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1. 发明授权

KR100329977B1 유체가변형 유량제어장치 有权
标题翻译：流体可变流量控制装置
公开(公告)号：KR100329977B1
公开(公告)日：2002-05-09
申请号：KR1020007004402
申请日：1999-08-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 니시노코우지 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 본 발명에 관한 유체가변형 유량제어장치는, 1대의 유량제어장치에 의해, 풀스케일 유량을 자유롭게 변경가능하고, 게다가 복수종의 유체를 고정밀도에 유량제어가능하도록 한 것이다.
구체적으로는, 오리피스 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 유체의 유량제어를 행하는 유량제어장치FCS에 있어서, 유체의 종류나 유량범위에 따라서 적절한 오리피스 지름에 설정하기 위하여 교환가능하게 설치한 오리피스(8)와, 그 상류측에 설치한 컨트롤밸브(2)와, 컨트롤밸브(2)와 오리피스(8)의 사이에 설치한 압력검출기(6)와, 이 압력검출기(6)의 상류측검출기압력P
1 에서 유량을 Qc=KP
1 (K는 정수)로 하여 연산하는 유량연산회로(14)와, 유량설정신호Qe를 출력하는 유량설정회로(16)와, 풀스케일유량을 절환하기 위하여 연산유량신호Qc에 유량변환율k을 걸어서 절환연산유량신호Qf(Qf=kQc)로 변환하는 유량변환회로(18)와, 이 Qf와 Qe의 차를 제어신호Qy로 하여 컨트롤밸브(2)의 구동부(4)로 출력하는 연산제어회로(20)로 구성되고, Qy가 � ��으로 되도록 컨트롤밸브(2)를 개폐제어한다.

2. 发明公开

KR1020010074890A 압력식 유량제어장치에 있어서의 유량이상검지방법 有权
标题翻译：压力式流量控制装置中的流量异常检测方法
公开(公告)号：KR1020010074890A
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：KR1020017002666
申请日：2000-07-27
申请人： 오미 다다히로 , 이이다 세이이찌 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미다다히로 , 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키 , 우노토미오 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 이데타에이지
IPC分类号： F16K17/22
摘要： 오리피스를 이용한 압력식 유량제어장치에 있어서, 유체의 유량제어를 하면서 간단히 오리피스의 막힘의 검출을 행하도록 한 것이다. 즉, 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 하류측의 유량Q
C 을 Q
C =KP
1 (K:정수)로 연산하고, 이 연산유량Q
C 과 설정유량Q
S 과의 차신호Q
Y 에 의해 컨트롤밸브(CV)를 개폐제어하는 유량제어장치(FCS)에 있어서, 별도로 설치한 검정회로 또는 유량설정회로로부터, 검정진폭V
O 을 보유하는 검정용 신호ΔQ
S 를 컨트롤밸브(CV)로 출력하고, 이 컨트롤밸브 (CV)의 개폐에 응답하여 생기는 상류측압력P
1 의 변동압력ΔP
1 의 압력진폭V을 측정하고, 이 압력진폭V이 한계진폭V
t 보다 작게 되었을 때에, 오리피스의 막힘을 유지하도록 한 유량이상검지방법이다. 상기 검정회로 또는 유량설정회로로부터, 정상설정유량신호Q
SO 에 중복하여 검정용 신호ΔQ
S 를 컨트롤밸브(CV)로 출력하면, 정상설정유량신호Q
SO 에 의해 유량제어하면서 유량이상을 검지할 수 있다.

3. 发明公开

KR1020010022203A 압력식 유량제어장치를 구비한 가스공급설비 有权
标题翻译：气体供应设施与压力式流量控制装置
公开(公告)号：KR1020010022203A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1020007000775
申请日：1999-05-27
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가쯔메사토시 , 이케다노부카즈 , 니시노코오지 , 요시카와카즈히로 , 이데타에이지 , 도히료수케 , 우노토미오 , 야마지미치오 , 오오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 반도체제조장치등에서사용하는압력식유량제어장치를구비한가스공급설비를보다소형화해서제조비용의절감을도모하는동시에, 과도유량특성을개선해서가스공급개시시의가스의오버슈트현상의발생을방지하고, 유량제어정밀도나설비의신뢰성을높임으로써, 반도체제품의품질불량을적게하는동시에반도체제품의제조능률을높이도록한 것이다. 구체적으로는, 오리피스의상류측압력을오리피스의하류측압력의약 2배이상으로유지한상태에서가스의유량제어를행하면서오리피스대응밸브를통해프로세스로가스를공급하도록한 압력식유량제어장치를구비한가스공급설비에있어서, 가스공급원으로부터가스를수용하는제어밸브와, 제어밸브의하류측에설치한오리피스대응밸브와, 상기제어밸브와오리피스대응밸브와의사이에설치한압력검출기와, 오리피스대응밸브의밸브기구부의하류측에설치한오리피스와, 상기압력검출기의검출압력(P1)에서유량을 P에서유량을 Qc=KP(단 K는정수)로서연산하는동시에, 유량지령신호 Qs와유량연산신호 Qc와의차를제어신호 Qy로서제어밸브의구동부로출력하는연산제어장치로가스공급설비를구성한것이다.

4. 发明授权

KR100327879B1 압력식 유량제어장치를 구비한 가스공급설비 有权
公开(公告)号：KR100327879B1
公开(公告)日：2002-03-09
申请号：KR1020007000775
申请日：1999-05-27
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가쯔메사토시 , 이케다노부카즈 , 니시노코오지 , 요시카와카즈히로 , 이데타에이지 , 도히료수케 , 우노토미오 , 야마지미치오 , 오오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 반도체 제조장치 등에서 사용하는 압력식 유량제어장치를 구비한 가스공급설비를 보다 소형화해서 제조비용의 절감을 도모하는 동시에, 과도유량특성을 개선해서 가스공급개시시의 가스의 오버슈트현상의 발생을 방지하고, 유량제어정밀도나 설비의 신뢰성을 높임으로써, 반도체제품의 품질불량을 적게 하는 동시에 반도체제품의 제조능률을 높이도록 한 것이다.
구체적으로는, 오리피스의 상류측압력을 오리피스의 하류측압력의 약 2배이상으로 유지한 상태에서 가스의 유량제어를 행하면서 오리피스 대응밸브를 통해 프로세스로 가스를 공급하도록 한 압력식 유량제어장치를 구비한 가스공급설비에 있어서, 가스공급원으로부터 가스를 수용하는 제어밸브와, 제어밸브의 하류측에 설치한 오리피스 대응밸브와, 상기 제어밸브와 오리피스 대응밸브와의 사이에 설치한 압력검출기와, 오리피스 대응밸브의 밸브기구부의 하류측에 설치한 오리피스와, 상기 압력검출기의 검출압력(P1)에서 유량을 P
1 에서 유량을 Qc=KP
1 (단 K는 정수)로서 연산하는 동시에, 유량지령신호 Qs와 유량연산신호 Qc와의 차를 제어신호 Qy로서 제어밸브의 구동부로 출력하는 연산제어장치로 가스공급설비를 구성한 것이다.

5. 发明公开

KR1020010031332A 압력식 유량제어장치에 있어서의 막힘 검출방법 및 그검출장치 有权
标题翻译：压力式流量控制装置中的堵塞检测方法及其检测装置
公开(公告)号：KR1020010031332A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007004326
申请日：1999-08-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 야마지미치오 , 도히료우수케 , 요시카와카주히로 , 코요모기뮤쯔노리 , 우노토미오 , 이데타에이지 , 히로세타카시 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 오리피스를 이용한 유량제어장치에 있어서, 오리피스의 막힘을 배관을 분해함이 없이 상류측압력의 검출에 의해서 행하고, 유량제어장치의 장수명화와 안전성을 높이도록 한 것이다.
구체적으로는, 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 하류측의 유량Q
C 를 Q
C =KP
1 (K : 정수)로 연산하고, 이 연산유량Q
C 과 설정유량Q
S 과의 차신호Q
Y 에 의해 컨트롤밸브CV를 개폐제어하는 유량제어장치FCS에 있어서, 오리피스(2)에 막힘이 없는 조건 하에서 고설정유량Q
SH 에서 저설정유량Q
SL 으로 절환하여 측정된 상류측압력P
1 의 기준압력감쇠데이타Y(t)를 기억한 메모리장치M와, 오리피스(2)의 실제조건 하에서 고설정유량Q
SH 에서 저설정유량Q
SL 으로 절환하여 상류측압력P
1 의 압력감쇠데이타P(t)를 측정하는 압력검출기(14)와, 압력감쇠데이타P(t)와 기준압력감쇠데이타Y(t)를 대비연산하는 중앙연산처리장치CPU와, 압력감쇠데이타P(t)가 기준압력감쇠데이타Y(t)보다 소정 정도이상 벌어졌을 때에 막힘을 통지하는 알람회로 (46)로부� ��, 막힘 검출장치를 구성한 것이다.

6. 发明授权

KR100432632B1 압력식 유량제어장치에 있어서의 유량이상검지방법 有权
标题翻译： 압력식유량제어장치에있어서의유량이상검지방압력
公开(公告)号：KR100432632B1
公开(公告)日：2004-05-22
申请号：KR1020017002666
申请日：2000-07-27
申请人： 오미 다다히로 , 이이다 세이이찌 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미다다히로 , 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키 , 우노토미오 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 이데타에이지
IPC分类号： F16K17/22
CPC分类号： G05B23/0235 , G05B23/0256 , G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： A method checks the flow rate for abnormalities while controlling the flow rate of fluid in a pressure-type flow controller FCS using an orifice - the pressure-type flow controller wherein with the upstream pressure P1 maintained about two or more times higher than the downstream pressure P2, the downstream flow rate QC is calculated by the equation QC = KP1 (K: constant) and wherein the control valve CV is controlled on the basis of the difference signal QY between the calculated flow rate QC and the set flow rate QS. The method comprises, outputting a testing signal DELTA Qs having a testing amplitude Vo from a testing circuit provided separately or a flow rate setting circuit to the control valve CV, measuring the pressure amplitude V of the variable pressure DELTA P1 of the pressure P1 on the upstream side of the orifice that arises in response to actuation of the control valve CV and setting off an alarm for the clogging of the orifice when the pressure amplitude V is smaller than a limit amplitude Vt. If the testing signal DELTA Qs is superimposed on a steady-state set flow rate signal Qso and outputted to control the valve CV from the testing circuit or the flow rate setting circuit, the flow rate can be checked for abnormalities while controlling the flow rate by the steady-state set flow rate signal Qso.
摘要翻译：在利用节流孔来控制压力型流量控制器FCS中的流体的流量的同时，检查流量的异常，该压力型流量控制器在上游压力P1维持比下游压力高大约两倍或更多倍的情况下 P2，通过公式QC = KP1（K：常数）计算下游流量QC，并且其中基于计算出的流量QC和设定流量QS之间的差值信号QY来控制控制阀CV。该方法包括：从另外提供的测试电路或流量设定电路向控制阀CV输出具有测试振幅Vo的测试信号ΔQs，测量在控制阀CV上的压力P1的可变压力ΔP1的压力振幅V 当压力振幅V小于极限振幅Vt时，响应于控制阀CV的动作而产生的节流孔的上游侧，并发出堵塞节流孔的警报，如果测试信号ΔQs叠加在稳定状态设定流量信号Qso并输出以从测试电路或流量设定电路控制阀CV时，可以在通过稳态设定流量信号Qso控制流量的同时检查流量异常。＆lt;图像＆GT;

7. 发明授权

KR100401576B1 압력검출기의 설치구조 有权
标题翻译： 압력검출기의설치구조
公开(公告)号：KR100401576B1
公开(公告)日：2003-10-17
申请号：KR1020017004136
申请日：2000-08-03
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 히로세타카시 , 이데타에이지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 니시노코우지 , 요시카와카주히로 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키
IPC分类号： G01L7/08
CPC分类号： G01L19/0023 , G01L19/0645 , G01L19/145 , G01L19/147
摘要： A construction for mounting a pressure detector prevents the detector diaphragm from being strained by stress applied to the pressure detector as the detector is mounted in a fixture main body provided in a pipe line or the like, thereby keeping the output characteristics and temperature characteristics of the detector from greatly differing before and after the mounting. The pressure detector is constructed by combining and fastening together a diaphragm base having a diaphragm and a sensor base having a sensor element therein that is activated by displacement of the diaphragm base. The pressure detector, with a gasket placed thereunder, is disposed in a mounting hole of a fixture main body that is mounted in a pipe line. The pressure detector is airtightly pressed and fastened by a presser member inserted from above in the mounting hole. The presser member is brought in contact with a block upper surface of the diaphragm base, and the gasket is also brought in contact with the block lower surface of the diaphragm base. A shallow groove is defined in the form of a ring on the lower surface of the block at a place inward of the portion contacting the metal gasket so that the shallow groove absorbs strain caused by the presser member.
摘要翻译：用于安装压力检测器的结构防止检测器膜片由于施加到压力检测器的应力而受到应变，因为检测器安装在设置在管线等中的夹具主体中，从而保持检测器的输出特性和温度特性探测器在安装之前和之后差别很大。压力检测器通过将具有膜片的膜片基座和其中具有传感器元件的传感器基座组合并紧固在一起而构成，所述传感器基座通过膜片基座的位移而被激活。压力检测器，在其下方放置有垫圈的压力检测器布置在安装在管线中的夹具主体的安装孔中。压力检测器通过从上方插入安装孔的按压部件被气密地按压并紧固。按压构件与膜片基座的块上表面接触，并且垫片也与膜片基座的块下表面接触。在与金属垫片接触的部分的内侧的位置处，在块体的下表面上以环的形式限定浅槽，使得浅槽吸收由压紧构件引起的应变。＆lt;图像＆GT;

8. 发明授权

KR100348853B1 압력식 유량제어장치에 있어서의 막힘 검출방법 및 그검출장치 有权
公开(公告)号：KR100348853B1
公开(公告)日：2002-08-17
申请号：KR1020007004326
申请日：1999-08-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이이다세이이찌 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 니시노코우지 , 이케다노부카주 , 야마지미치오 , 도히료우수케 , 요시카와카주히로 , 코요모기뮤쯔노리 , 우노토미오 , 이데타에이지 , 히로세타카시 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 오리피스를 이용한 유량제어장치에 있어서, 오리피스의 막힘을 배관을 분해함이 없이 상류측압력의 검출에 의해서 행하고, 유량제어장치의 장수명화와 안전성을 높이도록 한 것이다.
구체적으로는, 상류측압력P
1 을 하류측압력P
2 의 약 2배이상으로 유지하여 하류측의 유량Q
C 를 Q
C =KP
1 (K : 정수)로 연산하고, 이 연산유량Q
C 과 설정유량Q
S 과의 차신호Q
Y 에 의해 컨트롤밸브CV를 개폐제어하는 유량제어장치FCS에 있어서, 오리피스(2)에 막힘이 없는 조건 하에서 고설정유량Q
SH 에서 저설정유량Q
SL 으로 절환하여 측정된 상류측압력P
1 의 기준압력감쇠데이타Y(t)를 기억한 메모리장치M와, 오리피스(2)의 실제조건 하에서 고설정유량Q
SH 에서 저설정유량Q
SL 으로 절환하여 상류측압력P
1 의 압력감쇠데이타P(t)를 측정하는 압력검출기(14)와, 압력감쇠데이타P(t)와 기준압력감쇠데이타Y(t)를 대비연산하는 중앙연산처리장치CPU와, 압력감쇠데이타P(t)가 기준압력감쇠데이타Y(t)보다 어느 정도이상 벌어졌을 때에 막힘을 통지하는 알람회로 (46)로, � �힘 검출장치를 구성한 것이다.

9. 发明公开

KR1020010075514A 압력검출기의 설치구조 有权
标题翻译：压力检测仪的安装结构
公开(公告)号：KR1020010075514A
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：KR1020017004136
申请日：2000-08-03
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 히로세타카시 , 이데타에이지 , 이케다노부카주 , 도히료우수케 , 니시노코우지 , 요시카와카주히로 , 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 후카사와카주오 , 코이주미히로시 , 나가오카히데키
IPC分类号： G01L7/08
摘要： 다이어프램형 압력검출기를 관로나 기계등에 설치한 설치구 본체에 조합했을 때에 압력검출기에 작용하는 응력에 의해서 다이어프램이 변형하여, 조합후의 출력특성이나 온도 특성이 조합전의 특성에 비교하여 크게 변동하는 것을 방지할 수 있도록한 압력검출기의 설비구조를 제공한다.
그러기 위해, 본 발명에서는 다이어프램을 구비한 다이어프램 베이스와, 상기 다이어프램의 변위에 의하여 작동하는 센서소자를 내장한 센서베이스를 조합고착해서 이루어지는 압력검출기를, 배관로나 기계장치에 설치된 설치구 본체의 삽입부착구멍 내로 개스킷을 매개로 끼워붙이고, 상방에서 삽입부착구멍 내로 삽입한 누름부재에 의하여 압력검출기를 기밀하게 압압고정하도록 한 압력검출기 설치구조에 있어서, 상기 다이어프램 베이스의 본체부 상면에 누름부재를, 또한, 다이어프램 베이스의 본체부 하면에 개스킷을 각각 접촉시킴과 아울러, 상기 본체부 하면의 개스킷과의 접촉부의 내측 위치에 얕은 홈을 링형상으로 형성하고, 누름부재에 의한 압압에 의하여 발생된 변형을 얕은 홈에 의하여 흡수한다.

10. 发明公开

KR1020010031388A 유체가변형 유량제어장치 有权
公开(公告)号：KR1020010031388A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007004402
申请日：1999-08-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 카가쯔메사토시 , 히로세준 , 니시노코우지 , 오미다다히로
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 본발명에관한유체가변형유량제어장치는, 1대의유량제어장치에의해, 풀스케일유량을자유롭게변경가능하고, 게다가복수종의유체를고정밀도에유량제어가능하도록한 것이다. 구체적으로는, 오리피스상류측압력P을하류측압력P의약 2배이상으로유지하여유체의유량제어를행하는유량제어장치FCS에있어서, 유체의종류나유량범위에따라서적절한오리피스지름에설정하기위하여교환가능하게설치한오리피스(8)와, 그상류측에설치한컨트롤밸브(2)와, 컨트롤밸브(2)와오리피스(8)의사이에설치한압력검출기(6)와, 이압력검출기(6)의상류측검출기압력P에서유량을 Qc=KP(K는정수)로하여연산하는유량연산회로(14)와, 유량설정신호Qe를출력하는유량설정회로(16)와, 풀스케일유량을절환하기위하여연산유량신호Qc에유량변환율k을걸어서절환연산유량신호Qf(Qf=kQc)로변환하는유량변환회로(18)와, 이 Qf와 Qe의차를제어신호Qy로하여컨트롤밸브(2)의구동부(4)로출력하는연산제어회로(20)로구성되고, Qy가영으로되도록컨트롤밸브(2)를개폐제어한다.

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