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热词
    • 1. 发明授权
    • 반도체소자의 제조방법
    • 使用其制造半导体器件的方法
    • KR100585183B1
    • 2006-05-30
    • KR1020060006586
    • 2006-01-21
    • 삼성전자주식회사
    • 최창원김태룡김종범서정우
    • H01L21/3065
    • 웨이퍼의 가장자리에 형성된 누적된 물질층들을 비선택적으로 그리고 정밀하게 제어하면서 제거할 수 있는 웨이퍼 가장자리를 처리하기 위한 플라즈마 처리장치 및 그 방법들이 개시된다. 본 발명의 플라즈마 처리장치는, 웨이퍼 처리가 가능한 처리챔버 내의 하측에 설치되며, 그 상부면에 웨이퍼를 장착할 수 있는 하부전극과 상기 하부전극의 외측벽을 따라 이격되어 있는 측부전극을 포함한다. 또한, 상기 하부전극 및 상기 측부전극에 대응하여 상기 처리챔버의 상측에 원통상으로 설치되어 있는 상부전극 및 상기 하부전극상에 장착되는 상기 웨이퍼의 가장자리 영역에 플라즈마를 형성할 수 있도록 상기 상부전극, 하부전극 및 측부전극 중의 적어도 하나에 연결된 RF소오스를 포함한다. 원통상의 절연판이 상기 상부전극의 내측에 부착되며, 상기 절연판과 상기 상부전극의 내측벽과의 사이로 통과되는 공정가스가 상기 웨이퍼의 가장자리로 외향 공급되도록 적어도 외측으로 하향 경사진 부분을 포함한다.
    • 5. 发明授权
    • 컴퓨터 냉각 장치
    • 컴퓨터냉각장치
    • KR100438830B1
    • 2004-07-05
    • KR1020010069953
    • 2001-11-10
    • 삼성전자주식회사
    • 홍영기송인섭이용수김종범
    • G06F1/20
    • PURPOSE: A computer cooling system is provided to eliminate a cooling noise and to enhance a cooling reliability by using a natural convection phenomenon. CONSTITUTION: The system comprises an evaporator(48), a condenser(50), a gas transport pipe(54), and a liquefied coolant transport pipe(52). The evaporator(48) evaporates liquefied coolant having absorbed the heat generated by heating computer components. The condenser(50) includes a gas divergence module(50a), a liquefied coolant collector(50b), and plural condensation pipes(50c). The gas divergence module(50a), in connection with the gas transport pipe(54), diverges the gas into plural condensation paths. The liquefied coolant collector(50b), installed under the gas transport pipe(54) and connected to the liquefied coolant transport pipe(52), collects the liquefied coolant flowing in from plural condensation paths. The condensation pipes(50c), connected to the gas transport pipe(54) and the liquefied coolant collector(50b), condenses the gas flowing in via the gas divergence module(50a) while the gas is transported to the liquefied coolant collector(50b). The condensation pipes(50c) are independently operated.
    • 目的:提供计算机冷却系统以消除冷却噪音并通过使用自然对流现象来提高冷却可靠性。 构成:该系统包括蒸发器(48),冷凝器(50),气体输送管(54)和液化冷却剂输送管(52)。 蒸发器(48)蒸发吸收由加热计算机部件产生的热量的液化冷却剂。 冷凝器50包括气体分支模块50a,液化的冷却剂收集器50b和多个冷凝管50c。 气体分支模块(50a)与气体输送管(54)相连接,将气体分成多个冷凝路径。 安装在气体输送管道54下方并连接到液化的冷却剂输送管道52的液化的冷却剂收集器50b收集从多个冷凝路径流入的液化的冷却剂。 连接到气体输送管道54和液化冷却剂收集器50b的冷凝管50c在气体被输送到液化冷却剂收集器50b时冷凝经由气体分散模块50a流入的气体 )。 冷凝管(50c)是独立操作的。
    • 6. 发明授权
    • 잉크젯 프린트헤드의 구동 방법
    • 驱动喷墨打印头的方法
    • KR100612841B1
    • 2006-08-18
    • KR1020040013642
    • 2004-02-27
    • 삼성전자주식회사
    • 김종범임성택정재우이광호
    • B41J2/045
    • 잉크젯 프린트헤드의 구동 방법이 개시된다. 개시된 프린트헤드의 구동 방법에 있어서, 액츄에이터에 인가되는 구동 펄스는, 잉크 액적을 토출시킬 수 있는 정도의 주 전위(Vm)로 인가되는 주 펄스와, 주 펄스보다 소정 시간 전에 주 전위(Vm)보다 낮은 예비 전위(Vp)로 인가되는 예비 펄스를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 예비 펄스의 T1, T2 및 T3 구간과, 예비 펄스와 주 펄스 사이의 T4 구간을 적절히 조절함으로써, 노즐을 통해 토출되는 액적의 속도와 체적을 효과적으로 증가 또는 감소시킬 수 있다.
    • 公开了一种驱动喷墨打印头的方法。 在所公开的打印头中,施加到致动器,比主脉冲的驱动波形,和一个主电压(VM)的比施加到一定程度的初级电压(VM),其能够喷出墨滴的主脉冲的预定时间之前的驱动方法 并且以低初始电势Vp施加初步脉冲。 因此,根据作为本发明中,通过T1,T2和T3的时间间隔,预脉冲和预脉冲的主脉冲之间的T4时间间隔的适当的调整,并且可以增加或有效地减少微滴速度和体积,以通过喷嘴排出 。
    • 7. 发明授权
    • 웨이퍼 가장자리를 처리하기 위한 플라즈마 처리장치 및그 플라즈마 처리방법
    • 用于处理晶片边缘的等离子体处理装置及其等离子体处理方法
    • KR100604826B1
    • 2006-07-28
    • KR1020030070634
    • 2003-10-10
    • 삼성전자주식회사
    • 김종범변창주최창원
    • H01L21/3065
    • 웨이퍼의 가장자리에 형성된 누적된 물질층들을 비선택적으로 그리고 정밀하게 제어하면서 제거할 수 있는 웨이퍼 가장자리를 처리하기 위한 플라즈마 처리장치 및 그 방법들이 개시된다. 본 발명의 플라즈마 처리방법은, 웨이퍼 처리가 가능한 처리챔버, 상기 처리챔버의 하측에 설치되며 그 상부면에 처리되어질 웨이퍼를 장착할 수 있는 제1 전극, 상기 제1 전극에 대응하여 상기 웨이퍼의 가장자리 부근에 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 설치된 제2 전극, 플라즈마 발생으로 위한 공정가스를 상기 웨이퍼의 가장자리를 따라 분산공급시키도록 상기 웨이퍼의 상부 표면으로부터 일정한 높이로 설치된 절연판 및 상기 웨이퍼의 가장자리 영역에 플라즈마를 형성할 수 있도록 상기 제1 전극 및 제 2 전극 중의 적어도 하나에 연결된 RF소오스를 포함하는 플라즈마 처리장치를 이용하여 웨이퍼 가장자리를 처리하기 위한 플라즈마 처리방법에 있어서, 상기 웨이퍼의 상부 표면과 상기 절연판의 하부 표면간의 갭 조절에 의해 상기 웨이퍼의 가장자리의 처리영역을 결정하는 단계를 포함한다.