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1. 发明申请

WO2011059281A2 몰리브덴 단일막용 식각액 조성물 审中-公开
标题翻译：用于钼单膜的蚀刻剂组合物
公开(公告)号：WO2011059281A2
公开(公告)日：2011-05-19
申请号：PCT/KR2010/008045
申请日：2010-11-15
申请人： 동우 화인켐 주식회사 , 임민기 , 장상훈 , 신혜라 , 유인호
发明人： 임민기 , 장상훈 , 신혜라 , 유인호
CPC分类号： C23F1/38
摘要： 본 발명은 조성물 총 중량에 대하여, H 2 O 2 5 내지 25 중량%; 고리형 아민 화합물 0.5 내지 3 중량%; 소듐 디히드로겐 시트레이트, 디소듐 히드로겐 시트레이트, 디소듐 히드로겐 포스페이트, 트리소듐 시트레이트 및 아세테이트염으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상을 포함하는 첨가제 0.5 내지 5 중량%; 및 물 잔량을 포함하는 것을 특징으로 하는 몰리브덴 단일막용 식각액 조성물에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种组合物，其包含5至25重量％的H 2 O 2： 0.5至3重量％的环胺化合物; 0.5至5重量％的添加剂，所述添加剂包含选自柠檬酸二氢钠，柠檬酸氢二钠，磷酸氢二钠，柠檬酸三钠和乙酸盐中的一种或多种; 剩余的水量。本发明涉及用于钼单膜的蚀刻剂组合物。

2. 发明申请

WO2011136597A2 구리와 티타늄을 포함하는 금속막용 식각액 조성물 审中-公开
标题翻译：用于金属层蚀刻溶液的铜和钛组合物
公开(公告)号：WO2011136597A2
公开(公告)日：2011-11-03
申请号：PCT/KR2011/003178
申请日：2011-04-28
申请人： 동우 화인켐 주식회사 , 임민기 , 권오병 , 이유진 , 유인호 , 이준우 , 박영철 , 장상훈
发明人： 임민기 , 권오병 , 이유진 , 유인호 , 이준우 , 박영철 , 장상훈
IPC分类号： C23F1/18
CPC分类号： C23F1/16 , H01L21/32134
摘要： 본 발명은 조성물 총 중량에 대하여, 과황산염 5~20중량%; 함불소화합물 0.01~2중량%; 무기산, 무기산염 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 1종 이상 1~10중량%; 고리형 아민화합물 0.3~5중량%; 함염소화합물 및 구리염에서 선택되는 1종 이상 0.01~8중량%; 및 물 잔량을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리와 티타늄을 포함하는 금속막용 식각액 조성물에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于金属蚀刻溶液的铜和钛组合物，其包含以下组合物：基于组合物的总重量：5至20重量％的过硫酸盐; 0.01〜2重量％的氟化合物; 1-10重量％的含有一种或多种选自无机酸，无机酸盐及其混合物的酸的添加剂; 0.3〜5重量％的环胺化合物; 0.01至8重量％的含有一种或多种选自氯化合物和二价铜盐的化合物的添加剂; 剩余的是水。

3. 发明申请

WO2011019222A9 구리 배선의 형성을 위한 식각액 조성물 审中-公开
公开(公告)号：WO2011019222A9
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：PCT/KR2010/005310
申请日：2010-08-12
申请人： 동우 화인켐 주식회사 , 양승재 , 임민기 , 권오병 , 이유진 , 유인호 , 박영철 , 신혜라 , 이준우
发明人： 양승재 , 임민기 , 권오병 , 이유진 , 유인호 , 박영철 , 신혜라 , 이준우
IPC分类号： C09K13/08 , C23F1/18
摘要： 본 발명은 구리계 금속막과 티타늄계 금속막을 포함하는 다중막에 대한 습식 식각액 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 식각액 조성물은 상기와 같은 다중막의 식각시에 우수한 식각 프로파일을 제공하며, 유리 기판 및 하부의 절연막에 대한 손상 및 잔사 발생을 최소화함으로써 후속 공정이 안정적으로 수행될 수 있게 한다.

4. 发明申请

WO2011136594A2 구리와 티타늄을 포함하는 금속막용 식각액 조성물 审中-公开
标题翻译：用于金属层蚀刻溶液的铜和钛组合物
公开(公告)号：WO2011136594A2
公开(公告)日：2011-11-03
申请号：PCT/KR2011/003172
申请日：2011-04-28
申请人： 동우 화인켐 주식회사 , 임민기 , 권오병 , 이유진 , 유인호
发明人： 임민기 , 권오병 , 이유진 , 유인호
IPC分类号： C23F1/18 , C23F1/30 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/32134 , C23F1/18 , C23F1/26
摘要： 본 발명은 조성물 총 중량에 대하여, 과황산염 5~20 중량%; 함불소화합물 0.01~2 중량%; 무기산, 무기산염 및 이들의 혼합물 중에서 선택되는 1종 이상 1~10 중량%; 고리형 아민화합물 0.3~5 중량%; 함염소화합물 0.1~5 중량%; p-톨루엔 술폰산(p-toluene sulfonic acid) 0.1~5 중량%; 및 물 잔량을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리와 티타늄을 포함하는 금속막용 식각액 조성물에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于金属层蚀刻溶液的铜和钛组合物，其包含以下组分：基于组合物的总重量：5至20重量％的过硫酸盐; 0.01〜2重量％的氟化合物; 1-10重量％的含有一种或多种选自无机酸，无机酸盐及其混合物的酸的添加剂; 0.3〜5重量％的环胺化合物; 0.1〜5重量％的氯化合物; 0.1〜5重量％的对甲苯磺酸; 剩余的是水。

5. 发明申请

WO2011055915A2 식각액 조성물 审中-公开
标题翻译：蚀刻剂组成
公开(公告)号：WO2011055915A2
公开(公告)日：2011-05-12
申请号：PCT/KR2010/006956
申请日：2010-10-12
申请人： 동우 화인켐 주식회사 , 신혜라 , 유인호 , 권오병 , 이유진
发明人： 신혜라 , 유인호 , 권오병 , 이유진
IPC分类号： C09K13/08 , C23F1/20 , C23F1/30
CPC分类号： C23F1/20 , C23F1/30 , H01L21/32134
摘要： 본 발명은 철 화합물 0.1 중량% 내지 10 중량%; 질산 0.1 중량% 내지 10 중량%; 함불소 화합물 0.01 중량% 내지 5 중량%; 및 잔량의 물을 포함하고, 인산염 화합물 0.1 중량% 내지 5 중량%를 추가로 포함할 수 있는 인듐계 금속막, 알루미늄계 금속막, 및 티타늄계 또는 몰리브덴계 금속막으로 이루어진 삼중막의 식각액 조성물에 관한 것이다.
摘要翻译：＆lt; p num =“0000”＆gt; 0.1至10重量％的硝酸; 0.01重量％至5重量％的氟化合物; 并且，还含有0.1〜5重量％的磷酸化合物，铝系金属膜，钛系或钼系金属膜

6. 发明申请

WO2011071326A2 온라인을 통한 웹사이트 평가 시상 서비스 운영방법 审中-公开
标题翻译：如何在线操作网站评估服务
公开(公告)号：WO2011071326A2
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：PCT/KR2010/008819
申请日：2010-12-09
申请人： 주식회사 임프레스씨앤씨 , 유인호
发明人： 유인호
IPC分类号： G06Q50/00
CPC分类号： G06Q30/02
摘要： 본 발명은, 온라인을 통한 웹사이트 평가 시상 서비스 운영방법에 관한 것으로, 그 기술구현의 목적은, 평가서비스 운영자 서버에 의한 시상공모를 통해, 새롭게 구축 또는 리뉴얼된 각종 분야별 웹사이트를 시상 후보작으로 신청,접수받고, 이들을 대상으로, 설정된 평가지표를 통해, 우수 웹사이트를 선별, 시상함으로서, 웹사이트 구축 기술 및 그에 따른 기술의 변화와 방향성을 제시할 수 있도록 한 온라인을 통한 웹사이트 평가 시상 서비스 운영방법을 제공함에 있다. 이에, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적 수단으로는; 자동정보처리부를 포함하며, 여기에, 등록신청부와, 평가위원단 선정부, 그리고, 심사평가 처리부와, 정보데이터 검색부와, 평가보고서 작성부를 더 구비시킨 평가서비스 운영자 서버와, 상기 평가운영자 서버에, 평가받고자 하는 웹사이트를 신청,등록하는, 웹 평가신청자 서버, 그리고, 상기 신청된 웹사이트에 대하여, 심사 평가정보를 제공하는 유저서버를 구축되게 하여 달성한다. 또한, 전술한 시스템을 이용하여, 평가등록 신청단계, 등록종류 선택단계, 평가위원단 선정단계, 심사평가 준비단계, 심사평가 단계, 평가순위 결과 처리단계, 평가 수상자 선정단계, 수상 결과정보 처리단계를 행하게 함으로서, 달성된다.
摘要翻译：
本发明网站评价奖品服务涉及操作的方法，通过奖励竞赛由于新建或通过在线翻新的技术实施的客观评价的服务运营商服务器和各种该网站被选定并作为奖项提名获得，并通过这些网站的评估指标选定并授予所选网站。网站建设技术和变化提供操作网站评估服务的方法。为了实现上述目的，根据本发明的具体手段，它包括自动信息处理单元，在这里，注册申请部，和一个评级委员会选择器，和，筛选评价处理和信息数据搜索单元，其特征在于写入ETR单元评级服务运营商服务器和评估运营商服务器一种Web服务器，用于应用和注册要评估的网站，Web评估申请人服务器以及用于向网站提供评估评估信息的用户服务器。此外，使用上述的系统中，评估注册应用步骤，注册类型选择步骤中，评估委员会选择过程中，筛选评估准备，审查评估阶段，排名结果处理步骤，评估的赢家选择过程中，裁决的结果信息处理步骤要做到这一点。

7. 发明授权

KR102150513B1 구리막 및 티타늄막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102150513B1
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：KR1020140029753
申请日：2014-03-13
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 유인호 , 국인설
IPC分类号： C23F1/18 , C23F1/44 , G02F1/1362

8. 发明授权

KR101877987B1 액정 표시장치용 어레이 기판 제조방법 有权
公开(公告)号：KR101877987B1
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：KR1020110110797
申请日：2011-10-27
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 윤영진 , 유인호
IPC分类号： G02F1/1362 , G02F1/1343 , C09K13/04
摘要： 본발명은 a)기판상에게이트전극을형성하는단계; b)상기게이트전극을포함한기판상에게이트절연층을형성하는단계; c)상기게이트절연층상에반도체층을형성하는단계; d)상기반도체층상에소스/드레인전극을형성하는단계; 및 e)상기드레인전극에연결된화소전극을형성하는단계를포함하는액정표시장치용어레이기판의제조방법에있어서, 상기 a)단계, 또는 d)단계는조성물총 중량에대하여, A)과초산; B)함불소화합물; 및 C)잔량의물을포함하는식각액조성물을이용하여전극을형성하는단계를포함하는것을특징으로하는액정표시장치용어레이기판의제조방법에관한것이다.

9. 发明授权

KR101857712B1 식각액, 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101857712B1
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：KR1020170114753
申请日：2017-09-07
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 동우 화인켐 주식회사
发明人： 박지영 , 최신일 , 정종현 , 김상갑 , 김선일 , 김상태 , 이준우 , 박영철 , 진영준 , 강경민 , 이석준 , 권오병 , 유인호 , 장상훈 , 임민기 , 이유진
IPC分类号： C09K13/04 , C09K13/06 , C09K13/08 , G02F1/13 , H01L33/36
摘要： 본발명의실시예에따른식각액은과황산염 0.5 내지 20 중량%, 불소화합물 0.01 내지 2 중량%, 무기산 1 내지 10 중량%, 고리형아민화합물 0.5 내지 5 중량%, 염소화합물 0.1 내지 5 중량%, 구리염 0.05 내지 3 중량%, 유기산또는유기산염 0.1 내지 10 중량%, 그리고물을포함한다.

10. 发明授权

KR101805186B1 구리 배선의 형성을 위한 식각액 조성물 有权
公开(公告)号：KR101805186B1
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020090084866
申请日：2009-09-09
申请人： 동우 화인켐 주식회사
发明人： 이유진 , 유인호 , 박영철
IPC分类号： C09K13/08
摘要： 본발명은구리계금속막과티타늄계금속막을포함하는다중막에대한습식식각액조성물에관한것이다. 본발명의식각액조성물은상기와같은다중막의식각시에우수한식각프로파일을제공하며, 유리기판및 하부의절연막에대한손상및 잔사발생을최소화함으로써후속공정이안정적으로수행될수 있게한다.

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