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    • 9. 发明申请
    • 평면 표시 장치의 검사 장치 및 그 장치에서의 검사 방법
    • 用于平面显示装置的测试装置和使用它的测试方法
    • WO2012011784A2
    • 2012-01-26
    • PCT/KR2011/005443
    • 2011-07-22
    • 경북대학교 산학협력단김지현
    • 김지현
    • G01N21/88G02F1/13G01B11/24G01B9/02
    • G02F1/1309
    • 평판 표시 장치의 검사장치 및 그 장치에서의 검사 방법이 개시된다. 상기 평판 표시 장치의 검사 장치는 광원으로부터 출사된 광을 분할하고 분할된 광을 광섬유 터미널들을 통해 각각 출사하는 빔 스플릿터; 상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 고속으로 위상 스캔하고, 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 고속 광 위상 지연기; 상기 빔 스플릿터로부터 입사된 광을 검사 대상인 상기 평판 표시 장치에 조사하고, 상기 평판 표시 장치로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터로 전송하는 샘플 스캐너; 상기 고속 광 위상 지연기 및 상기 샘플 스캐너로부터 반사된 광을 상기 빔 스플릿터를 통해 입사하고, 입사된 광을 전기적 신호로 변환하는 광 검출기; 및 상기 광 검출기로부터 출력된 전기적 신호로부터 영상을 생성하고, 상기 생성된 영상에서 상기 평판 표시 장치의 결함을 관찰하기 위해 상기 생성된 영상을 표시하는 영상 신호 처리기를 포함한다.
    • 公开了一种用于平板显示装置的测试装置和使用它的测试方法。 平板显示装置的测试装置包括:分束器,用于分离从光源发射的光,并用于通过光纤终端分开发射分光; 高速光相位延迟器,用于高速相位扫描从分束器入射的光并将反射光传送到分束器; 用于将从分束器入射的光照射到平板显示装置,待测试物体上并将从平板显示装置反射的光透射到分束器的样本扫描器; 光检测器,用于使用分束器入射从高速光相位延迟器和样本扫描器反射的光,并将入射的光调制成电信号; 以及图像信号处理单元,用于从由光检测器输出的电信号产生图像,并且用于显示生成的图像以观察平面显示装置上的图像中的缺陷。