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    • 7. 发明申请
    • 평면 표시 장치의 검사 장치 및 그 장치에서의 검사 방법
    • 用于平面显示装置的测试装置和使用它的测试方法
    • WO2012011784A2
    • 2012-01-26
    • PCT/KR2011/005443
    • 2011-07-22
    • 경북대학교 산학협력단김지현
    • 김지현
    • G01N21/88G02F1/13G01B11/24G01B9/02
    • G02F1/1309
    • 평판 표시 장치의 검사장치 및 그 장치에서의 검사 방법이 개시된다. 상기 평판 표시 장치의 검사 장치는 광원으로부터 출사된 광을 분할하고 분할된 광을 광섬유 터미널들을 통해 각각 출사하는 빔 스플릿터; 상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 고속으로 위상 스캔하고, 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 고속 광 위상 지연기; 상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하고, 상기 평판 표시 장치로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 샘플 스캐너; 상기 고속 광 위상 지연기 및 상기 샘플 스캐너로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터를 통해 입사하고, 입사된 광을 전기적 신호로 변환하는 광 검출기; 및 상기 광 검출기로부터 출력된 전기적 신호로부터 영상을 생성하고, 상기 생성된 영상에서 상기 평판 표시 장치의 결함을 관찰하기 위해 상기 생성된 영상을 표시하는 영상 신호 처리기를 포함한다.
    • 公开了一种用于平板显示装置的测试装置和使用它的测试方法。 平板显示装置的测试装置包括:分束器,用于分离从光源发射的光,并用于通过光纤终端分开发射分光; 高速光相位延迟器,用于高速相位扫描从分束器入射的光并将反射光传送到分束器; 用于将从分束器入射的光照射到平板显示装置,待测试物体上并将从平板显示装置反射的光透射到分束器的样本扫描器; 光检测器,用于使用分束器入射从高速光相位延迟器和样本扫描器反射的光,并将入射的光调制成电信号; 以及图像信号处理单元,用于从由光检测器输出的电信号产生图像,并且用于显示生成的图像以观察平面显示装置上的图像中的缺陷。
    • 9. 发明申请
    • 광단층 모니터링 현미경
    • 用于监测光学相干图像的显微镜
    • WO2013081252A1
    • 2013-06-06
    • PCT/KR2012/001704
    • 2012-03-08
    • 경북대학교 산학협력단김지현김홍균이창호김경운이준훈한승훈박기범
    • 김지현김홍균이창호김경운이준훈한승훈박기범
    • A61B3/10A61B3/12A61B3/14
    • G02B21/361A61B3/102A61B3/13G02B21/365
    • 본 발명은 광단층 모니터링 현미경에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광단층 모니터링 현미경은, 샘플대 정면으로부터 제1 대물렌즈, 빔스플리터(beam splitter) 및 접안렌즈가 순차적으로 배치되는 현미경 이미지 제공부; 및 광단층(Optical Coherent Tomography) 이미지를 생성한 후, 상기 현미경 이미지 제공부의 빔스플리터로 제공하는 OCT 이미지 제공부;를 구비하고, 상기 OCT 이미지 제공부는 상기 샘플의 표면이미지와 동일한 위치의 OCT 이미지를 생성하여 상기 현미경 이미지 제공부의 빔스플리터로 제공하고, 상기 현미경 이미지 제공부는 상기 빔스플리터를 통해 상기 OCT 이미지 제공부로부터 OCT 이미지가 제공되는 경우, 상기 샘플의 표면 이미지와 OCT 이미지를 동시에 상기 접안렌즈로 출력하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及一种用于监测光学相干层析成像的显微镜。 显微镜包括:显微镜图像提供部,其中第一物镜,分束器和眼镜片从样本支架的前表面连续设置; 以及在产生光学相干断层摄影图像之后,在显微镜图像提供部分的分束器中提供光学相干断层摄影图像的OCT图像提供部分。 OCT图像提供部分产生具有与样本的表面图像相同位置的OCT图像,以将OCT图像提供到显微镜图像提供部分的分束器中。 当从OCT图像提供部分通过分束器提供OCT图像时,显微镜图像提供部分将OCT图像输出到眼镜。