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1. 发明公开

KR1020080075100A 포토레지스트용 감광성 성분 无效
标题翻译：光敏元件在光电中的使用
公开(公告)号：KR1020080075100A
公开(公告)日：2008-08-14
申请号：KR1020087010507
申请日：2006-11-06
申请人： 메르크 퍼포먼스 마테리알스 게엠베하
发明人： 잔,울프강 , 그로텐뮬러,랄프 , 바그너,디터
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/027
CPC分类号： G03F7/0233 , C07C309/76 , C08K5/42 , G03F7/0381 , G03F7/0045 , G03F7/027 , G03F7/0382
摘要： A compound of the formula (I) where the symbols and indices are each defined as follows: A is A', R or O-R; where R is a straight-chain, branched or cyclic, saturated or unsaturated aliphatic radical having 1-8 carbon atoms; A' is the same or different and is (Formula Ia), B is a bond,-O-C(O)-,-C(O)-O-,-O-C(O)-,-C(O)-NH-,-NH-C(O)-,-C(O)-O-CH2-CH(OH)-CH2-O,-0-CH2-CH(OH)-CH2-O-(O)C-,-0-C(O)-O-,-0-C(O)-NH-or-NH-C(O)-O-; R1 is H or OH; m is 1, 2, 3, 4 or 5; Y is Formulae (II), (III), (IV), (V), n is a positive rational number >= 3; E is the same or different and is-CH-CHR2-,-CHR2-CH2-,-CH2-CHR2-O-,-O-CHR2-CH2-,-(CH2)t-O-or-0-(CH2)-; R2 is H or CH3 and r is 1 or 4, is suitable as a light-sensitive component for photoresists.
摘要翻译：符号和指数各自定义如下：式（I）的化合物：A是A'，R或O-R; 其中R是具有1-8个碳原子的直链，支链或环状饱和或不饱和的脂族基团; A'相同或不同，为（式Ia），B为键，-OC（O） - ， - C（O）-O - ， - OC（O） - ， - C（O），-NH-C（O） - ， - C（O）-O-CH 2 CH（OH）-CH2-O - ， - O-CH 2 -CH（OH）-CH 2 -O-（O）C - ， - 0-C（O）-O - ， - O-C（O）-NH-或-NH-C（O）-O-; R1是H或OH; m为1,2,3,4或5; Y是式（II），（III），（IV），（V），n是正有理数> = 3; E是相同或不同的，是-CH-CHR 2 - ， - CHR 2 -CH 2 - ， - CH 2 -CH 2 -O - ， - O-CHR 2 -CH 2 - ， - （CH 2）t O-或-O-（CH 2） ; R2是H或CH3，r是1或4，适用作光致抗蚀剂的光敏组分。

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