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    • 2. 发明公开
    • 에어 스페이서를 포함하는 반도체 소자
    • 一种包括空气间隔物的半导体器件
    • KR1020170062098A
    • 2017-06-07
    • KR1020150167508
    • 2015-11-27
    • 삼성전자주식회사
    • 김경은김용관장세명김봉수황유상
    • H01L29/06H01L29/66H01L21/764H01L21/768
    • H01L21/7682G11C11/40615G11C11/4082G11C11/4087G11C11/4091H01L21/76816H01L21/76877H01L21/76897H01L23/5226H01L23/528H01L23/5329H01L27/10885H01L28/00
    • 에어스페이서를포함하는반도체소자를개시한다. 콘택플러그를포함하는반도체소자및 그제조방법을개시한다. 본발명에따른반도체소자는복수의활성영역을가지는기판, 복수의활성영역위에형성되는도전패턴, 및복수의활성영역위에서에어스페이서를사이에두고도전패턴의제1 및제2 측벽에각각대면하고제1 방향으로연장되는제1 및제2 도전라인구조체를포함하되, 제1 및제2 도전라인구조체는각각, 도전라인, 및도전라인의상면및 측벽을덮으며각각제1 폭을가지는하측부분과제1 폭보다좁은제2 폭을가지는상측부분으로이루어지는도전라인마스크층을포함하고, 에어스페이서는기판의주면에대하여수직방향으로도전라인마스크층의하측부분의측벽을따라서연장되어, 도전라인마스크층의상기상측부분의측벽의일부분상까지연장된다.
    • 公开了一种包括空气间隔物的半导体装置。 公开了包括接触插塞的半导体器件及其制造方法。 根据本发明,每个面向基底,导电图案,所述多个有源区与要在多个具有多个有源区有源区形成的导电图案之间的空气间隔件的第一mitje两个侧壁的半导体器件,并且 包括:第一mitje第二导线结构在第一方向上延伸,所述第一mitje第二导电线结构,每个导电线,以及覆盖上表面和导电线路的侧壁宽度1,下部的项目与每个第一宽度的 比包括由具有第二宽度的上部的一个窄的第一导电线掩模层,和空气间隔中的方向垂直于所述衬底的主表面,所述掩模层上的导电线沿导电线掩模层的下部的侧壁延伸 并且在上部的一部分侧壁上延伸。