/26 , H05H1/28
CPC分类号： H05H1/28 , H05H1/30 , H05H1/3405 , H05H2001/4622
摘要： The purpose of the present invention is to develop a plasma torch capable of overcoming a quick quenching of a radio frequency plasma and instability according to the quick quenching by solving problems of conventional radio frequency plasma torch. For this, according to one embodiment of the present invention, a microwave-radio frequency hybrid plasma torch is disclosed. The microwave-radio frequency hybrid plasma torch may comprise: a microwave oscillator which oscillate microwaves; a power supply unit which supplies power to the microwave oscillator; a microwave transfer line through which the microwaves generated from the microwave oscillator are transferred; a first plasma-forming gas supplying part for injecting plasma-forming gas; a microwave discharge tube in which plasma is generated by the microwaves coming from the microwave transfer line and the plasma-forming gas injected from the first plasma-forming gas supplying part; a radio frequency discharge tube to which a flow of microwave-radio frequency plasma is flowed in from the microwave discharge tube; an induction coil structure which is mounted on a common axis, and in which an induction coil is inserted; a cooling water passage which cooling water is flowed in with the radio frequency discharge tube at the center and flowed out; and a second plasma-forming gas supplying part for injecting plasma-forming gas into the radio frequency discharge tube. [Reference numerals] (AA) Microwaves
摘要翻译：本发明的目的是通过解决常规射频等离子体焰炬的问题，开发能够克服射频等离子体的快速淬火和根据快速淬火的不稳定性的等离子体焰炬。为此，根据本发明的一个实施例，公开了一种微波 - 射频混合等离子体焰炬。微波 - 射频混合等离子体焰炬可以包括：微波振荡器，其振荡微波; 向微波振荡器供电的电源单元; 从微波振荡器产生的微波通过微波传输线; 用于注入等离子体形成气体的第一等离子体形成气体供给部件; 微波放电管，其中来自微波传输线的微波和从第一等离子体形成气体供应部分喷射的等离子体形成气体产生等离子体; 射频放电管，其中微波射频等离子体流从微波放电管流入; 感应线圈结构，其安装在公共轴线上，并且其中插入感应线圈; 一个冷却水通道，冷却水在射频放电管中心流入，流出; 以及用于将等离子体形成气体注入到射频放电管中的第二等离子体形成气体供给部。（附图标记）（AA）微波

8. 发明授权

KR101105842B1 환상형 타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 有权
标题翻译：用于马尔代夫目标的MAGNETRON SPUTTERING设备
公开(公告)号：KR101105842B1
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：KR1020080106394
申请日：2008-10-29
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 김영우 , 김용현 , 윤정식 , 이봉주 , 유석재
IPC分类号： H01L21/203
摘要： 본 발명은 환상형 타겟 마그네트론 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 증착하고자 하는 대상이 되는 기판과, 상기 기판에 증착하고자 하는 물질로 이루어진 타겟에서 원자를 방출하여 기판에 박막을 증착시키는 마그네트론 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 타겟은 원통 형상 또는 다수의 타겟이 서로 마주보게 설치되고, 상기 타겟의 외주면에 서로 다른 극성을 가지고 구비되는 마그네트, 상기 기판은 상기 타겟의 개방부로 박막 증착을 위해 설치되며, 상기 타겟과 기판으로 전압을 인가하여 타겟의 내측으로 플라즈마 생성을 위해 플라즈마 생성수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 낮은 압력에서도 고밀도 플라즈마를 발생할 수 있어서 증착율의 향상 및 고품질의 박막을 증착시키고, 고에너지 입자들에 의한 박막의 손상을 방지하며, 2차 전자에 의한 기판 온도 상승을 방지할 수 있어 기판 선택의 제약이 없는 이점이 있다.
환상형, 스퍼터링, 마그네트론, 플라즈마, 타겟

9. 发明授权

KR100900843B1 헬륨액화기 엔진밸브의 간극 조절기 및 간극 조절방법 有权
标题翻译：氦液化器中发动机阀的间隙调节器及其调节方法
公开(公告)号：KR100900843B1
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：KR1020070084813
申请日：2007-08-23
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 김영선 , 진종국 , 윤정식
IPC分类号： F25J1/02
摘要： 본 발명은 헬륨액화기 엔진밸브의 간극 조절기 및 간극 조절방법에 관한 것으로, 압축된 헬륨가스가 흡입밸브를 통해 실린더내로 유입된 헬륨가스의 팽창으로 피스톤이 운동하고 상기 실린더내에서 팽창된 헬륨가스가 배기밸브를 통해 방출될 때, 상기 피스톤의 운동으로 플라이휠이 회전하고 이와 연동되는 밸브암에 연결되어 상하 운동하면서 헬륨액화기 엔진밸브인 흡입밸브와 배기밸브의 헬륨가스의 양을 조절하는 밸브막대의 간극을 조절하기 위한 헬륨액화기 엔진밸브의 간극 조절기에 있어서, 나사선이 형성된 홈과 상기 홈과 연통되게 측면에서 관통되는 나사선이 가공된 홀을 구비한 몸체, 일측이 상기 몸체에 구비된 홈에 나사 결합되고, 타측이 상기 밸브막대의 상부면과 접하여 간극을 조절하는 간격조절부 및 상기 몸체의 측면에 형성된 홀에 나사 결합되어 상기 간격조절부를 고정시키는 고정부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
엔진밸브, 플라이휠, 밸브막대, 헬륨액화기, 간격조절부

10. 发明公开

KR1020090020232A 헬륨액화기 엔진밸브의 간극 조절기 및 간극 조절방법 有权
标题翻译：发动机阀门在呼吸液中的间隙调节器及其调节方法
公开(公告)号：KR1020090020232A
公开(公告)日：2009-02-26
申请号：KR1020070084813
申请日：2007-08-23
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 김영선 , 진종국 , 윤정식
IPC分类号： F25J1/02
CPC分类号： F25J1/0257 , F01L1/20 , F16B37/02 , F25J1/0228 , F25J2215/30
摘要： A clearance adjuster of a helium liquefier engine valve is provided to increase output of liquid helium and maintain concerned equipment in a good operating state by accurately adjusting clearances of suction and exhaust valves of a helium liquefier engine. A clearance adjuster of a helium liquefier engine valve comprises: a body(23) including a groove which is penetratingly formed in a top part of the body, and on which a screw thread(24) is formed, and holes which are penetrated into both sides of the body such that the holes are in communication with the groove, and on which a screw thread is formed; a clearance adjusting part(21) of which one side is screwed to the groove formed on the groove formed in the body, and of which the other side is brought into contact with a top side of a valve rod to adjust a clearance; and fixing members(22) screwed to the holes formed in sides of the body to fix the clearance adjusting part. The body is fixed by a support(25) inserted into the groove formed in the top part of the body such that the support is screwed to the body.
摘要翻译：提供氦液化器发动机阀的间隙调节器，以通过精确调节氦液化器发动机的吸入和排出阀的间隙来增加液氦的输出并将相关设备维持在良好的运行状态。氦液化器发动机阀的间隙调节器包括：主体（23），其包括穿孔地形成在主体的顶部的槽，并且其上形成有螺纹（24），并且穿过其中的孔使得孔与槽连通，并在其上形成螺纹; 间隙调节部（21），其一侧与形成在所述主体中的所述槽形成的所述槽螺纹连接，并且另一侧与阀杆的顶侧接触以调节间隙; 以及固定构件（22），其旋拧到形成在主体侧面的孔以固定间隙调节部。主体通过插入到形成在主体顶部的凹槽中的支撑件（25）固定，使得支撑件与主体螺纹连接。

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