会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明公开
    • 열플라즈마에 의한 단결정 성장 방법
    • 使用等离子体生长单晶的方法
    • KR1020160053231A
    • 2016-05-13
    • KR1020140150541
    • 2014-10-31
    • 오씨아이 주식회사
    • 김덕윤김상훈김경열이성환
    • C30B25/06C30B29/36C30B30/00
    • C30B25/06C30B29/36C30B30/00
    • 원료투입부, 플라즈마반응부, 단결정성장부를구비한플라즈마단결정성장반응기에, 캐리어가스를투입하고, 플라즈마방전을실시하여열플라즈마를형성하는단계; 상기원료투입부에단결정성장을위한원료를연속공정으로투입하는단계; 상기투입된원료가열플라즈마의온도영역에서활성화된기체를형성하는단계; 상기활성화된기체가상기단결정성장부로이동하는단계; 및상기활성화된기체가상기단결정성장부에서증착되어단결정이형성되는단계;를포함하는열플라즈마에의한단결정성장방법이제공된다.
    • 提供了使用热等离子体生长单晶的方法。 使用热等离子体生长单晶的方法包括以下步骤:将载气引入具有进料部分,等离子体反应部分和单晶生长部分的等离子体单晶生长反应器中,并通过执行等离子体放电产生热等离子体 ; 通过连续过程将信号晶体生长原料进料到进料部分; 通过进料的原料形成在热等离子体的温度域中活化的气体; 通过活性气体移动到单晶生长部分; 并通过活性气体沉积在单晶生长部分中,从而形成单晶。