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1. 发明申请

WO2012105786A3 기판 지지용 보트 및 이를 사용한 지지유닛 审中-公开
公开(公告)号：WO2012105786A3
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：PCT/KR2012/000715
申请日：2012-01-31
申请人： 주식회사 테라세미콘 , 강호영 , 박경완 , 조병호 , 박주영
发明人： 강호영 , 박경완 , 조병호 , 박주영
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324 , G02F1/13
摘要： 기판 지지용 보트 및 이를 사용한 지지유닛이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 지지용 보트 및 지지유닛은 기판의 전체면이 균일하게 지지되므로, 기판의 처리시 기판이 자중에 의하여 처지는 것이 방지된다. 그러므로, 기판을 처리하여도, 기판의 특성 변화가 없으므로, 기판의 처리공정의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

2. 发明申请

WO2018021807A1 무어링 장치 审中-公开
标题翻译：系泊设备
公开(公告)号：WO2018021807A1
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：PCT/KR2017/008014
申请日：2017-07-25
申请人： 조병호
发明人： 조병호
IPC分类号： B63B21/50 , B63B21/26 , B63B35/44
摘要： 본 발명에 따른 무어링 장치는 선체에서 하강하여 해저면에 위치되는 하우징; 상기 하우징에 형성되는 제1 관통홀에 삽입되고, 해저면에서 상기 하우징을 빠져나와 해저면에 박혀 고정되는 드리븐 파일; 그리고, 상기 드리븐 파일이 해저면에 박혀 고정되면, 상기 드리븐 파일에 형성된 가이드 홀을 빠져나와 해저지반을 뚫고 내려가 상기 드리븐 파일의 지지력을 보강해주는 앵커 라인을 포함하여 이루어진다.
摘要翻译：根据本发明的系泊装置包括：壳体，其从船体下降并位于海床上; 被驱动的锉刀插入形成在壳体中的第一通孔并从海底的壳体的底部离开，然后，该文件被在海底提出时，从形成穿过海底地基包括锚线，这加强了驱动文件的支撑力向下驱动的文件中的导向孔出口处的从动定影来完成的。

3. 发明申请

WO2012011629A1 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡的多通道光束结构及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011629A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005906
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
发明人： 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R3/00
摘要： 본 발명은 프로브 카드의 기판부재 위에 형성되는 기단부; 일측 단부가 상기 기단부의 상면에 고정되고, 측 방향으로 연장되는 하부 빔; 하부 빔의 양측 단부 위에 각각 형성되는 지지부; 양측 단부가 각 지지부의 상면에 고정되고, 하부 빔과 상하로 일정 간격을 두고 평행한 구조로 이루어지는 상부 빔; 상부 빔의 타측 단부에서 수직하게 돌출 형성되어 반도체 웨이퍼에 전기 접속하는 프로브 팁;을 포함하여 구성되고, 상기 기단부와, 하부 빔, 지지부, 상부 빔 및 프로브 팁은 공간 변환기 위에서 MEMS 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이러한 제조방법에 의하면, 다중 캔틸레버 빔이 공간 변환기 위에서 MEMS 방식을 통해 3차원적으로 형성됨으로써, 프로브 팁 사이의 간격은 좁아지면서도 빔 사이의 간격은 넓어지도록 2단 빔의 각도를 조절할 수 있게 된다.
摘要翻译：本发明涉及一种多悬臂梁结构及其制造方法，所述多悬臂梁结构包括：形成在探针卡的基板构件上的立体部分;下梁，其一端固定在上立体声部分的表面并沿横向方向延伸; 支撑部分形成在下梁的两端; 支撑部分形成在下梁的两端; 分别具有固定在所述支撑部上的两端的上梁，并且被构造成在上下方向上以规则的间隔具有与所述下梁平行的结构; 以及探针尖端，其形成为从所述上梁的另一端垂直突出以与半导体晶片电连接，其中所述立体声部分，下梁，支撑部分，上梁和探针尖端形成在空间变压器上一个MEMS方案。根据该制造方法，通过MEMS方式在空间变换器上三维地形成多个悬臂梁，这使得可以控制两段梁的角度，使得梁之间的距离变宽，而间隙探针尖端之间变窄。

4. 发明申请

WO2021002690A1 테스트용 소켓 审中-公开
公开(公告)号：WO2021002690A1
公开(公告)日：2021-01-07
申请号：PCT/KR2020/008625
申请日：2020-07-02
申请人： 주식회사 새한마이크로텍 , 주식회사 마이크로프랜드 , 김학준 , 조병호
发明人： 김학준 , 조병호 , 박상희 , 조용호
IPC分类号： G01R1/073 , G01R1/04 , G01R1/067 , G01R31/28
摘要： 본 발명은 전기 소자의 전기적 특성 측정에 사용되는 테스트용 소켓에 관한 것이다. 본 발명은, 마주보는 단자들 사이에 배치되어 단자들을 전기적으로 접속시키는 테스트 소켓으로서, 그 양단부가 마주보는 파워 또는 신호 단자들과 접촉하는 제1 접촉 핀들과, 그 양단부가 마주보는 접지 단자들과 접촉하는 제2 접촉 핀과, 상기 제1 접촉 핀들을 서로 연결하는 적어도 하나의 제1 브릿지와, 상기 제1 접촉 핀과 상기 제2 접촉 핀을 서로 연결하는 적어도 하나의 제2 브릿지를 포함하는 테스트 소켓을 제공한다.

5. 发明申请

WO2012169754A2 기판 처리 장치 审中-公开
标题翻译：基板处理装置
公开(公告)号：WO2012169754A2
公开(公告)日：2012-12-13
申请号：PCT/KR2012/004397
申请日：2012-06-04
申请人： 주식회사 테라세미콘 , 강호영 , 조병호
发明人： 강호영 , 조병호
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/324 , H01L21/6719 , H01L21/6776 , H01L21/68742
摘要： 기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 홀더는 챔버에 배치되어 남아있고, 기판만이 챔버에 로딩되고 챔버로부터 언로딩된다. 따라서, 홀더를 재가열하기 위한 에너지 및 시간이 상대적으로 적게 소요되므로, 기판 처리 공정의 생산성이 향상되는 효과가 있다.
摘要翻译：提供了一种基板处理装置。在根据本发明的基板处理装置中，保持器设置成保持在室内，并且仅将基板装载到室中或者从室卸载。因此，由于重新加热保持器所需的能量和时间相对较少，所以可以提高基板处理工艺中的生产率。

6. 发明申请

WO2013165042A1 혈액 분리를 위한 칩 및 이를 구비한 진단 기구 审中-公开
标题翻译：用于分离血液和诊断工具的芯片
公开(公告)号：WO2013165042A1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：PCT/KR2012/003637
申请日：2012-05-09
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 박상희
发明人： 조병호 , 조용호 , 박상희
IPC分类号： G01N33/49 , G01N35/08 , B01D21/28 , G01N27/30
CPC分类号： B01D21/283 , B01D2221/10 , B01L3/502761 , B01L2200/0636 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , B01L2400/0439 , B01L2400/0487 , G01N33/491
摘要： 본 발명은 기판; 상기 기판 상부에 형성되며 검사를 위한 혈액이 유입되는 전처리 유입로; 상기 기판 하부에 형성되며 상기 전처리 유입로를 지나는 혈액에 초음파 진동을 부여하는 초음파 진동자; 상기 초음파 진동자에 의한 초음파 진동을 부여받은 혈액 흐름을 분기하기 위한 분기 노드; 및 상기 분기된 혈액을 출력하는 전처리 유출로를 포함하는 혈액 분리를 위한 칩을 제공하며, 이때 상기 초음파 진동자 및 상기 분기 노드는 분리하고자 하는 혈장의 정제 정도에 따라서 가감될 수 있다.
摘要翻译：本发明提供一种用于分离血液的芯片，包括：基底; 预处理引入路径，其形成在基板的顶部，并且通过其引入用于测试的血液; 超声波振荡器，其形成在所述基板下方，用于对通过所述预处理引入路径的血液施加超声波振动; 分支节点，用于通过超声波振荡器分支施加了超声波振动的血液流; 以及用于输出分支血液的预处理放电路径，其中根据要分离的血浆的细化程度，可以添加或去除超声波振荡器和分支节点。

7. 发明申请

WO2012011628A1 프로브 카드 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011628A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005904
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 김헌수
发明人： 조병호 , 조용호 , 김헌수
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07342 , G01R1/06727 , G01R3/00
摘要： 본 발명은 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되는 공간 변환기, 그리고 공간 변환기 위에 장착되어 웨이퍼에 접속하는 프로브를 포함하여 구성되는 프로브 카드에 있어서, 상기 공간 변환기는, 미리 설정된 패턴으로 도전성 금속 재질의 베이스 컨택이 형성된 공용기판과; 상기 공용기판의 상면에 MEMS 방식으로 형성되고, 베이스 컨택과 전기적으로 연결되는 도전성 금속 재질의 상부 도금층; 상기 공용기판의 상면에 MEMS 방식으로 형성되는 PI 재질의 상부 절연층; 상기 상부 절연층 내부에 MEMS 방식으로 형성되고, 상부 도금층과 전기적으로 연결되는 도전성 금속 재질의 상부 컨택;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种探针卡及其方法，所述探针卡包括：电连接到印刷电路板的空间变压器; 以及安装在所述空间变压器上并与晶片接触的探针，其中所述空间变压器包括：公共基板，以预设图案形成有导电金属基部触点; 导电金属上电镀层，其以公共基板的上表面形成为MEMS方案，并与基极触点电连接; 在公共基板的上表面上以MEMS方式形成的由PI材料制成的上绝缘层; 以及在上述绝缘层的内侧的MEMS方式形成的导电性金属上接点，与上部电镀层电连接。

8. 发明申请

WO2012148237A3 기판 지지용 홀더 및 이를 사용한 기판 처리 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2012148237A3
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：PCT/KR2012/003338
申请日：2012-04-30
申请人： 주식회사 테라세미콘 , 허관선 , 박주영 , 조병호
发明人： 허관선 , 박주영 , 조병호
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 기판 지지용 홀더 및 이를 사용한 기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 지지용 홀더 및 이를 사용한 기판 처리 장치는 받침판에 착탈가능하게 결합된 지지핀에 기판이 접촉 지지된다. 그런데, 지지핀은 기판의 승온 또는 냉각에 미미한 영향을 미치므로, 기판을 승온 또는 냉각시키는데 소요되는 시간이 상대적으로 짧다. 따라서, 기판 처리의 생산성이 향상되는 효과가 있다. 그리고, 기판이 받침판으로부터 이격되어 있으므로, 기판을 받침판으로부터 이격시키기 위한 별도의 장치가 필요 없다. 따라서, 원가가 절감되는 효과가 있다.

9. 发明申请

WO2012141459A2 기판 지지용 지지유닛 审中-公开
标题翻译：支持基地的支持单位
公开(公告)号：WO2012141459A2
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：PCT/KR2012/002668
申请日：2012-04-09
申请人： 주식회사 테라세미콘 , 강호영 , 조병호 , 박주영 , 김철호
发明人： 강호영 , 조병호 , 박주영 , 김철호
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324 , H01L21/673 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/6734
摘要： 기판의 처리시 기판이 처짐에 의하여 변형되는 것을 방지한 기판 지지용 지지유닛이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 지지용 지지유닛은, 기판의 처리시, 기판의 전체면이 복수의 지지핀에 의하여 균일하게 지지되므로, 기판이 자중에 의하여 휘어서 변형될 우려가 없다. 따라서, 평판 디스플레이의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
摘要翻译：公开了一种用于支撑基板的支撑单元，其防止基板在基板的处理期间下垂或变形。根据本发明的用于支撑衬底的支撑单元由于衬底的重量而防止衬底翘曲或变形，因为衬底的整个表面在衬底的处理期间被多个支撑翅片均匀地支撑。因此，可以提高平板显示器的可靠性。

10. 发明申请

WO2012105785A2 기판 지지용 보트 및 이를 사용한 지지유닛 审中-公开
标题翻译：支持基板和支持单元的船
公开(公告)号：WO2012105785A2
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：PCT/KR2012/000714
申请日：2012-01-31
申请人： 주식회사 테라세미콘 , 강호영 , 박경완 , 조병호 , 박주영
发明人： 강호영 , 박경완 , 조병호 , 박주영
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67309 , H01L21/6734
摘要： 기판 지지용 보트 및 이를 사용한 지지유닛이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 지지용 보트 및 이를 사용한 지지유닛은 복수의 제 1 및 제 2 지지핀에 의하여 기판의 전체면이 균일하게 지지되므로, 기판의 처리시 기판이 자중에 의하여 처지는 것이 방지된다. 그러므로, 기판을 처리 하여도, 기판의 특성 변화가 없으므로, 기판의 처리공정의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
摘要翻译：公开了一种用于支撑基板的船和使用其的支撑单元。根据本发明的用于支撑基板的船和使用该基板的支撑单元能够使用多个第一支撑销和第二支撑销均匀地支撑基板的整个表面，从而防止由于皮重而引起的基板的下垂当处理基材时。因此，即使在处理时，由于基板的特性也不会发生变化，所以提高了基板的处理工艺的可靠性。

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