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1. 发明授权

KR101058237B1 기판 지지 장치 失效
公开(公告)号：KR101058237B1
公开(公告)日：2011-08-22
申请号：KR1020090030408
申请日：2009-04-08
申请人： 삼성전기주식회사 , 엠파워(주)
发明人： 조영웅 , 임종현 , 채성병 , 김민수 , 유선중
IPC分类号： H05K13/02 , G03F7/30
摘要： 기판 지지 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 프레임(frame), 프레임에 결합되며, 사이에 기판이 개재되도록 간격이 조절 가능한 한 쌍의 클램프(clamp), 및 한 쌍의 클램프의 일단부에 서로 대향하도록 각각 형성되어 기판을 지지하며, 단부로 갈수록 단면적이 감소하는 한 쌍의 돌기를 포함하는 기판 지지 장치가 제공된다. 이에 따르면, 기판의 습식 공정을 위해 기판을 지지하는 장치에 있어서, 기판의 손상 및 미현상을 최소화할 수 있다.
기판, 지지, 클램프

2. 发明公开

KR1020110010965A 수직이송 지그 및 이를 이용한 습식에칭 설비 无效
标题翻译：垂直传送装置和使用其进行湿蚀刻的装置
公开(公告)号：KR1020110010965A
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：KR1020090068362
申请日：2009-07-27
申请人： 삼성전기주식회사 , 엠파워(주)
发明人： 유선중 , 정영철 , 채성병 , 조영웅
IPC分类号： H01L21/677 , G03F7/30 , H05K3/06
CPC分类号： H01L21/67706 , H01L21/67075 , H01L21/6708 , H01L21/67712 , H05K3/061
摘要： PURPOSE: A vertical transport jig and a wet etching device thereof are provided to remove the contact between a facility driving part and a substrate by executing a wet etching process after loading the substrate in a vertical direction. CONSTITUTION: A vertical transport jig comprises a frame, a frame supporter, and a substrate fixture. A first vertical nozzle part(310) sprays an etchant onto one side of a substrate. A second vertical nozzle part(320) sprays an etchant onto the other side of the substrate. The transport device part transfers the vertical transport jig to be upright by being contacted with the frame supporter. A loading device part positions the substrate on the frame in order to vertically fix the substrate on the frame of the vertical transport jig.
摘要翻译：目的：提供垂直输送夹具及其湿式蚀刻装置，通过在垂直方向上装载基板之后执行湿式蚀刻工艺来去除设备驱动部件和基板之间的接触。构成：垂直输送夹具包括框架，框架支撑件和基板夹具。第一垂直喷嘴部分（310）将蚀刻剂喷射到基板的一侧上。第二垂直喷嘴部分（320）将蚀刻剂喷射到基板的另一侧上。运输装置部件通过与框架支撑件接触来传送立式运输夹具以直立。加载装置部件将基板定位在框架上，以将基板垂直地固定在垂直传送夹具的框架上。

3. 发明授权

KR101015937B1 기판이송장치 失效
标题翻译：基板输送装置
公开(公告)号：KR101015937B1
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：KR1020080111637
申请日：2008-11-11
申请人： 엠파워(주)
发明人： 임종현 , 정영철 , 김성화 , 이상광 , 한재선 , 박태우 , 유영종 , 이선호 , 홍형석 , 유선중 , 채성병 , 조영웅
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677
摘要： 본 발명에 의하면, 외부로부터 수직하게 투입된 기판 외주면을 척킹하는 다수개의 척킹부재; 및 지지 프레임 및 수평 프레임에 의해 상기 척킹부재가 구비되는 프레임;을 포함하여 이루어진다.
본 발명에 의하면, 기판 이송을 수직으로 이송하며 기판 상에 공정을 실시하게 함으로써 기판이 이송과정중 이송수단에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있게 하는 효과가 있다.
기판, 로딩, 언로딩, 수직, 척킹부재

4. 发明公开

KR1020100111925A 기판 지지 장치 失效
标题翻译：支撑基板的装置
公开(公告)号：KR1020100111925A
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020090030408
申请日：2009-04-08
申请人： 삼성전기주식회사 , 엠파워(주)
发明人： 조영웅 , 임종현 , 채성병 , 김민수 , 유선중
IPC分类号： H05K13/02 , G03F7/30
摘要： PURPOSE: In order to be over the time cross section, it diminishes to the end part which is close a pair of protrusions with substrate the substrate support device forms. CONSTITUTION: A pair of clamp(120, 130) is combined in the frame(110). The substrate(170) is allowed in between a pair of clamps. A pair of protrusions(140, 150) is formed in order to each other face in one end of a pair of clamps. A pair of protrusions supports substrate. In one end part among a pair of protrusions, the groove(142) is formed in order to be corresponded to the location of the end part of the other one.
摘要翻译：目的：为了超越时间横截面，它减少到与基板支撑装置形成的基板相邻的一对突起的端部。构成：一对夹具（120,130）组合在框架（110）中。衬底（170）被允许在一对夹具之间。一对突起（140,150）在一对夹具的一端形成为彼此面对。一对突起支撑基板。在一对突起中的一端部形成有与另一方的端部的位置对应的槽（142）。

5. 发明公开

KR1020100052783A 기판이송장치 失效
标题翻译：基座运输装置
公开(公告)号：KR1020100052783A
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：KR1020080111637
申请日：2008-11-11
申请人： 엠파워(주)
发明人： 임종현 , 정영철 , 김성화 , 이상광 , 한재선 , 박태우 , 유영종 , 이선호 , 홍형석 , 유선중 , 채성병 , 조영웅
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67706 , H01L21/67712 , H01L21/68728
摘要： PURPOSE: A substrate transfer apparatus is provided to protect the surface of a substrate from damaging by supporting the substrate using an elastic unit. CONSTITUTION: A chucking unit(120) chucks the outer circumference of a substrate which is vertically introduced from the outside. The chucking unit is pressurized by a pressurization unit. The chucking unit includes driving tweezers, an elastic unit, a support block and a reference axis. A frame(110) includes a pair of support frames(112) and a pair of horizontal frames. The elastic unit is a coil spring.
摘要翻译：目的：提供一种基板传送装置，用于通过使用弹性单元支撑基板来保护基板的表面免受损坏。构成：夹持单元（120）卡住从外部垂直引入的基板的外周。夹紧单元由加压单元加压。夹持单元包括驱动镊子，弹性单元，支撑块和参考轴。框架（110）包括一对支撑框架（112）和一对水平框架。弹性单元是螺旋弹簧。

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