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1. 发明授权

KR100967468B1 중합체 혼합물, 및 감방사선성 수지 조성물 有权
标题翻译：聚合物混合物和辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：KR100967468B1
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：KR1020020081088
申请日：2002-12-18
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 나가이,도모끼 , 시미즈,다이스께 , 시모까와,쯔또무 , 미야지마,후미히사 , 미야지,마사아끼
IPC分类号： G03F7/004
CPC分类号： C08F212/14 , C08F220/18 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 본 발명은 원자외선에 감응하는 화학 증폭형 레지스트로서 유용하고, 양호한 드라이 에칭 내성을 가짐과 동시에, 고해상도로 방사선 투과율이 높은 감방사선성 수지 조성물 및 그 성분으로서 유용한 공중합체 및 중합체 혼합물을 제공하는 것이다.
본 발명의 감방사선성 수지 조성물은
(A) 시클로알킬계 산해리성기로 보호된 (메트)아크릴레이트 반복 단위, 히드록시스티렌계 반복 단위, 및 특정한 산해리성기로 보호된 히드록시스티렌계 반복 단위를 포함하는 공중합체 등의 중합체 성분과,
(B) 감방사선성 산발생제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
(메트)아크릴레이트, 히드록시스티렌, 산해리성기, 감방사선성 산발생제

2. 发明授权

KR100760146B1 감방사선성 수지 조성물 有权
标题翻译：敏感的辐射敏感树脂组合物
公开(公告)号：KR100760146B1
公开(公告)日：2007-09-18
申请号：KR1020010057091
申请日：2001-09-17
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 미야지,마사아끼 , 나가이,도모끼 , 야다,유지 , 누마따,준 , 니시무라,유끼오 , 야마모또,마사후미 , 이시이,히로유끼 , 가지따,도루 , 시모까와,쯔또무
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/038 , G03F7/0045 , G03F7/039 , Y10S430/106 , Y10S430/122
摘要： 본 발명은 감방사선성 조성물에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 자외선, 원자외선, X선 또는 하전입자선과 같은 각종 방사선을 사용하는 미세 가공에 적합한 화학 증폭형 포지티브형 레지스트 및 화학 증폭형 네가티브형 레지스트로서 유용한 감방사선성 조성물에 관한 것이다.

감방사선성 수지 조성물, 감방사선성 산발생제
摘要翻译：本发明涉及一种辐射敏感性组合物，更具体地说，作为紫外线，远紫外线，X射线，或化学增强型正光刻胶和化学放大负使用各种类型的辐射的抗蚀剂适合于精细加工如带电粒子线本发明涉及有用的辐射敏感组合物。

3. 发明公开

KR1020030076202A 중합체 혼합물, 및 감방사선성 수지 조성물 有权
标题翻译：聚合物混合物和辐射敏感树脂组合物
公开(公告)号：KR1020030076202A
公开(公告)日：2003-09-26
申请号：KR1020020081088
申请日：2002-12-18
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 나가이,도모끼 , 시미즈,다이스께 , 시모까와,쯔또무 , 미야지마,후미히사 , 미야지,마사아끼
IPC分类号： G03F7/004
CPC分类号： C08F212/14 , C08F220/18 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
摘要： 본 발명은 원자외선에 감응하는 화학 증폭형 레지스트로서 유용하고, 양호한 드라이 에칭 내성을 가짐과 동시에, 고해상도로 방사선 투과율이 높은 감방사선성 수지 조성물 및 그 성분으로서 유용한 공중합체 및 중합체 혼합물을 제공하는 것이다.
본 발명의 감방사선성 수지 조성물은
(A) 시클로알킬계 산해리성기로 보호된 (메트)아크릴레이트 반복 단위, 히드록시스티렌계 반복 단위, 및 특정한 산해리성기로 보호된 히드록시스티렌계 반복 단위를 포함하는 공중합체 등의 중합체 성분과,
(B) 감방사선성 산발생제를 포함하는 것을 특징으로 한다.

4. 发明授权

KR100673500B1 Ｎ-술포닐옥시이미드 화합물 및 이를 이용하는 감방사선성수지 조성물 有权
标题翻译： N-磺酰氧基酰亚胺化合物和使用其的辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：KR100673500B1
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020000066069
申请日：2000-11-08
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 왕,용 , 고바야시,에이찌 , 미야지,마사아끼 , 누마따,준 , 시모까와,쯔또무
IPC分类号： G03F7/028
CPC分类号： C07D207/46 , C07D209/76 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/039 , Y10S430/121
摘要： 본 발명은 고감도이고 효율적으로 산을 발생할 수 있으며, 휘발 또는 부반응의 문제가 없어 레지스트 보존시에 암반응(暗反應)을 억제할 수 있고, 감방사선성 화학증폭형 레지스트의 감방사선성 산발생제 성분으로서 유용한 N-술포닐옥시이미드 화합물, 및 그것을 이용한 포지형 및 네가형 감방사선성 수지 조성물을 제공한다.
또한 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 N-술포닐옥시이미드 화합물, 및 상기 화합물을 감방사선성 산발생제로서 함유하는 화학증폭형의 포지형 및 네가형 감방사선성 수지 조성물을 제공한다.

식 중, X는 단일 결합 또는 이중 결합을 나타내고,
Y와 Z는 독립적으로 수소 원자 등을 나타내거나, 공동으로 환상 구조를 형성하고,
R은 하기 화학식 2로 표시되는 기이다.

식 중, X
1 은 에스테르 결합을 갖는 유기기이고,
R
1 은 알킬기 또는 알콕실기를 나타내고,
m은 1 내지 11의 정수이고,
n은 O 내지 10의 정수이고,
m+n≤11를 만족한다.
화학증폭형 레지스트, 포지형 감방사선성 수지 조성물, 네가형 감방사선성 수지 조성물, 감방사선성 산발생제, N-술포닐옥시이미드 화합물, 알칼리 가용성 수지.

5. 发明公开

KR1020010051519A Ｎ-술포닐옥시이미드 화합물 및 이를 이용하는 감방사선성수지 조성물 有权
标题翻译： N-磺酰氧基化合物和使用其的辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：KR1020010051519A
公开(公告)日：2001-06-25
申请号：KR1020000066069
申请日：2000-11-08
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 왕,용 , 고바야시,에이찌 , 미야지,마사아끼 , 누마따,준 , 시모까와,쯔또무
IPC分类号： G03F7/028
CPC分类号： C07D207/46 , C07D209/76 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/039 , Y10S430/121
摘要： PURPOSE: Provided are an N-sulfonyloxyimide compound which can highly, sensitively and efficiently generate an acid, is free from the problems of evaporation and side-reactions, can inhibit a dark reaction on the storage of resists, and is useful as the radiation-sensitive acid-generating agent component of a radiation-sensitive chemical amplification type resist, and a positive type and negative type radiation-sensitive resin composition using the same. CONSTITUTION: The N-sulfonyloxyimide compound represented by formula(1), wherein X is a single bond or a double bond; Y and Z are each independently H, or together form a cyclic structure; R is a group represented by the general formula(2) £X1 is an organic group having an ester bond; R1 is an alkyl or alkoxy; (m) is an integer of 1 to 11; (n) is an integer of 0 to 10; and (m)+(n)
摘要翻译：目的：提供能够高度，敏感且有效地产生酸的N-磺酰氧基酰亚胺化合物，没有蒸发和副反应的问题，可以抑制抗蚀剂存储时的暗反应，并且作为辐射 - 辐射敏感化学放大型抗蚀剂的敏感性酸产生剂组分和使用其的正型和负型辐射敏感性树脂组合物。构成：式（1）表示的N-磺酰氧基酰亚胺化合物，其中X为单键或双键; Y和Z各自独立地为H，或一起形成环状结构; R是由通式（2）表示的基团，X1是具有酯键的有机基团; R1是烷基或烷氧基; （m）为1〜11的整数。（n）为0〜10的整数，和（m）+（n）<= 11 |，以及含有辐射敏感性的酸产生剂的化学放大型正和负辐射敏感性树脂组合物。

6. 发明公开

KR1020000035567A 칼라 필터용 감방사선성 조성물 无效
标题翻译：用于彩色滤光片的无线电敏感组合物
公开(公告)号：KR1020000035567A
公开(公告)日：2000-06-26
申请号：KR1019990051435
申请日：1999-11-19
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 아베,시게루 , 미야지,마사아끼 , 아오야마,사또꼬 , 고야마,다까요시
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0007 , G02B5/201 , G03F7/004 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/033 , G03F7/0382
摘要： PURPOSE: A radio-sensitive composition for a color filter is provided, which does not generate the display badness due to the sizing on the display panel and the release of pixels during development, which is developed well, and which has good mechanical strength after forming film. CONSTITUTION: A radio-sensitive composition for a color filter comprises (a) a pigment which isone dispersed by the dispersant containing a compound with urethane bindings; (b) 10-1,000 parts by weight of an alkali-soluble resin based on the 100 parts by weight of the pigment; (c) 5-500 parts by weight of a multifunctional monomer based on the 100 parts by weight of the alkali-soluble resin; (d) 0.01-100 parts by weight of a photopolymerization initiator based on the 100 parts by weight of the alkali-soluble resin; and (e) a solvent. The alkali-soluble resin is a copolymer of one or more monomers selected from the group consisting of unsaturated monocarboxyl acids, unsaturated dicarboxyl acids and their anhydrides, and three or more valent unsaturated carboxyl acids and their anhydrides, and other copolymerizable monomer.
摘要翻译：目的：提供了一种用于滤色器的放射敏感组合物，其由于显影面板上的尺寸和显影时的像素释放而不会产生显示不良，其开发良好，并且在成型后具有良好的机械强度电影。构成：用于滤色器的放射敏感组合物包含（a）由分散剂分散的颜料，所述分散剂含有具有氨基甲酸酯键合的化合物; （b）基于100重量份颜料的10-1,000重量份的碱溶性树脂; （c）基于100重量份碱溶性树脂的5-500重量份多官能单体; （d）基于100重量份的碱溶性树脂，0.01-100重量份的光聚合引发剂; 和（e）溶剂。碱溶性树脂是选自不饱和单羧酸，不饱和二羧酸及其酸酐中的一种或多种单体和三种或更多种不饱和羧酸及其酸酐和其它可共聚单体的共聚物。

7. 发明授权

KR100671393B1 칼라 필터용 감방사선성 조성물 失效
标题翻译：彩色滤光片的无线电组件
公开(公告)号：KR100671393B1
公开(公告)日：2007-01-22
申请号：KR1020000024542
申请日：2000-05-09
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 아베,시게루 , 미야지,마사아끼 , 고야마,다까요시 , 와따나베,쯔요시
IPC分类号： G03G5/07
摘要： 본 발명은, (A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체 및 (D) 광중합 개시제의 각 성분을 함유하는 칼라 필터용 감방사선성 조성물로서, (A) 성분이 녹색 유기 안료를 포함하고, (A) 성분의 테트라클로로프탈산, 테트라클로로프탈산 무수물 및 테트라클로로프탈이미드의 양을 분석하였을 때, 이들의 합계가 500 ppm 이하인 것을 특징으로 하는 칼라 필터용 감방사선성 조성물에 관한 것이다.
본 발명의 칼라 필터용 감방사선성 조성물은 특히 칼라 촬상관 소자에 바람직하게 사용될 뿐만 아니라 칼라 액정 표시 장치, 칼라 센서 등에도 유용하다.
칼라 필터, 감방사선성 조성물, 착색제, 알칼리 가용성 수지, 다관능성 단량체, 광중합 개시제, 녹색 유기 안료, 칼라 촬상관 소자, 칼라 액정 표시 장치, 칼라 센서

8. 发明公开

KR1020020022004A 감방사선성 수지 조성물 有权
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：KR1020020022004A
公开(公告)日：2002-03-23
申请号：KR1020010057091
申请日：2001-09-17
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 미야지,마사아끼 , 나가이,도모끼 , 야다,유지 , 누마따,준 , 니시무라,유끼오 , 야마모또,마사후미 , 이시이,히로유끼 , 가지따,도루 , 시모까와,쯔또무
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/038 , G03F7/0045 , G03F7/039 , Y10S430/106 , Y10S430/122
摘要： PURPOSE: Positive and negative radiation-sensitive resin compositions and a radiation-sensitive resin composition are provided, which respond to various radiations comprising UV, far-UV, X-ray and electron beam, exhibit excellent resolution and pattern configuration and can be used as a chemically amplified resist. CONSTITUTION: The positive radiation-sensitive resin composition comprises a copolymer(A1) containing the repeating units represented by the formulas 1 and/or 2 and 3; and a radiation-sensitive acid generator, wherein R1 is H or CH3; R2 is a tertiary alkyl group of C4-C10; R3 and R4 and independent each other and are H, s substituted or unsubstituted alkyl group of C1-C12, a substituted or unsubstituted aromatic group of C6-C15 or an alkoxy group of C1-C12, or R3 and R4 form a 3 to 15-membered ring together, and R3 and R4 are not H at the same time. The negative radiation-sensitive resin composition comprises a copolymer(A2) containing the repeating units represented by the formulas 1 and 3; a radiation-sensitive acid generator; and a compound capable of cross-linking the copolymer(A2) in the presence of an acid.
摘要翻译：目的：提供正和负辐射敏感性树脂组合物和辐射敏感性树脂组合物，其对包括UV，远紫外线，X射线和电子束的各种辐射进行响应，表现出优异的分辨率和图案配置，并且可以用作化学放大抗蚀剂。构成：正性辐射敏感性树脂组合物包含含有由式1和/或2和3表示的重复单元的共聚物（A1）; 和辐射敏感性酸产生剂，其中R1是H或CH3; R2是C4-C10的叔烷基; R 3和R 4彼此独立，为C 1 -C 12的取代或未取代的烷基，C 6 -C 15的取代或未取代的芳基或C 1 -C 12的烷氧基，或者R 3和R 4形成3至15个并且R3和R4不同时为H。负辐射敏感性树脂组合物包含含有由式1和3表示的重复单元的共聚物（A2）; 辐射敏感酸发生器; 和能够在酸存在下使共聚物（A2）交联的化合物。

9. 发明公开

KR1020000077187A 칼라 필터용 감방사선성 조성물 失效
标题翻译：用于彩色滤光片的辐射敏感组合物
公开(公告)号：KR1020000077187A
公开(公告)日：2000-12-26
申请号：KR1020000024542
申请日：2000-05-09
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 아베,시게루 , 미야지,마사아끼 , 고야마,다까요시 , 와따나베,쯔요시
IPC分类号： G03G5/07
摘要： 본발명은, (A) 착색제, (B) 알칼리가용성수지, (C) 다관능성단량체및 (D) 광중합개시제의각 성분을함유하는칼라필터용감방사선성조성물로서, (A) 성분이녹색유기안료를포함하고, (A) 성분의테트라클로로프탈산, 테트라클로로프탈산무수물및 테트라클로로프탈이미드의양을분석하였을때, 이들의합계가 500 ppm 이하인것을특징으로하는칼라필터용감방사선성조성물에관한것이다. 본발명의칼라필터용감방사선성조성물은특히칼라촬상관소자에바람직하게사용될뿐만아니라칼라액정표시장치, 칼라센서등에도유용하다.

10. 发明公开

KR1020000035753A 블랙 레지스트용 감방사선성 조성물 无效
标题翻译：无光敏感组合物为黑色
公开(公告)号：KR1020000035753A
公开(公告)日：2000-06-26
申请号：KR1019990053380
申请日：1999-11-29
申请人： 제이에스알 가부시끼가이샤
发明人： 아베,시게루 , 미야지,마사아끼 , 요시다,고이찌로 , 아사이도모꼬
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0007 , G03F7/0035 , G03F7/0045 , G03F7/027 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/0397
摘要： PURPOSE: A radio-sensitive composition for a black resist is provided, which does not generate the display badness such as wearing during assembling on the display panel and the release and lack of patterns, and which has good adherence to the substrate of patterns during development, consequently which can be used as the black matrix or the spacer of a color filter. CONSTITUTION: A radio-sensitive composition for a black resist comprises (a) a coloring agent which contains a black pigment and is one dispersed by the dispersant containing a compound with urethane bindings; (b) 10-1,000 parts by weight of an alkali-soluble resin based on the 100 parts by weight of the coloring agent; (c) 5-500 parts by weight of a multifunctional monomer based on the 100 parts by weight of the alkali-soluble resin; (d) 0.01-100 parts by weight of a photopolymerization initiator based on the 100 parts by weight of the alkali-soluble resin; and (e) a solvent. The alkali-soluble resin is a copolymer of one or more monomers selected from the group consisting of unsaturated monocarboxyl acids, unsaturated dicarboxyl acids and their anhydrides, and three or more valent unsaturated carboxyl acids and their anhydrides, and other copolymerizable monomer.
摘要翻译：目的：提供一种用于黑色抗蚀剂的放射敏感性组合物，其不会在显示面板的组装期间产生显示不良，例如在组装过程中的磨损以及图案的释放和缺乏，并且在显影期间具有良好的对图案基板的粘附性，因此可以将其用作滤色器的黑色矩阵或间隔物。构成：用于黑色抗蚀剂的放射敏感性组合物包含（a）含有黑色颜料的着色剂，并且是由含有氨基甲酸酯键合的化合物的分散剂分散的着色剂; （b）基于100重量份着色剂的10-1,000重量份的碱溶性树脂; （c）基于100重量份碱溶性树脂的5-500重量份多官能单体; （d）基于100重量份的碱溶性树脂，0.01-100重量份的光聚合引发剂; 和（e）溶剂。碱溶性树脂是选自不饱和单羧酸，不饱和二羧酸及其酸酐中的一种或多种单体和三种或更多种不饱和羧酸及其酸酐和其它可共聚单体的共聚物。

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