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    • 8. 发明授权
    • 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법
    • 有机发光显示装置及其制造方法
    • KR101834464B1
    • 2018-03-06
    • KR1020110124400
    • 2011-11-25
    • 삼성디스플레이 주식회사
    • 김광해최재범정관욱이준우김무진
    • H01L51/50H01L51/56
    • H01L33/08H01L27/1222H01L27/124H01L27/1288H01L27/326H01L33/38
    • 유기발광표시장치및 그제조방법이개시된다. 개시된유기발광표시장치는기판상의전체영역에걸쳐서활성층을균일하게형성하는단계와; 활성층상부에화소전극과게이트전극및 상부전극의패턴을각각형성하는제1마스크공정단계와; 화소전극과, 상부전극및, 박막트랜지스터영역의활성층을각각노출시키는개구가있는절연층을형성하는제2마스크공정단계와; 활성층의노출된부위에접촉하는소스드레인전극을형성하는제3마스크공정단계; 및, 화소전극을노출시키고박막트랜지스터와커패시터영역은덮는화소정의막을형성하는제4마스크공정단계;를통해제조된다. 이러한방식에의하면활성층의마스크패터닝과정이생략되므로마스크수의저감에따른비용의절감및 제조공정의단순화를실현할수 있다.
    • 公开了一种有机发光显示器及其制造方法。 所公开的有机发光显示器包括:在衬底上的整个区域上均匀地形成有源层; 第一掩模处理步骤,分别在有源层上形成像素电极,栅电极和上电极的图案; 第二掩模处理步骤,形成具有暴露所述薄膜晶体管区域的所述像素电极,所述上电极和所述有源层的开口的绝缘层; 第三掩模工艺步骤,形成接触有源层的暴露部分的源极/漏极电极; 以及第四掩模工艺步骤,暴露像素电极并形成覆盖薄膜晶体管和电容器区域的像素限定层。 根据该方法,由于省略了有源层的掩模图案化工艺,所以可以由于掩模数量的减少和制造工艺的简化而实现成本的降低。