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1. 发明公开

KR1020050087642A 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 그 노즐 플레이트의제조 방법 失效
标题翻译：压电式喷嘴和喷嘴板的制造方法
公开(公告)号：KR1020050087642A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：KR1020040013567
申请日：2004-02-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이재창 , 오정민 , 정재우 , 김종범 , 임승모
IPC分类号： B41J2/045
CPC分类号： B41J2/161 , B41J2/14137 , B41J2/14233 , B41J2/162 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646
摘要： 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 그 노즐 플레이트의 제조 방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 토출될 잉크가 채워지는 다수의 압력 챔버를 포함하는 잉크 유로가 형성된 유로 플레이트와, 유로 플레이트의 상부에 형성되어 다수의 압력 챔버 각각에 잉크 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터와, 유로 플레이트에 접합되며 다수의 압력 챔버로부터 잉크를 토출하기 위한 다수의 노즐이 관통 형성된 노즐 플레이트와, 노즐 플레이트의 저면에 형성되어 잉크 유로 내부의 잉크를 가열하는 히터를 구비한다. 그리고, 노즐 플레이트의 저면 또는 유로 플레이트의 상부에는 잉크의 온도를 검출하기 위한 온도 검출부가 형성될 수 있다. 또한, 노즐 플레이트의 저면에는 노즐의 출구 둘레에 노즐금속층과 소수성 도금막이 형성될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 잉크를 가열하기 위한 히터가 노즐 플레이트에 일체로 형성된 구조를 가지므로, 그 제조가 비교적 간단할 뿐만 아니라 프린트헤드 내부의 잉크를 균일한 온도로 가열할 수 있게 된다.

2. 发明公开

KR1020040073120A 압전 방식 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 失效
标题翻译：压电喷墨印刷头的制造方法
公开(公告)号：KR1020040073120A
公开(公告)日：2004-08-19
申请号：KR1020030009098
申请日：2003-02-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이재창 , 임승모 , 정재우 , 김상채
IPC分类号： B41J2/295
摘要： PURPOSE: A manufacturing method of a piezoelectric ink-jet print head is provided to simplify a process, improve a union between substrates, and exactly arrange an ink passage by forming the ink passage through a micro processing technique. CONSTITUTION: An upper substrate(100), a middle substrate(200), and a lower substrate(300) including a single crystal silicon substrate are prepared. The middle substrate(200) is coupled with the lower substrate through SDB. The structure of the middle substrate and the lower substrate is processed finely. The middle substrate(200) has a restrictor, a reservoir, and a damper. The lower substrate(300) has a nozzle connected to a nozzle. The upper substrate(100) is coupled with the middle substrate through SDB. A piezoelectric actuator is formed on the upper substrate(100).
摘要翻译：目的：提供一种压电喷墨打印头的制造方法，以简化工艺，改善基板之间的联接，并通过微加工技术形成油墨通道来精确地布置油墨通道。构成：制备包括单晶硅衬底的上基板（100），中间基板（200）和下基板（300）。中间基板（200）通过SDB与下基板连接。中间基板和下基板的结构被精细加工。中间基板（200）具有限流器，储存器和阻尼器。下基板（300）具有连接到喷嘴的喷嘴。上衬底（100）通过SDB与中间衬底耦合。在上基板（100）上形成压电致动器。

3. 发明授权

KR101336886B1 엑츄에이팅 장치 및 그 제작 방법과, 이를 이용한 모듈변위 조정 장치 失效
标题翻译：驱动装置及其方法，以及使用该致动装置的模块变更控制装置
公开(公告)号：KR101336886B1
公开(公告)日：2013-12-06
申请号：KR1020070074130
申请日：2007-07-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이화선 , 이성희 , 임승모 , 정희문
IPC分类号： H04N5/232
CPC分类号： G02B27/646 , G03B5/00 , H01L41/0973 , H01L41/314 , H04N5/23248 , H04N5/23287 , Y10T29/42
摘要： 엑츄에이팅 장치가 개시된다. 변형 가능한 멤브레인, 멤브레인 상에 형성되어 캐비티를 이루는 월(wall), 캐비티 내부에서, 캐비티 중심을 기준으로 일측의 멤브레인 표면 상에 형성되어, 멤브레인 변형 상태에 연동하여 이동하는 로드(rod) 및 멤브레인 하부에 형성되며 압전 구동되어 멤브레인을 변형시키는 엑츄에이팅부를 포함한다. 이에 따라, 소형 전자기기에 적용되어 기능 모듈을 적절히 엑츄에이팅시킬 수 있다.
로드, 월, 캐비티, 중심, 엑츄에이팅

4. 发明授权

KR100519760B1 압전 방식 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 失效
标题翻译：压电喷墨打印头的制造方法
公开(公告)号：KR100519760B1
公开(公告)日：2005-10-07
申请号：KR1020030009098
申请日：2003-02-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이재창 , 임승모 , 정재우 , 김상채
IPC分类号： B41J2/295
摘要： 적층된 세 개의 단결정 실리콘 기판으로 이루어진 압전 방식 잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 제조방법은, 단결정 실리콘 기판으로 이루어진 상부 기판, 중간 기판 및 하부 기판을 준비하는 단계와, 하부 기판 위에 중간 기판을 SDB법에 의해 접합시키는 단계와, 중간 기판과 하부 기판을 접합된 상태로 미세 가공하여, 중간 기판에는 리스트릭터, 리저버 및 댐퍼를 형성하고, 하부 기판에는 댐퍼에 연결되는 노즐을 형성하는 단계와, 상부 기판을 미세 가공하여 압력 챔버와 잉크 도입구를 형성하는 단계와, 중간 기판 위에 상부 기판을 SDB법에 의해 접합시키는 단계와, 상부 기판 위에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터를 형성하는 단계를 구비한다. 이와 같은 구성에 의하면, 댐퍼와 노즐 사이의 정렬 오차가 발생하지 않으며, 공정 단계가 줄어들게 되어 장비 사용이나 웨이퍼 손실 등 제조 비용을 절감할 수 있다.

5. 发明授权

KR100438836B1 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 失效
标题翻译： 압전방식의잉크젯프린트헤드및그제조방법
公开(公告)号：KR100438836B1
公开(公告)日：2004-07-05
申请号：KR1020010080908
申请日：2001-12-18
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정재우 , 이재창 , 임승모
IPC分类号： B41J2/045
CPC分类号： B41J2/161 , B41J2/1618 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2002/14306 , B41J2002/14475
摘要： 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드와 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트 헤드는 세 개의 단결정 실리콘 기판을 적층하여 접합함으로써 이루어진다. 세 개의 기판은 잉크 도입구와 압력 챔버가 형성된 상부 기판과, 리저버와 댐퍼가 형성된 중간 기판과, 노즐이 형성된 하부 기판으로 구성된다. 리저버와 압력 챔버를 연결하는 리스트릭터는 상부 기판 또는 중간 기판에 형성될 수 있다. 그리고, 실리콘으로 이루어진 진동판을 형성하는 상부 기판 위에는 압전 액츄에이터가 일체형으로 형성된다. 잉크 유로를 이루게 되는 리저버, 압력 챔버, 리스트릭터, 댐퍼, 노즐 등의 구성요소들은 실리콘 미세 가공 기술에 의해 세 개의 실리콘 기판에 형성되므로 보다 미세한 크기로 정밀하고 용이하게 형성될 수 있으며, 세 개의 기판은 모두 실리콘으로 이루어져 있으므로 서로간의 접합 특성이 우수하다. 또한, 종래에 비해 기판의 수가 감소되어 그 제조 공정이 단순화되고 정렬 오차가 감소된다.
摘要翻译：提供一种压电喷墨打印头及其制造方法。压电喷墨打印头通过将三个单晶硅衬底（100,200,300）彼此堆叠并将它们彼此粘合而形成。三个基板包括上部基板（100）和下部基板（200），上部基板（100）中形成有墨水供给孔（110），墨水供给孔（110）的底面形成有压力室（120））和阻尼器（230）;以及形成有喷嘴（310）的下部基板（300）。将储墨器连接到压力室的限制器（220）可以形成在上基板或中间基板上。压电致动器整体地形成在上基板上。＆lt;图像＆GT;

6. 发明公开

KR1020060092397A 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 无效
标题翻译：压电喷墨印刷机及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060092397A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：KR1020050013141
申请日：2005-02-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정창훈 , 임승모 , 신수호
IPC分类号： B41J2/045
CPC分类号： B41J2/1629 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14419
摘要： 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 서로 접합되는 세 개의 단결정 실리콘 기판 상에 구현된다. 상부 기판에는 잉크 인렛과 다수의 압력 챔버가 형성된다. 중간 기판에는 잉크 인렛에 연결되는 매니폴드와, 다수의 리스트릭터와, 다수의 댐퍼가 형성된다. 하부 기판에는 잉크를 토출하기 위한 다수의 노즐이 관통 형성된다. 상부 기판 상에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 그리고, 중간 기판에는 매니폴드의 하부에 형성되어 매니폴드 내부의 압력 변화를 완화시키는 댐핑 멤브레인이 마련되고, 중간 기판의 저면과 하부 기판의 상면 중 적어도 일 면에는 댐핑 멤브레인의 하부에 위치하도록 캐비티가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 댐핑 멤브레인에 의해 매니폴드 내부의 급격한 압력 변화가 완화됨으로써 잉크 토출 시 크로스 토크가 효과적으로 억제될 수 있으며, 캐비티를 통해 기판들의 접합 공정에서 발생하는 가스가 원활하게 외부로 배출됨으로써 보이드가 발생되는 것이 억제될 수 있다.

7. 发明公开

KR1020060067671A 프린터 헤드의 결함 여부 검출장치 및 방법 失效
标题翻译：用于检测打印机头部或未损坏的装置和方法
公开(公告)号：KR1020060067671A
公开(公告)日：2006-06-20
申请号：KR1020040106519
申请日：2004-12-15
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이화선 , 정재우 , 임승모
IPC分类号： B41J2/045 , B41J2/125
CPC分类号： B41J2/16579 , B41J2/0451 , B41J2/04581 , B41J2002/14354
摘要： Disclosed a defect detection device of a printer head and a method of detection defect thereof, the defect detection device of a printer head comprising: first to a Nth (N is a positive integer) actuators providing a driving force for ejecting ink to ink chambers; a vibration signal generator generating vibration signals for vibrating the first to Nth actuators; a first switch receiving the generated vibration signals and outputting the vibration signals to the Kth (K is any integer ranging from 1 to N) actuator among the first to Nth actuators; a second switch receiving vibration signals of one or more among the first to Nth actuators vibrating concurrently with the vibration of the Kth actuator and outputting the Lth vibration signal that corresponds to a vibration signal of the Lth actuator (L is any integer ranging from 1 to N) adjacent to the Kth actuator among the received vibration signals; and a defect detector comparing the Lth vibration signal output from the second switch with the specific vibration signal of the Lth actuator when there is no defect in a printer head and detecting defects in the printer head. Therefore, it is possible to detect defects such as a crack or adhesion failure of the printer head with simple elements.

8. 发明公开

KR1020060062718A 잉크젯 프린터의 와이핑 블레이드 失效
标题翻译：喷墨打印机
公开(公告)号：KR1020060062718A
公开(公告)日：2006-06-12
申请号：KR1020040101655
申请日：2004-12-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김종범 , 임승모 , 정재우
IPC分类号： B41J2/165
摘要： 잉크젯 프린터의 와이핑 블레이드가 개시된다. 개시된 와이핑 블레이드는, 잉크를 토출하는 다수의 노즐이 형성된 프린트 헤드의 노즐면을 클리닝하기 위한 것으로, 그 선단부 일측 모서리 부위에 경사면이 형성되고, 상기 경사면이 프린트 헤드의 노즐면에 면접촉된 상태로 노즐면을 클리닝하도록 된 것을 특징으로 한다. 상기 와이핑 블레이드의 선단면에 대한 경사면의 경사 각도는, 30°내지 60°인 것이 바람직하며, 40°내지 50°인 것이 더 바람직하다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 프린트 헤드의 노즐면에 형성된 소수성 코팅막에 가해지는 압력이 낮아짐으로써 노즐면과 와이핑 블레이드의 마찰에 의한 마모가 감소하여 소수성 코팅막의 내구성이 높아지게 된다.

9. 发明授权

KR100537522B1 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 그 노즐 플레이트의제조 방법 失效
标题翻译：压电式喷墨打印头和喷嘴板的制造方法
公开(公告)号：KR100537522B1
公开(公告)日：2005-12-19
申请号：KR1020040013567
申请日：2004-02-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이재창 , 오정민 , 정재우 , 김종범 , 임승모
IPC分类号： B41J2/045
CPC分类号： B41J2/161 , B41J2/14137 , B41J2/14233 , B41J2/162 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646
摘要： 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드와 그 노즐 플레이트의 제조 방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 토출될 잉크가 채워지는 다수의 압력 챔버를 포함하는 잉크 유로가 형성된 유로 플레이트와, 유로 플레이트의 상부에 형성되어 다수의 압력 챔버 각각에 잉크 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터와, 유로 플레이트에 접합되며 다수의 압력 챔버로부터 잉크를 토출하기 위한 다수의 노즐이 관통 형성된 노즐 플레이트와, 노즐 플레이트의 저면에 형성되어 잉크 유로 내부의 잉크를 가열하는 히터를 구비한다. 그리고, 노즐 플레이트의 저면 또는 유로 플레이트의 상부에는 잉크의 온도를 검출하기 위한 온도 검출부가 형성될 수 있다. 또한, 노즐 플레이트의 저면에는 노즐의 출구 둘레에 노즐금속층과 소수성 도금막이 형성될 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 잉크를 가열하기 위한 히터가 노즐 플레이트에 일체로 형성된 구조를 가지므로, 그 제조가 비교적 간단할 뿐만 아니라 프린트헤드 내부의 잉크를 균일한 온도로 가열할 수 있게 된다.

10. 发明授权

KR100748723B1 기판 접합 방법 失效
标题翻译： 기판접합방법
公开(公告)号：KR100748723B1
公开(公告)日：2007-08-13
申请号：KR1020060064326
申请日：2006-07-10
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임승모 , 이화선 , 김혜진
IPC分类号： H01L21/3065
摘要： A method for bonding a substrate is provided to improve the productivity by reducing remarkably a substrate bonding time using a dry etching process and a low temperature heat treatment of a hot plate instead of a conventional wet cleaning process and a high temperature heat treatment. A plurality of substrates are provided(S101). A dry etching process is performed on a bonding surface of the substrate by using reactive ions(S103). The bonding substrate is exposed to deionized water(S105). The substrates are boned to each other(S109). A heat treatment is performed on the bonded substrates. The heat treatment is performed in a temperature range of 200 °C or less for about one hour. The heat treatment is performed by using a hot plate. A plurality of hot wires are spaced apart from each other in the hot plate.
摘要翻译：提供一种用于接合基板的方法，通过使用干法蚀刻工艺和热板的低温热处理而非常规湿法清洗工艺和高温热处理，显着降低基板接合时间来提高生产率。提供多个基板（S101）。通过使用反应离子在衬底的结合表面上执行干法刻蚀工艺（S103）。将键合衬底暴露于去离子水（S105）。衬底彼此结合（S109）。在粘合的基底上进行热处理。热处理在200℃或更低的温度范围内进行约1小时。热处理通过使用热板进行。多个热丝在热板中彼此间隔开。

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