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1. 发明公开

KR1020010074890A 압력식 유량제어장치에 있어서의 유량이상검지방법 有权
标题翻译：压力式流量控制装置中的流量异常检测方法
公开(公告)号：KR1020010074890A
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：KR1020017002666
申请日：2000-07-27
申请人： 오미 다다히로 , 이이다 세이이찌 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미다다히로 , 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키 , 우노토미오 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 이데타에이지
IPC分类号： F16K17/22
摘要： 오리피스를 이용한 압력식 유량제어장치에 있어서, 유체의 유량제어를 하면서 간단히 오리피스의 막힘의 검출을 행하도록 한 것이다. 즉, 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 하류측의 유량Q
C 을 Q
C =KP
1 (K:정수)로 연산하고, 이 연산유량Q
C 과 설정유량Q
S 과의 차신호Q
Y 에 의해 컨트롤밸브(CV)를 개폐제어하는 유량제어장치(FCS)에 있어서, 별도로 설치한 검정회로 또는 유량설정회로로부터, 검정진폭V
O 을 보유하는 검정용 신호ΔQ
S 를 컨트롤밸브(CV)로 출력하고, 이 컨트롤밸브 (CV)의 개폐에 응답하여 생기는 상류측압력P
1 의 변동압력ΔP
1 의 압력진폭V을 측정하고, 이 압력진폭V이 한계진폭V
t 보다 작게 되었을 때에, 오리피스의 막힘을 유지하도록 한 유량이상검지방법이다. 상기 검정회로 또는 유량설정회로로부터, 정상설정유량신호Q
SO 에 중복하여 검정용 신호ΔQ
S 를 컨트롤밸브(CV)로 출력하면, 정상설정유량신호Q
SO 에 의해 유량제어하면서 유량이상을 검지할 수 있다.

2. 发明授权

KR100432632B1 압력식 유량제어장치에 있어서의 유량이상검지방법 有权
标题翻译： 압력식유량제어장치에있어서의유량이상검지방압력
公开(公告)号：KR100432632B1
公开(公告)日：2004-05-22
申请号：KR1020017002666
申请日：2000-07-27
申请人： 오미 다다히로 , 이이다 세이이찌 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미다다히로 , 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키 , 우노토미오 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 이데타에이지
IPC分类号： F16K17/22
CPC分类号： G05B23/0235 , G05B23/0256 , G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： A method checks the flow rate for abnormalities while controlling the flow rate of fluid in a pressure-type flow controller FCS using an orifice - the pressure-type flow controller wherein with the upstream pressure P1 maintained about two or more times higher than the downstream pressure P2, the downstream flow rate QC is calculated by the equation QC = KP1 (K: constant) and wherein the control valve CV is controlled on the basis of the difference signal QY between the calculated flow rate QC and the set flow rate QS. The method comprises, outputting a testing signal DELTA Qs having a testing amplitude Vo from a testing circuit provided separately or a flow rate setting circuit to the control valve CV, measuring the pressure amplitude V of the variable pressure DELTA P1 of the pressure P1 on the upstream side of the orifice that arises in response to actuation of the control valve CV and setting off an alarm for the clogging of the orifice when the pressure amplitude V is smaller than a limit amplitude Vt. If the testing signal DELTA Qs is superimposed on a steady-state set flow rate signal Qso and outputted to control the valve CV from the testing circuit or the flow rate setting circuit, the flow rate can be checked for abnormalities while controlling the flow rate by the steady-state set flow rate signal Qso.
摘要翻译：在利用节流孔来控制压力型流量控制器FCS中的流体的流量的同时，检查流量的异常，该压力型流量控制器在上游压力P1维持比下游压力高大约两倍或更多倍的情况下 P2，通过公式QC = KP1（K：常数）计算下游流量QC，并且其中基于计算出的流量QC和设定流量QS之间的差值信号QY来控制控制阀CV。该方法包括：从另外提供的测试电路或流量设定电路向控制阀CV输出具有测试振幅Vo的测试信号ΔQs，测量在控制阀CV上的压力P1的可变压力ΔP1的压力振幅V 当压力振幅V小于极限振幅Vt时，响应于控制阀CV的动作而产生的节流孔的上游侧，并发出堵塞节流孔的警报，如果测试信号ΔQs叠加在稳定状态设定流量信号Qso并输出以从测试电路或流量设定电路控制阀CV时，可以在通过稳态设定流量信号Qso控制流量的同时检查流量异常。＆lt;图像＆GT;

3. 发明授权

KR100601803B1 개량형 압력식 유량제어장치 有权
标题翻译：改进型压力流量控制装置
公开(公告)号：KR100601803B1
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：KR1020037009876
申请日：2002-11-22
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 우노토미오 , 나카무라오사무 , 이케다노부카즈 , 도히료우수케 , 니시노코우지 , 마쯔모토아쯔시 , 수기야마카주히코 , 이누이슈지로 , 사카이타이지 , 우에야마마사노리
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： Provided is an improved pressure-type flow rate control apparatus that can control the flow rate of a fluid with great precision using an empirical formula. The empirical formula can provide values that closely fit with the actual flow rates of a compressible fluid under non-critical conditions. The improved pressure-type flow rate control apparatus can control the flow rate of fluid passing through an orifice 4 to a target flow rate with accuracy and at a high speed. The empirical formula for the compressible fluid under non-critical conditions (sub-sonic) is expressed as Qc = KP2 (P1 - P2) and the flow rate of fluid passing through orifice 4 is calculated by: Qc = KP2 (P1 - P2) (K is a proportional constant; and m and n are constants) so that the flow rate of fluid passing through the orifice 4 can be controlled to the target flow rate with high precision at a high speed. Also provided is an improved pressure-type flow rate control apparatus in which a pressure ratio P2/P1 = r, obtained from an upstream pressure P1 and a downstream pressure P2 is constantly compared with a critical value rc, and under critical conditions (r ≤ rc), the flow rate is calculated by : Qc = KP1. Under non-critical conditions (r > rc), the flow rate is calculated by Qc = KP2 (P1 - P2) , so that the flow rate is controlled to the target flow rate with accuracy at a high speed depending upon the conditions of fluid.

4. 发明公开

KR1020050087857A 클러스터화하는 유체의 유량제어방법 및 이것에 사용하는클러스터화하는 유체용의 유량제어장치 有权
标题翻译：用于聚集流体的流量控制方法和用于聚集流体的流量控制装置
公开(公告)号：KR1020050087857A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：KR1020057011968
申请日：2004-01-16
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 수기야마카즈히코 , 미즈사와켄에츠 , 타카하시에이지 , 우노토미오 , 니시노코우지 , 도히료우수케 , 이케다노부카즈 , 나가세마사아키
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要： A pressure-type flow control device is used to permit a high-accuracy control of the flow rate of a clustering fluid such as HF gas to be supplied to a vacuum chamber or the like within a flow rate range of about 3-300 SCCM. Specifically, a method of controlling the flow rate of a clustering fluid that uses a pressure-type flow control device where a flow rate Q of a gas flowing through an orifice is computed as Q=KP1 (K is constant) with a ratio P 2/P1 between an orifice-upstream-side gas pressure P 1 and a downstream-side gas pressure P2 kept up to the critical pressure ratio of the gas, wherein the pressure-type flow control device is heated to at least 40°C, or the clustering fluid is added with a dilute gas to be kept at up to a partial pressure, thereby allowing the clustering fluid, produced by dissociating the association of molecules and then keeping them in a monomolecular state, to flow through the orifice.
摘要翻译：使用压力式流量控制装置，可以在大约3-300SCCM的流量范围内高精度地控制诸如HF气体的聚集流体的流量被提供给真空室等。具体而言，使用压力型流量控制装置来控制流量的聚集流体的流量的方法，其中流过孔口的气体的流量Q被计算为Q = KP1（K是常数），比率P 2 在孔口上游侧气体压力P 1和下游侧气体压力P2之间的压力/流量控制装置被加热至至少40℃，或者加入聚合流体以保持高达分压的稀释气体，从而允许通过解离分子缔合产生的聚集流体，然后使其保持在单分子状态，流过孔口。

5. 发明授权

KR100329977B1 유체가변형 유량제어장치 有权
标题翻译：流体可变流量控制装置
公开(公告)号：KR100329977B1
公开(公告)日：2002-05-09
申请号：KR1020007004402
申请日：1999-08-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 니시노코우지 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 본 발명에 관한 유체가변형 유량제어장치는, 1대의 유량제어장치에 의해, 풀스케일 유량을 자유롭게 변경가능하고, 게다가 복수종의 유체를 고정밀도에 유량제어가능하도록 한 것이다.
구체적으로는, 오리피스 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 유체의 유량제어를 행하는 유량제어장치FCS에 있어서, 유체의 종류나 유량범위에 따라서 적절한 오리피스 지름에 설정하기 위하여 교환가능하게 설치한 오리피스(8)와, 그 상류측에 설치한 컨트롤밸브(2)와, 컨트롤밸브(2)와 오리피스(8)의 사이에 설치한 압력검출기(6)와, 이 압력검출기(6)의 상류측검출기압력P
1 에서 유량을 Qc=KP
1 (K는 정수)로 하여 연산하는 유량연산회로(14)와, 유량설정신호Qe를 출력하는 유량설정회로(16)와, 풀스케일유량을 절환하기 위하여 연산유량신호Qc에 유량변환율k을 걸어서 절환연산유량신호Qf(Qf=kQc)로 변환하는 유량변환회로(18)와, 이 Qf와 Qe의 차를 제어신호Qy로 하여 컨트롤밸브(2)의 구동부(4)로 출력하는 연산제어회로(20)로 구성되고, Qy가 � ��으로 되도록 컨트롤밸브(2)를 개폐제어한다.

6. 发明公开

KR1020000070592A 유체공급장치 有权
标题翻译：流体送料装置
公开(公告)号：KR1020000070592A
公开(公告)日：2000-11-25
申请号：KR1019997006839
申请日：1999-01-11
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가주메테투 , 수기야마카주히코 , 도히료우수케 , 미나미유키오 , 니시노코우지 , 카와타코우지 , 이케다노부카주 , 야마지미치오 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 본발명은, 반도체제조장치등의가스의공급계에서사용하는유체공급장치에있어서, 유체의공급개시시나변환시에, 과도적으로발생하는유체의오버슈우트현상을방지하여, 항상정밀도가높은유체의제어를할 수있도록한 것이다. 구체적으로, 본발명의유체공급장치는, 유체유량을제어하는압력유동제어기와, 그 2차측유체통로를개폐하는유체변환밸브와, 압력유동제어기와유체변환밸브의작동을제어하는유체공급제어장치로구성되고, 또상기압력유동제어기를오리피스(5)와, 오리피스(5)의상류측에설치된제어밸브(1)와, 제어밸브(1)와오리피스(5) 사이에설치된압력검출기(3)와, 압력검출기(3)의검출압력(P)으로부터유량 Qc=KP(단 K는정수)으로서연산된유량신호(Qc)와유량지령신호(Qs)와의차를제어신호(Qy)로서상기제어밸브(1)의구동부(2)로출력하는연산제어장치(6)로구성하고, 상기제어밸브(1)의개폐에의해오리피스(5)의상류측압력(P)을조정하는것에의해, 오리피스(5)의하류측유량을제어하도록한 것이다.

7. 发明公开

KR1020030080241A 압력센서, 압력제어장치 및 압력식 유량제어장치의 온도드리프트 보정장치 有权
标题翻译：压力传感器，压力控制装置和压力式流量控制装置的温度漂移校正装置
公开(公告)号：KR1020030080241A
公开(公告)日：2003-10-11
申请号：KR1020037011365
申请日：2002-11-22
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 우노토미오 , 나카무라오사무 , 이케다노부카즈 , 도히료우수케 , 니시노코우지 , 마쯔모토아쯔시 , 수기야마카주히코
IPC分类号： G01L27/00
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要： 본 발명은 압력센서의 온도 드리프트를 자동보정하여 온도변동에 상관없이 압력을 정확하게 검출할 수 있는 압력센서, 압력제어장치 및 유량제어장치를 개발한 것이다.
이를 위해, 본 발명에 관한 압력식 유량제어장치의 온도 드리프트 보정장치는 오리피스(4)와 컨트롤밸브(22) 사이에 상류측 압력(P
1 )을 검출하는 상류측 압력센서(10)를 설치하고, 상류측 압력(P
1 )에 의해 오리피스(4)를 통과하는 유량을 연산하면서 컨트롤밸브(22)의 개폐에 의해 오리피스(4)를 통과하는 유량을 제어하는 압력식 유량제어장치에 있어서, 유체온도를 측정하는 온도센서(14)와, 유체온도(T)와 상류측 압력센서(10)의 출력 드리프트의 관계를 격납하는 메모리수단(64)과, 유체온도(T)가 변화한 경우에 메모리수단(64)의 데이터로부터 상류측 압력센서(10)의 출력 드리프트량을 소거하여 온도 드리프트를 보정하는 온드 드리프트 보정수단으로 구성된다. 이 구성에 의해 압력센서의 온도 드리프트를 자동보정하여 정확한 유량제어를 가능하게 한다.

8. 发明授权

KR100401576B1 압력검출기의 설치구조 有权
标题翻译： 압력검출기의설치구조
公开(公告)号：KR100401576B1
公开(公告)日：2003-10-17
申请号：KR1020017004136
申请日：2000-08-03
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 히로세타카시 , 이데타에이지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 니시노코우지 , 요시카와카주히로 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키
IPC分类号： G01L7/08
CPC分类号： G01L19/0023 , G01L19/0645 , G01L19/145 , G01L19/147
摘要： A construction for mounting a pressure detector prevents the detector diaphragm from being strained by stress applied to the pressure detector as the detector is mounted in a fixture main body provided in a pipe line or the like, thereby keeping the output characteristics and temperature characteristics of the detector from greatly differing before and after the mounting. The pressure detector is constructed by combining and fastening together a diaphragm base having a diaphragm and a sensor base having a sensor element therein that is activated by displacement of the diaphragm base. The pressure detector, with a gasket placed thereunder, is disposed in a mounting hole of a fixture main body that is mounted in a pipe line. The pressure detector is airtightly pressed and fastened by a presser member inserted from above in the mounting hole. The presser member is brought in contact with a block upper surface of the diaphragm base, and the gasket is also brought in contact with the block lower surface of the diaphragm base. A shallow groove is defined in the form of a ring on the lower surface of the block at a place inward of the portion contacting the metal gasket so that the shallow groove absorbs strain caused by the presser member.
摘要翻译：用于安装压力检测器的结构防止检测器膜片由于施加到压力检测器的应力而受到应变，因为检测器安装在设置在管线等中的夹具主体中，从而保持检测器的输出特性和温度特性探测器在安装之前和之后差别很大。压力检测器通过将具有膜片的膜片基座和其中具有传感器元件的传感器基座组合并紧固在一起而构成，所述传感器基座通过膜片基座的位移而被激活。压力检测器，在其下方放置有垫圈的压力检测器布置在安装在管线中的夹具主体的安装孔中。压力检测器通过从上方插入安装孔的按压部件被气密地按压并紧固。按压构件与膜片基座的块上表面接触，并且垫片也与膜片基座的块下表面接触。在与金属垫片接触的部分的内侧的位置处，在块体的下表面上以环的形式限定浅槽，使得浅槽吸收由压紧构件引起的应变。＆lt;图像＆GT;

9. 发明授权

KR100348853B1 압력식 유량제어장치에 있어서의 막힘 검출방법 및 그검출장치 有权
公开(公告)号：KR100348853B1
公开(公告)日：2002-08-17
申请号：KR1020007004326
申请日：1999-08-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 야마지미치오 , 도히료우수케 , 요시카와카주히로 , 코요모기뮤쯔노리 , 우노토미오 , 이데타에이지 , 히로세타카시 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 오리피스를 이용한 유량제어장치에 있어서, 오리피스의 막힘을 배관을 분해함이 없이 상류측압력의 검출에 의해서 행하고, 유량제어장치의 장수명화와 안전성을 높이도록 한 것이다.
구체적으로는, 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 하류측의 유량Q
C 를 Q
C =KP
1 (K : 정수)로 연산하고, 이 연산유량Q
C 과 설정유량Q
S 과의 차신호Q
Y 에 의해 컨트롤밸브CV를 개폐제어하는 유량제어장치FCS에 있어서, 오리피스(2)에 막힘이 없는 조건 하에서 고설정유량Q
SH 에서 저설정유량Q
SL 으로 절환하여 측정된 상류측압력P
1 의 기준압력감쇠데이타Y(t)를 기억한 메모리장치M와, 오리피스(2)의 실제조건 하에서 고설정유량Q
SH 에서 저설정유량Q
SL 으로 절환하여 상류측압력P
1 의 압력감쇠데이타P(t)를 측정하는 압력검출기(14)와, 압력감쇠데이타P(t)와 기준압력감쇠데이타Y(t)를 대비연산하는 중앙연산처리장치CPU와, 압력감쇠데이타P(t)가 기준압력감쇠데이타Y(t)보다 어느 정도이상 벌어졌을 때에 막힘을 통지하는 알람회로 (46)로, � �힘 검출장치를 구성한 것이다.

10. 发明授权

KR100327878B1 유체공급장치 有权
标题翻译：流体送料装置
公开(公告)号：KR100327878B1
公开(公告)日：2002-03-09
申请号：KR1019997006839
申请日：1999-01-11
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가주메테투 , 수기야마카주히코 , 도히료우수케 , 미나미유키오 , 니시노코우지 , 카와타코우지 , 이케다노부카주 , 야마지미치오 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 본발명은, 반도체제조장치등의가스의공급계에서사용하는유체공급장치에있어서, 유체의공급개시시나변환시에, 과도적으로발생하는유체의오버슈우트현상을방지하여, 항상정밀도가높은유체의제어를할 수있도록한 것이다. 구체적으로, 본발명의유체공급장치는, 유체유량을제어하는압력유동제어기와, 그 2차측유체통로를개폐하는유체변환밸브와, 압력유동제어기와유체변환밸브의작동을제어하는유체공급제어장치로구성되고, 또상기압력유동제어기를오리피스(5)와, 오리피스(5)의상류측에설치된제어밸브(1)와, 제어밸브(1)와오리피스(5) 사이에설치된압력검출기(3)와, 압력검출기(3)의검출압력(P)으로부터유량 Qc=KP(단 K는정수)으로서연산된유량신호(Qc)와유량지령신호(Qs)와의차를제어신호(Qy)로서상기제어밸브(1)의구동부(2)로출력하는연산제어장치(6)로구성하고, 상기제어밸브(1)의개폐에의해오리피스(5)의상류측압력(P)을조정하는것에의해, 오리피스(5)의하류측유량을제어하도록한 것이다.

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