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    • 2. 发明申请
    • 이중 챔버 마그네트론 스퍼터링 장치
    • 双室磁控溅射装置
    • WO2014017681A1
    • 2014-01-30
    • PCT/KR2012/005985
    • 2012-07-26
    • 주식회사 아비즈알홍태권최원준김희성
    • 홍태권최원준김희성
    • H01L21/203
    • C23C14/35C23C14/50
    • 본 발명은 이중 챔버를 구비하여 동일한 공정을 두 개의 기판에 대해 수행하도록 하는 이중 챔버 마그네트론 스퍼터링 장치에 대한 것이다. 본 발명은, 내부에 제 1 기판 지지대가 구비된 제 1 공정 챔버; 내부에 제 2 기판 지지대가 구비된 제 2 공정 챔버; 상기 제 1 공정 챔버와 상기 제 2 공정 챔버의 사이에 구비되는 마그네트론; 및 상기 마그네트론에 부착된 타겟에 전원을 공급하는 전원 공급부를 포함하여, 상기 타겟으로부터 분리된 입자가 상기 제 1 공정 챔버와 상기 제 2 공정 챔버 모두에 전달되는 것을 특징으로 하는 이중 챔버 마그네트론 스퍼터링 장치를 제공한다.
    • 双室磁控溅射装置技术领域本发明涉及一种双室磁控管溅射装置,其具有两个室,以在两个基板上执行相同的处理。 本发明提供了一种双室磁控管溅射装置,包括:第一处理室,其中设置有第一基板支撑件; 第二处理室,其中设置有第二基板支撑件; 设置在所述第一处理室和所述第二处理室之间的磁控管; 以及用于向与所述磁控管耦合的靶供电的电源部,其中与所述目标分离的粒子被传送到所述第一处理室和所述第二处理室。
    • 6. 发明申请
    • 환자용 수액병 걸이구
    • WO2010062129A3
    • 2010-06-03
    • PCT/KR2009/007028
    • 2009-11-27
    • 김우성김희성
    • 김우성김희성
    • A61M5/52A61M5/00
    • 본 발명은 환자용 수액병 걸이구에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 환자 스스로 신체 일부분에 탈착하여 편리하게 사용할 수 있는 환자용 수액병 걸이구에 관한 것이다. 본 발명은 환자의 몸에 수액을 주입하기 위한 수액병이 걸쳐지는 수액병 걸이구에 있어서, 환자의 어깨에 착탈가능하게 결합되도록 측면에 결합수단(22)이 구비되고, 어깨에 걸쳐지도록 상측이 일정 각도로 굴곡된 지지부(20)와; 상기 지지부(20)의 외면에 돌출되어 형성되고, 내측에 가이드공(32)이 형성된 상태로 상기 가이드공(32)에 연통되게 관통홈(34)이 형성되며, 상기 관통홈(34)에 인접되는 일측면이 톱니(36)로 형성된 안내돌기부(30)와; 상기 안내돌기부(30)의 가이드공(32)에 일측이 삽입되어 상/하 슬라이딩 이동되고, 타측이 상기 관통홈(34)을 통해 외부로 노출되는 안내구(40)와; 상기 안내구(40)에 일단이 결합되고, 타단이 상기 가이드공(32)을 통해 상기 지지부(20)의 상측으로 돌출되며, 단부에 상기 수액병(10)이 걸쳐지도록 다수개의 걸이홈(52)이 형성된 수액병걸이봉(50)으로 이루어진 것을 특징으로 한다.