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1. 发明申请

WO2012011628A1 프로브 카드 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011628A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005904
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 김헌수
发明人： 조병호 , 조용호 , 김헌수
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07342 , G01R1/06727 , G01R3/00
摘要： 본 발명은 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되는 공간 변환기, 그리고 공간 변환기 위에 장착되어 웨이퍼에 접속하는 프로브를 포함하여 구성되는 프로브 카드에 있어서, 상기 공간 변환기는, 미리 설정된 패턴으로 도전성 금속 재질의 베이스 컨택이 형성된 공용기판과; 상기 공용기판의 상면에 MEMS 방식으로 형성되고, 베이스 컨택과 전기적으로 연결되는 도전성 금속 재질의 상부 도금층; 상기 공용기판의 상면에 MEMS 방식으로 형성되는 PI 재질의 상부 절연층; 상기 상부 절연층 내부에 MEMS 방식으로 형성되고, 상부 도금층과 전기적으로 연결되는 도전성 금속 재질의 상부 컨택;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种探针卡及其方法，所述探针卡包括：电连接到印刷电路板的空间变压器; 以及安装在所述空间变压器上并与晶片接触的探针，其中所述空间变压器包括：公共基板，以预设图案形成有导电金属基部触点; 导电金属上电镀层，其以公共基板的上表面形成为MEMS方案，并与基极触点电连接; 在公共基板的上表面上以MEMS方式形成的由PI材料制成的上绝缘层; 以及在上述绝缘层的内侧的MEMS方式形成的导电性金属上接点，与上部电镀层电连接。

2. 发明申请

WO2012011627A1 프로브 카드 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011627A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005900
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 이은제 , 임형준
发明人： 조병호 , 조용호 , 이은제 , 임형준
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R3/00 , G01R1/06727 , G01R1/07342
摘要： 본 발명은 인쇄회로기판에 전기적으로 연결되는 도전성 금속 재질의 컨택이 내부에 형성되고, 상기 컨택에 통전하는 다수의 패드가 상면에 형성되는 공간 변환기를 제조하는 공정; LTCC 또는 HTCC 재질로 이루어지는 베이스 기판을 일정 크기의 프로브 모듈로 구분하는 단계, 상기 베이스 기판 내부에 도전성 금속 재질의 베이스 컨택을 다수 형성하는 단계, 베이스 기판의 상면에 상기 베이스 컨택에 통전하는 다수의 프로브를 형성하는 단계, 베이스 기판의 저면에 베이스 컨택에 통전하는 다수의 도전성 솔더를 형성하는 단계, 베이스 기판에서 프로브 모듈을 분리하는 단계를 포함하여 구성되는 프로브 모듈의 제조 공정; 각 도전성 솔더를 패드에 열적 융합시킴으로써, 프로브 모듈을 공간 변환기의 상면에 통전 가능하게 접합시키는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：探针卡及其制造方法技术领域本发明涉及一种探针卡及其制造方法，其特征在于，包括：制造空间变压器的工序，所述空间变压器内设有与印刷电路板电连接的导电金属接点，其上表面具有允许电流流向触点的多个焊盘; 一种探针模块制造方法，包括以下步骤：将由LTCC或HTCC材料制成的基底基板分成具有预定尺寸的探针模块，在基底衬底的内部形成多个导电金属基底触点，形成多个探针这允许电流流到基底衬底的上表面上的基底触点，形成多个导电焊料，其允许电流流到基底衬底的下表面上的基底触点，并分离探头模块从基底; 以及结合探针模块以使电流能够通过将每个导电焊料热焊接到焊盘而在空间变压器的上表面上流动的过程。

3. 发明申请

WO2013165042A1 혈액 분리를 위한 칩 및 이를 구비한 진단 기구 审中-公开
标题翻译：用于分离血液和诊断工具的芯片
公开(公告)号：WO2013165042A1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：PCT/KR2012/003637
申请日：2012-05-09
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 박상희
发明人： 조병호 , 조용호 , 박상희
IPC分类号： G01N33/49 , G01N35/08 , B01D21/28 , G01N27/30
CPC分类号： B01D21/283 , B01D2221/10 , B01L3/502761 , B01L2200/0636 , B01L2200/0647 , B01L2300/0816 , B01L2400/0439 , B01L2400/0487 , G01N33/491
摘要： 본 발명은 기판; 상기 기판 상부에 형성되며 검사를 위한 혈액이 유입되는 전처리 유입로; 상기 기판 하부에 형성되며 상기 전처리 유입로를 지나는 혈액에 초음파 진동을 부여하는 초음파 진동자; 상기 초음파 진동자에 의한 초음파 진동을 부여받은 혈액 흐름을 분기하기 위한 분기 노드; 및 상기 분기된 혈액을 출력하는 전처리 유출로를 포함하는 혈액 분리를 위한 칩을 제공하며, 이때 상기 초음파 진동자 및 상기 분기 노드는 분리하고자 하는 혈장의 정제 정도에 따라서 가감될 수 있다.
摘要翻译：本发明提供一种用于分离血液的芯片，包括：基底; 预处理引入路径，其形成在基板的顶部，并且通过其引入用于测试的血液; 超声波振荡器，其形成在所述基板下方，用于对通过所述预处理引入路径的血液施加超声波振动; 分支节点，用于通过超声波振荡器分支施加了超声波振动的血液流; 以及用于输出分支血液的预处理放电路径，其中根据要分离的血浆的细化程度，可以添加或去除超声波振荡器和分支节点。

4. 发明申请

WO2012011629A1 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：探针卡的多通道光束结构及其制造方法
公开(公告)号：WO2012011629A1
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：PCT/KR2010/005906
申请日：2010-09-01
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
发明人： 조병호 , 조용호 , 조우진 , 이은제
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R3/00
摘要： 본 발명은 프로브 카드의 기판부재 위에 형성되는 기단부; 일측 단부가 상기 기단부의 상면에 고정되고, 측 방향으로 연장되는 하부 빔; 하부 빔의 양측 단부 위에 각각 형성되는 지지부; 양측 단부가 각 지지부의 상면에 고정되고, 하부 빔과 상하로 일정 간격을 두고 평행한 구조로 이루어지는 상부 빔; 상부 빔의 타측 단부에서 수직하게 돌출 형성되어 반도체 웨이퍼에 전기 접속하는 프로브 팁;을 포함하여 구성되고, 상기 기단부와, 하부 빔, 지지부, 상부 빔 및 프로브 팁은 공간 변환기 위에서 MEMS 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이러한 제조방법에 의하면, 다중 캔틸레버 빔이 공간 변환기 위에서 MEMS 방식을 통해 3차원적으로 형성됨으로써, 프로브 팁 사이의 간격은 좁아지면서도 빔 사이의 간격은 넓어지도록 2단 빔의 각도를 조절할 수 있게 된다.
摘要翻译：本发明涉及一种多悬臂梁结构及其制造方法，所述多悬臂梁结构包括：形成在探针卡的基板构件上的立体部分;下梁，其一端固定在上立体声部分的表面并沿横向方向延伸; 支撑部分形成在下梁的两端; 支撑部分形成在下梁的两端; 分别具有固定在所述支撑部上的两端的上梁，并且被构造成在上下方向上以规则的间隔具有与所述下梁平行的结构; 以及探针尖端，其形成为从所述上梁的另一端垂直突出以与半导体晶片电连接，其中所述立体声部分，下梁，支撑部分，上梁和探针尖端形成在空间变压器上一个MEMS方案。根据该制造方法，通过MEMS方式在空间变换器上三维地形成多个悬臂梁，这使得可以控制两段梁的角度，使得梁之间的距离变宽，而间隙探针尖端之间变窄。

5. 发明申请

WO2013103182A1 스파이럴 스테이터 코어 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：螺旋定子芯及其制造方法
公开(公告)号：WO2013103182A1
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：PCT/KR2012/005305
申请日：2012-07-04
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조용호 , 엄희철
发明人： 조용호 , 엄희철 , 김준
IPC分类号： H02K15/02 , H01F41/02
CPC分类号： H02K15/026
摘要： 본 발명은 스테이터 코어가 스파이럴 형태로 적층 제조된 스파이럴 스테이터 코어 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 일실시예는 폭에 비해 긴 길이를 가지고 폭 방향 일측과 타측의 길이방향 변형률이 상이한 띠 형태의 소재가 스파이럴 형태로 적층된 것을 특징으로 하는 스파이럴 스테이터 코어와, 그 제조방법을 제공한다.
摘要翻译：螺旋定子铁心及其制造方法技术领域本发明涉及螺旋定子铁心及其制造方法。根据本发明的一个实施例，提供了一种具有比宽度长的螺旋定子铁芯，其宽度方向上的一侧和另一侧的长度方向应变率彼此不同的带状材料彼此不同被层压成螺旋形状及其制造方法。

6. 发明授权

KR101790931B1 처짐 방지를 위한 보강형 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 有权
标题翻译：用于防止下垂的增强探针卡的多悬臂梁结构及其制造方法
公开(公告)号：KR101790931B1
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：KR1020170081709
申请日：2017-06-28
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호
发明人： 조병호 , 조용호 , 박상희
IPC分类号： G01R1/067 , G01R1/073 , G01R3/00 , G01R31/28
摘要： 본발명의일 실시예는, 기단부; 일단은상기기단부상면에고정되고, 타단은자유단을형성하는제 1빔; 상기제 1빔의일단상면에형성되는제 1지지부; 일단은상기제 1지지부상면에고정되고, 타단은자유단을형성하는제 2빔; 상기제 2빔의양측단부위에각각형성되는제 2지지부및 제 3지지부; 일단은상기제 2지지부의상면에고정되고, 타단은상기제 3지지부의상면에고정되는제 3빔; 상기제 3빔의타단상면에형성되는제 4지지부; 상기제 4지지부상에형성되는프로브팁;을포함하는프로브카드의다중캔틸레버빔 구조체를제공한다.
摘要翻译：本发明的一个实施例包括基端部分; 第一梁，其一端固定于基端部的上表面，另一端形成自由端; 第一支撑件，所述第一支撑件形成在所述第一梁的一端的上表面上; 第二梁，其一端固定到第一支撑件的上表面，另一端形成自由端; 第二支撑部分和第三支撑部分，分别形成在第二梁的两侧端; 第三梁，其一端固定于所述第二支撑体的上表面，另一端固定于所述第三支撑体的上表面; 形成在第三梁的另一个单相表面上的第四支撑部分; 所述探针卡的多悬臂梁结构包括：第一支撑部，

7. 发明授权

KR101820267B1 처짐 방지를 위한 트러스형 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101820267B1
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：KR1020170081708
申请日：2017-06-28
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호
发明人： 조병호 , 조용호 , 박상희 , 이태종
IPC分类号： G01R1/067 , G01R1/073 , G01R31/28 , G01R3/00
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R1/07307 , G01R3/00 , G01R31/2886
摘要： 본발명의일 실시예는, 기단부; 상기기단부상에일단이고정되는제 1빔; 상기제 1빔의일단상면에형성되는제 1지지부; 일단은상기제 1빔의타단상면에고정되며, 타단은상기제 1빔의외측으로연장되는제 2빔; 상기제 1지지부의상면에형성되는제 2지지부; 상기제 2빔의타단상면에형성되는제 3지지부; 일단은상기제 2지지부의상면에고정되고, 타단은상기제 3지지부의상면에고정되는제 3빔; 상기제 3빔의타단상면에형성되는제 4지지부; 상기제 4지지부상에형성되는프로브팁;을포함하는프로브카드의다중캔틸레버빔 구조체를제공한다.

8. 发明公开

KR1020130022609A 프로브 카드용 기판의 패드 구조 无效
标题翻译：探针卡纸板结构
公开(公告)号：KR1020130022609A
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：KR1020110085309
申请日：2011-08-25
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호
发明人： 조병호 , 조용호 , 노영교 , 김윤회
IPC分类号： H01L21/66 , G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07307 , G01R31/2601
摘要： PURPOSE: A pad structure of a substrate for a probe card is provided to prevent a pin of an interposer from sliding on a pad by forming a latching unit on a conductive pad of the substrate. CONSTITUTION: A substrate(100) is electrically connected to a main PCB by an interposer. A fence(111) protrudes along the edge of a pad(110) and is formed with various shapes to prevent the separation of the interposer pin. The fence is upwardly widened. A groove(112a) prevents the interposer pin from sliding.
摘要翻译：目的：提供一种用于探针卡的衬底的焊盘结构，以通过在衬底的导电焊盘上形成闩锁单元来防止插入件的针滑动在衬垫上。构成：基板（100）通过插入件电连接到主PCB。围栏（111）沿着垫（110）的边缘突出并形成各种形状以防止插入销的分离。围栏向上扩大。凹槽（112a）防止插入销滑动。

9. 发明授权

KR101865756B1 짧은 스크럽마크를 위한 프로브 카드의 다중 캔틸레버 빔 구조체 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101865756B1
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：KR1020170081707
申请日：2017-06-28
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호
发明人： 조병호 , 조용호 , 박상희 , 이태종
IPC分类号： G01R1/067 , G01R1/073 , G01R31/28 , G01R3/00
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R1/07307 , G01R3/00 , G01R31/2886
摘要： 본발명의일 실시예는, 기단부; 일단은상기기단부상면에고정되고, 타단은자유단을형성하는제 1빔; 상기제 1빔의양측단부위에각각형성되는제 1지지부및 제 2지지부; 일단은상기제 1지지부에고정되고, 타단은상기제 2지지부의상면에고정되는제 2빔; 상기제 2빔의타단상면에형성되는제 3지지부; 타단은상기제 3지지부상에고정되고, 일단은상기기단부측으로연장되어자유단을형성하는제 3빔; 상기제 3빔상에형성되는프로브팁;을포함하는프로브카드의다중캔틸레버빔 구조체를제공한다.

10. 发明授权

KR101048497B1 프로브 카드 및 그 제조방법 有权
标题翻译：探针卡及其制造方法
公开(公告)号：KR101048497B1
公开(公告)日：2011-07-12
申请号：KR1020100069724
申请日：2010-07-19
申请人： (주) 마이크로프랜드 , 조병호 , 조용호
发明人： 조병호 , 조용호 , 김헌수
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01R1/07342 , G01R1/06727 , G01R3/00
摘要： PURPOSE: A probe card and a manufacturing method thereof are provided to reduce a fabrication time of a space transformer and to make it possible to replace a high priced ceramic multi layered substrate. CONSTITUTION: A probe(40) is formed in an upper side of a base substrate and is electrically connected to a semiconductor wafer. A conductive solder(36) is formed in a bottom surface of the base substrate and is electrically connected to the probe. A probe module(30) includes a plurality of probes and a plurality of conductive solders. A space transformer is bonded in a bottom surface of the probe module after being manufactured independently of the probe module. An upper plating layer made of a conductive type metal is electrically connected to a base contact.
摘要翻译：目的：提供探针卡及其制造方法以减少空间变压器的制造时间，并且可以替代高价陶瓷多层基板。构成：探针（40）形成在基底基板的上侧，与半导体晶片电连接。导电焊料（36）形成在基底基板的底表面中并与探针电连接。探针模块（30）包括多个探针和多个导电焊料。在独立于探头模块制造之后，空间变压器被粘合在探针模块的底表面中。由导电型金属制成的上镀层与基座触点电连接。

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