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1. 发明公开

KR1020070109408A 박막 증착장치 및 이를 이용한 박막 증착방법 失效
标题翻译：薄膜蒸发装置及其薄膜蒸发方法
公开(公告)号：KR1020070109408A
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：KR1020060042321
申请日：2006-05-11
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 박석환 , 정경훈 , 권윤상 , 유경태 , 김형민
IPC分类号： C23C14/24
摘要： A thin film depositing apparatus and a thin film depositing method using the same are provided, wherein the thin film depositing apparatus can continuously carry out pumping, deposition and substrate withdrawing processes in one line after batch type mounting of the substrate when forming an organic thin film on a substrate to realize full colors. A thin film depositing apparatus comprises: at least one chamber(21) which has a pump part for maintaining an inner part of the chamber in a vacuum state, and in which a process for depositing a deposition material onto a substrate(24) is conducted; a substrate holder for holding the substrate and mask on which the deposition material is deposited within the chamber; an evaporation source including a deposition material crucible(22) which is installed within the chamber oppositely to the substrate, and in which at least one deposition material(23a to 23e) is contained to heat and evaporate the deposition material, and a heating part for partially heating any one of the deposition material; and a chamber moving apparatus(20) for sequentially moving the chamber to at least one chamber placing position(A to E).
摘要翻译：提供一种薄膜沉积设备和使用其的薄膜沉积方法，其中，当形成有机薄膜时，薄膜沉积设备可以在批次安装基板之后连续执行一行中的泵送，沉积和衬底取出处理在基板上实现全彩色。一种薄膜沉积设备包括：至少一个室（21），其具有用于将室的内部部分保持在真空状态的泵部，并且其中进行将沉积材料沉积到基板（24）上的工艺 ; 用于保持沉积材料沉积在所述腔室内的衬底和掩模的衬底保持器; 包括沉积材料坩埚（22）的蒸发源，所述沉积材料坩埚（22）安装在与所述基板相对的所述室内，并且其中包含至少一个沉积材料（23a至23e）以加热和蒸发所述沉积材料;以及加热部分，部分加热任何一种沉积材料; 以及用于将所述室依次移动到至少一个室放置位置（A至E）的室移动装置（20）。

2. 发明授权

KR100729096B1 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치 有权
标题翻译： 유기물증발증착방법및이를위한유기증발증착장치
公开(公告)号：KR100729096B1
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：KR1020060028612
申请日：2006-03-29
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 박석환 , 정경훈 , 권윤상 , 유경태 , 김형민
IPC分类号： C23C14/12 , H05B33/10
摘要： An organic material evaporating deposition method which improves luminance and quality of an organic light emitting display device finally produced by compensating a deposition ratio deviation due to fluctuations of deposition ratio and vibration of a deposition source, and an organic material evaporating deposition apparatus for the same are provided. An organic material evaporating deposition apparatus(100) comprises: an organic material evaporating deposition source(10) in which an organic material is contained to be evaporated by heating; a chamber(90) having the organic material evaporating deposition source mounted on an inner part thereof; a substrate(S) spaced apart from a nozzle part of the organic material evaporating deposition source in a predetermined distance; movement means(50) for enabling the organic material evaporating deposition source to be reciprocated in the total length direction of the substrate; a zone dividing sensor(40) mounted on the movement means to divide the organic material evaporating deposition source into zones of L1 to Ln relative to the total length direction of the substrate; a deposition ratio sensor(20) mounted on the organic material evaporating deposition source to sense the amount of the organic material evaporated; an operation part(60) connected to the deposition ratio sensor and the zone dividing sensor to calculate deposition ratios corresponding to the respective zones; and a control part(80) for reflecting information on the deposition ratios calculated by the operation part.
摘要翻译：一种有机材料蒸发沉积方法以及用于该方法的有机材料蒸发沉积装置，该有机材料蒸发沉积方法通过补偿由于沉积比的波动和沉积源的振动引起的沉积比偏差而最终产生的有机发光显示装置的亮度和质量得到改善，提供。有机材料蒸发沉积设备（100）包括：有机材料蒸发沉积源（10），其中包含有机材料以通过加热而蒸发; 腔室（90），其具有安装在其内部的有机材料蒸发沉积源; 衬底（S），其与有机材料蒸发沉积源的喷嘴部分隔开预定距离; 移动装置（50），用于使有机材料蒸发沉积源在基底的全长方向上往复运动; 安装在所述移动装置上的区域划分传感器（40），用于将所述有机材料蒸发沉积源相对于所述衬底的总长度方向分成L1到Ln的区域; 沉积比率传感器（20），其安装在有机材料蒸发沉积源上以感测蒸发的有机材料的量; 连接到所述沉积比率传感器和所述区域分隔传感器以计算与各个区域对应的沉积比率的操作部件; 以及控制部分（80），用于反映关于由操作部分计算的沉积比率的信息。

3. 发明授权

KR100592304B1 가열 용기와 이를 구비한 증착 장치 有权
标题翻译：加热容器和具有该加热容器的沉积装置
公开(公告)号：KR100592304B1
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：KR1020040089650
申请日：2004-11-05
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 류승윤 , 유경태 , 마성락
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/243
摘要： 본 발명은 증착율이 일정하고 재현성이 좋은 가열 용기 및 이를 구비한 증착 장치를 위하여, 증착될 물질이 담기는 공간부와 증착될 물질이 방출되는 개구부를 가지는 티타늄으로 형성된 본체와, 상기 본체를 가열하는 열선, 그리고 상기 본체를 상기 열선과 절연시키는 절연체를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치의 가열 용기 및 이를 구비한 증착 장치를 제공한다.
摘要翻译：本发明涉及具有恒定沉积速率和良好再现性的加热容器和由钛形成的具有开口部分的主体，包含待沉积物质的空间部分和要沉积物质的开口部分通过该开口部分排出，本发明提供一种发热线，以及使发热体与发热线绝缘的绝缘体，其具备蒸镀装置的加热容器及具有该装置的蒸镀装置。

4. 发明公开

KR1020060040828A 가열 용기와 이를 구비한 증착 장치 有权
标题翻译：加热巧克力和沉积装置
公开(公告)号：KR1020060040828A
公开(公告)日：2006-05-11
申请号：KR1020040089650
申请日：2004-11-05
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 류승윤 , 유경태 , 마성락
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/243
摘要： 본 발명은 증착율이 일정하고 재현성이 좋은 가열 용기 및 이를 구비한 증착 장치를 위하여, 증착될 물질이 담기는 공간부와 증착될 물질이 방출되는 개구부를 가지는 티타늄으로 형성된 본체와, 상기 본체를 가열하는 열선, 그리고 상기 본체를 상기 열선과 절연시키는 절연체를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치의 가열 용기 및 이를 구비한 증착 장치를 제공한다.

5. 发明公开

KR1020020028614A 유기 전자 발광 소자 失效
标题翻译：有机电致发光器件
公开(公告)号：KR1020020028614A
公开(公告)日：2002-04-17
申请号：KR1020000059712
申请日：2000-10-11
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 김동현 , 송옥근 , 유경태
IPC分类号： H05B33/14
CPC分类号： H01L51/5092 , H01L51/0032 , H01L51/0081 , H01L51/5072 , H01L2251/558
摘要： PURPOSE: An organic electro luminescent device is provided to readily form an electron injecting layer and increase electron injection efficiency. CONSTITUTION: An organic electro luminescent device comprises a glass substrate(10), an anode(12), a hole injecting layer(14), a hole transport layer(16), an electro luminescent layer(18), an electron transport layer(20), an electron injecting layer(24) and a cathode(22). The electron injecting layer(24) is formed for charge balance between electrons and holes injected into the electro luminescent layer(18). The electron injecting layer(24) is made by mixing 0.1 to 90 wt% metal caboxylate with Alq3 that is used for the electron transport layer(20). The electron injecting layer(24) is formed by 50 to 2000 Å. As the metal cabosylate, CH8COOLi, C6H5COOLi, CH8COOK, C6H5COOK, C6H5COOCs, CH8COOCs, C6H5COONa and CH8COONa are used.
摘要翻译：目的：提供有机电致发光器件以容易地形成电子注入层并提高电子注入效率。构成：有机电致发光器件包括玻璃衬底（10），阳极（12），空穴注入层（14），空穴传输层（16），电致发光层（18），电子传输层 20），电子注入层（24）和阴极（22）。形成电子注入层（24），用于在注入电致发光层（18）的电子和空穴之间进行电荷平衡。电子注入层（24）通过混合0.1〜90重量％的金
司毒酸盐与用于电子传输层（20）的Alq3而制成。电子注入层（24）由50〜2000构成。作为金属壳云母，使用CH8COOLi，C6H5COOLi，CH8COOK，C6H5COOK，C6H5COOCs，CH8COOCs，C6H5COONa和CH8COONa。

6. 发明公开

KR1020070054871A 유기박막 증착장치 有权
标题翻译：沉积有机薄膜的设备
公开(公告)号：KR1020070054871A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020050112939
申请日：2005-11-24
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 김재중 , 유경태 , 김형민 , 이정열 , 박준영
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/26 , H01L51/001 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 이동이 가능한 증착소스유닛 및 각도제한부재를 구비하여 균일한 유기박막을 형성할 수 있는 유기박막 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 하며, 이 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 유기물 가스를 방출하며 증착 공정 시 이동이 가능한 증착소스유닛과, 적어도 일부가 상기 유기물 가스의 방출경로 상에 형성되어 상기 유기물 가스의 방출방향의 각도를 제한하는 각도제한부재와, 상기 증착소스유닛 및 상기 각도제한부재를 이동시키는 이송수단을 포함하는 유기박막 증착장치를 제공한다.

7. 发明授权

KR100700660B1 마스크 및 그의 제조 방법 有权
标题翻译：掩模及其制造方法
公开(公告)号：KR100700660B1
公开(公告)日：2007-03-27
申请号：KR1020050028596
申请日：2005-04-06
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 유경태
IPC分类号： G03F1/50 , G03F1/64
摘要： 본 발명은 두 번의 식각과 한 번의 레이져 처리를 통해 공차 문제를 해결하고, 개구율이 향상된 마스크 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마스크 및 그의 제조 방법은 소정의 간격으로 이격된 복수 개의 오픈 영역; 상기 오픈 영역을 감싸고 있는 제1오픈 마스크; 상기 제1오픈 마스크와 인접한 제2오픈 마스크 사이에 위치한 지지 마스크; 및 상기 제1오픈 마스크 및 제2오픈 마스크와 지지 마스크를 둘러 쌓고 있는 프레임 마스크를 포함하며, 상기 제1오픈 마스크 및 제2오픈 마스크의 두께는 상기 지지 마스크의 두께 보다 얇고, 상기 지지 마스크의 두께는 상기 프레임 마스크의 두께 보다 얇은 것을 포함하여 이루어진 마스크 및 그의 제조 방법에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 마스크 및 그의 제조 방법은 마스크의 공차 문제를 해결할 수 있고, 개구율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
마스크, 공차, 개구율

8. 发明授权

KR100623701B1 유기물 증착장치 有权
标题翻译：有机物蒸发装置
公开(公告)号：KR100623701B1
公开(公告)日：2006-09-19
申请号：KR1020040078479
申请日：2004-10-01
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 류승윤 , 마성락 , 유경태
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12
摘要： 본 발명은 유기물 증착장치에 관한 것으로서, 도가니 상부에 캡(cap)을 실장하여 상기 도가니의 가열장치와 피처리기판 사이를 차단함으로써 유기물 증착 시 발생하는 열에 의해 피처리기판에 구비되는 마스크의 변형을 방지하여 유기물을 균일하고 안정적으로 증착할 수 있고 그에 따른 공정 수율을 향상시킬 수 있다.
유기물, 도가니, 캡

9. 发明公开

KR1020030034731A 진공 증착장치의 가열용기 有权
标题翻译：加热真空沉积装置的可行性
公开(公告)号：KR1020030034731A
公开(公告)日：2003-05-09
申请号：KR1020010066440
申请日：2001-10-26
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 유경태
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： C23C14/26 , C23C14/243 , H01L51/001
摘要： PURPOSE: A heating crucible of a vacuum deposition apparatus is provided to improve the quality of an organic layer formed on a substrate by heating uniformly organic materials. CONSTITUTION: A main body(33) has a space portion(32) for storing organic materials. An opening portion(31) is formed on the space portion(32). A mesh plate member(40) is installed in the inside of the main body(33). A heater(34) is installed at an outer circumference of the main body(33) to heat the organic materials of the space portion(32). A measuring portion(35) is installed at a bottom portion of the main body(33) to measure the temperature of the organic materials. A size of the opening portion(31) is controlled according to a deposition condition and a deposition state of the organic materials. A plurality of apertures(41) are formed on the mesh plate member(40). A guide portion(50) having a guide rail portion(51) and a guide groove(52) guides the elevation of the mesh plate member(40). A cap(36) is formed on an upper portion of the main body(33). A discharge portion(36a) is formed at a center portion of the cap(36).
摘要翻译：目的：提供一种真空沉积设备的加热坩埚，以通过均匀加热有机材料来提高在基板上形成的有机层的质量。构成：主体（33）具有用于存储有机材料的空间部分（32）。在空间部分（32）上形成开口部分（31）。网板构件（40）安装在主体（33）的内部。加热器（34）安装在主体（33）的外周，以加热空间部分（32）的有机材料。测量部分（35）安装在主体（33）的底部以测量有机材料的温度。根据沉积条件和有机材料的沉积状态来控制开口部分（31）的尺寸。多个孔（41）形成在网板构件（40）上。具有导轨部分（51）和引导槽（52）的引导部分（50）引导网板构件（40）的高度。在主体（33）的上部形成有盖（36）。在盖（36）的中心部形成有排出部（36a）。

10. 发明授权

KR100805531B1 증발원 有权
标题翻译：蒸发源
公开(公告)号：KR100805531B1
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：KR1020060053217
申请日：2006-06-13
申请人： 삼성에스디아이 주식회사
发明人： 박석환 , 정경훈 , 권윤상 , 유경태 , 김형민
IPC分类号： C23C14/26 , C23C14/12 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/243
摘要： 본 발명은 풀컬러(full-color) 구현을 위해 기판 상에 유기박막을 형성할 시에, 분리형 히터를 사용하여 다양한 용량의 도가니에 대응할 수 있는 증발원에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기박막 재료인 유기물이 수납되고, 가열부가 구비된 도가니와, 상기 유기물을 기판에 분사하는 적어도 하나의 분사노즐을 포함하는 증발원에 있어서, 상기 가열부는 적어도 두 개 이상으로 분리된 히터가 상기 도가니의 외면에 일정한 간격으로 설치되며, 분리된 상기 히터는 연결 부재로 연결된다. 이러한 구성에 의하여, 도가니의 용량이 바뀔 때마다 별도의 설계가 필요하지 않아 증발원 전체를 교환하지 않고 적용이 가능하여 비용 및 설비의 대응 능력을 향상시킬 수 있다.
증발원, 분리형 히터

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