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热词
    • 3. 发明授权
    • 기판 이송 모듈의 오염을 제어할 수 있는 기판 처리 장치및 방법
    • 基板处理装置及控制基板转印模块污染的方法
    • KR100486690B1
    • 2005-05-03
    • KR1020020075458
    • 2002-11-29
    • 삼성전자주식회사
    • 안요한황정성김혁기김기두이수웅
    • H01L21/68
    • H01L21/00H01L21/67017Y10S414/139
    • 기판 이송 모듈의 오염을 제어할 수 있는 기판 처리 장치 및 방법이 개시되어 있다. 본 발명의 기판 처리 장치는, 복수개의 기판을 수용하도록 형성된 용기; 상기 기판 상에 설정된 공정을 수행하기 위한 적어도 하나의 공정 챔버를 포함하는 기판 처리부; 상기 용기 내의 기판들을 상기 기판 처리부로 이송하기 위한 기판 이송 수단이 그 내부에 배치되어 있는 기판 이송 챔버 및 상기 기판 이송 챔버의 외부에 배치되고 상기 용기를 지지하기 위한 적어도 하나의 로드 포트를 포함하는 기판 이송 모듈; 및 상기 기판 이송 챔버에 연결되고, 상기 기판 이송 챔버에 퍼지 가스를 공급하여 상기 기판 이송 챔버 내부를 퍼지하는 가스 공급부 및 상기 기판 이송 챔버 내부의 퍼지 가스를 재순환시켜 상기 기판 이송 챔버로 공급하기 위한 가스 순환관을 포함하는 오염 제어부를 구비한다. 기판 이송 챔버를 퍼지 가스로 퍼지하여 상기 기판 이송 챔버 내부의 습기 및 오염 물질들을 제거함으로써, 공정이 완료된 기판들이 용기 내에서 대기하는 동안 습기 및 오염물질들과 반응하여 응축 입자를 형성하는 것을 방지한다.
    • 4. 发明公开
    • 케미컬 필터 평가 시스템 및 이를 이용한 케미컬 필터평가 방법
    • 化学过滤器评价体系及其使用化学过滤器的评价方法
    • KR1020010064039A
    • 2001-07-09
    • KR1019990062155
    • 1999-12-24
    • 삼성전자주식회사
    • 김기두함동석
    • G01N15/08
    • PURPOSE: An evaluation system of chemical filter and an evaluation method of chemical filter using the same are provided to be capable of evaluating the presence of contamination substance in a chemical filter itself. CONSTITUTION: A chamber(44) is isolated from external contamination sources and has the same internal conditions as those of a clean room. A first gas line(L1) is connected to one side of the chamber(44). A second gas line(L2) is connected to the other side of the chamber(44) to oppose the first gas line(L1). A temperature controller(48) for constantly maintaining the internal temperature of the chamber(44) is mounted on a wall of the chamber(44). A mass flow controller(50) is mounted on the first gas line(L1) to control the gas amount flowing in the chamber(44) through the first gas line(L1).
    • 目的:提供化学过滤器的评估系统和使用其的化学过滤器的评估方法,以便能够评估化学过滤器本身中污染物质的存在。 构成:室(44)与外部污染源隔离,并且具有与洁净室相同的内部条件。 第一气体管线(L1)连接到腔室(44)的一侧。 第二气体管线(L2)连接到腔室(44)的另一侧以与第一气体管线(L1)相对。 用于恒定地保持室(44)的内部温度的温度控制器(48)安装在室(44)的壁上。 质量流量控制器(50)安装在第一气体管线(L1)上,以通过第一气体管线(L1)控制在室(44)中流动的气体量。
    • 5. 发明授权
    • 정전기 센서를 이용한 표면 정전기 분포상태 측정방법과 장치 및 표면 정전기 분포상태 측정 시스템
    • 使用静电传感器的表面静电分布状态测量方法和系统
    • KR100265285B1
    • 2000-09-15
    • KR1019970079195
    • 1997-12-30
    • 삼성전자주식회사
    • 김태호김재봉이순영김기두
    • G01R22/00
    • PURPOSE: An apparatus for measuring a surface electrostatic distribution state is provided to analyze a static electricity to a whole surface of a target such as a wafer or glass using a line sensing assembly having a plurality of electrostatic sensors and a flat sensing assembly having a matrix structure of electrostatic sensor. CONSTITUTION: In an apparatus for measuring a surface electrostatic distribution state, a transverse directional driving device has an electrostatic sensor for measuring a single position of static electricity thereunder, wherein the first reciprocating body(10) thereof is hold, guided and driven with reciprocating motion to the first guide axis. A vertical directional driving device moves and guides the first and second reciprocating devices(18,20) with a transverse direction to the second and third guide axises, wherein the first and second reciprocating devices fix the first guide axis in both transverse directional ends. A base member has an upper holding part, an under holding part(30,32) and a holding plate(34), wherein the upper and under parts hold the second and third guide axises in both vertical ends and the holding plate has a flat plate for placing the target thereon and is located between the upper and under parts.
    • 目的:提供一种用于测量表面静电分布状态的装置,以使用具有多个静电传感器的线感测组件和具有矩阵的平面感测组件来分析诸如晶片或玻璃的靶的整个表面的静电 静电传感器结构。 构成:在用于测量表面静电分布状态的装置中,横向驱动装置具有静电传感器,用于测量下述静电的单个位置,其中第一往复运动体(10)通过往复运动保持,引导和驱动 到第一引导轴。 垂直方向驱动装置沿着与第二和第三导向轴线的横向移动并引导第一和第二往复运动装置(18,20),其中第一和第二往复运动装置将第一导向轴线固定在两个横向端部。 基座部件具有上保持部,下保持部(30,32)和保持板(34),其中,上下部在两个垂直端保持第二和第三引导轴线,并且保持板具有平坦部 用于将目标放置在其上并位于上部和下部之间的板。
    • 8. 发明公开
    • 반도체 제조설비 및 그의 제조방법
    • 制造半导体器件的设备及其制造方法
    • KR1020100062392A
    • 2010-06-10
    • KR1020080121013
    • 2008-12-02
    • 삼성전자주식회사
    • 오형섭김기두김혁기안요한이민선이우용
    • H01L21/02H01L21/00H01L21/48
    • H01L21/67772H01L21/67265
    • PURPOSE: Machines and a method for manufacturing semiconductor devices are provided to increase or maximize a production yield by emitting a purge gas between a plurality of wafers mounted inside of a front opening unified pod(FOUP) in order to increase purge efficiency. CONSTITUTION: An FOUP(10) in which a plurality of wafers(1) is mounted is loaded on a load port(20). A process module(50) performs semiconductor manufacturing processes of the wafer. A transfer module(40) successively transfers the wafer between the process module and the load port. A machine front end module(30) provides a cleaning space between the process module and the load port. The machine front end module includes an opener which opens and closes the door of the FOUP. A purge module(60) purges inside of the FOUP.
    • 目的:提供用于制造半导体器件的机器和方法,以通过在安装在前开口统一容器(FOUP)内部的多个晶片之间发射吹扫气体来增加或最大化生产产量,以便提高净化效率。 构成:其中安装有多个晶片(1)的FOUP(10)被装载在负载端口(20)上。 处理模块(50)执行晶片的半导体制造工艺。 传送模块(40)在处理模块和负载端口之间依次传送晶片。 机器前端模块(30)在处理模块和装载端口之间提供清洁空间。 机器前端模块包括打开和关闭FOUP的门的开启器。 吹扫模块(60)清洗FOUP内部。
    • 10. 发明公开
    • 간이 청정 작업대
    • 简单清洁
    • KR1020010057478A
    • 2001-07-04
    • KR1019990060920
    • 1999-12-23
    • 삼성전자주식회사
    • 박경호이옥선류재준김기두
    • H01L21/02
    • PURPOSE: A simple clean bench is provided to minimize an accumulation of impure particles due to an eddy of the outside air at a sharp corner of a clean room. CONSTITUTION: The simple clean bench includes the first structure defining a space into which the outside air flows, and the second structure(6) formed on the first structure and defining the clean room(6a). The first structure has a pre-filter, while the second structure(6) has a HEPA filter(5). In addition, an operation table is interposed between the first and second structures, and a ventilating motor(4) is disposed on the front of the first structure. Particularly, the simple clean bench further includes a roundish air guide(7) formed at the corner of the clean room(6a) near both sides of the HEPA filter(5), so that the outside air flowing into the cleaning room(6a) is prevented from moving in an eddy.
    • 目的:提供一个简单的洁净台,以便在洁净室的尖角处由于外部空气的涡流而使不纯的颗粒积聚最小化。 构成:简单的清洁台包括限定外部空气流动的空间的第一结构和形成在第一结构上并限定洁净室(6a)的第二结构(6)。 第一结构具有预过滤器,而第二结构(6)具有HEPA过滤器(5)。 此外,在第一和第二结构之间插入操作台,并且在第一结构的前部设置通风电动机(4)。 特别地,简单的清洁工作台还包括形成在洁净室(6a)的靠近HEPA过滤器(5)两侧的角落处的圆形空气引导件(7),使得流入清洁室(6a)的外部空气 被防止在涡流中移动。