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    • 4. 发明公开
    • 애노드실드의 냉각이 가능한 캐소드
    • 冷藏CATHODE
    • KR1020110077706A
    • 2011-07-07
    • KR1020090134352
    • 2009-12-30
    • 에이티 주식회사재단법인 대구테크노파크김민호이성호
    • 김민호이춘건이성호
    • C23C14/34C23C14/50C23C14/54
    • PURPOSE: A cathode for cooling an anode shield is provided to prevent a thin film corresponding to an upper anode shield from being corrugated or torn. CONSTITUTION: A cathode(100) for cooling an anode shield comprises a base plate(110), an insulation material(120), a body(130), a magnet plate(140), a magnet(150), a target(S), and an anode shield(160). The base plate is formed in the bottom of the cathode. The insulation material is loaded on the top of the base plate and cuts off electricity conducted to the base plate. The body is electrically connected to an anode and has a groove(135). The magnet plate is accepted in the groove and supports the magnet. The magnet is attached on the top of the magnet plate. The target is formed in the top end of the body and generates deposition materials. The anode shield is attached on the top of the base plate and is composed of side and upper anode shields(163,166).
    • 目的:提供用于冷却阳极护罩的阴极,以防止与上阳极护罩相对应的薄膜波纹或撕裂。 构造:用于冷却阳极屏蔽的阴极(100)包括基板(110),绝缘材料(120),主体(130),磁体板(140),磁体(150),靶(S )和阳极屏蔽(160)。 底板形成在阴极的底部。 绝缘材料装载在基板的顶部,并切断传导到基板的电力。 主体电连接到阳极并且具有凹槽(135)。 磁体板被接纳在凹槽中并支撑磁体。 磁铁安装在磁铁板的顶部。 靶体形成在身体的顶端并产生沉积材料。 阳极护罩安装在基板的顶部,由侧阳极屏蔽和上阳极屏蔽(163,166)组成。
    • 7. 发明授权
    • 태양전지용 상향변환 산화물 형광체 조성물 및 이를 이용한 고효율 태양전지의 제조방법
    • 用于太阳能电池的上转换氧化物荧光体组合物及其利用高效率太阳能电池的制造方法
    • KR101220304B1
    • 2013-01-16
    • KR1020100062995
    • 2010-06-30
    • 재단법인 대구테크노파크
    • 송규호이성호손상호김맹준
    • C09K11/78H01L31/04
    • Y02E10/50
    • 본 발명에 의한 태양전지용 상향변환 산화물 형광체 조성물 및 이를 이용한 고효율 태양전지의 제조방법은 ZrO
      2 , TiO
      2 또는 HfO
      2 중 적어도 하나인 호스트에 Er
      3+ , Yb
      3+ , Tm
      3+ , Ho
      3+ , Pr
      3+ 또는 Eu
      3+ 중 적어도 하나를 도핑하여 산화물 형광체 조성물을 제조하는 산화물 형광체 제조단계; 상부전극과 하부전극이 형성된 p형 웨이퍼를 준비하는 준비단계; 상기 하부전극을 식각하여 패턴을 형성하는 패턴형성단계; 상기 하부전극의 식각된 패턴내에 상기 산화물 형광체 조성물을 삽입하는 삽입단계; 상기 하부전극의 패턴이 형성된 면을 금속 페이스트로 덮어 전극을 완성하는 하부전극완성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
      본 발명에 의하면, 박막형 태양전지나 실리콘 태양전지의 후면전극에 새로운 물질로 구성된 상향변환 형광체를 도포함으로써, 밴드갭 이하의 빛을 광변환시킬 수 없었던 종래의 태양전지에 비해 광효율을 현저히 향상시킬 수 있으며, ZrO
      2 , TiO
      2 또는 HfO
      2 를 호스트로 사용함으로써, 형광체를 나노사이즈로 작게 제조할 수 있어, 전극에 패턴을 형성하여, 그 패턴 내부에 나노사이즈의 형광체입자를 코팅하는 것이 가능함에 따라, 원하는 태양전지 소자에 쉽게 응용할 수 있는 장점이 있다.