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1. 发明公开

KR1020040024869A 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터의 챔버에의가스 분류 공급방법 有权
标题翻译： 유량제어장치를구비한가스공급설비로부의의챔버에의가스분류공급방
公开(公告)号：KR1020040024869A
公开(公告)日：2004-03-22
申请号：KR1020047000678
申请日：2003-01-20
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 스기야마카즈히코 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 도히료우스케 , 우에노야마토요미
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터 소정유량(Q)의 처리용 가스를 정확하고 또한 신속하게, 소망의 유량비(Q
1 /Q
2 )로 챔버 내에 분류 공급할 수 있도록 한다.
구체적으로는, 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터 소정유량(Q)의 가스를 복수의 분기 공급라인 및 그 단말에 고정한 샤워 플레이트를 통해서 감압된 챔버(C) 내에 소정의 유량비(Q
1 /Q
2 )로 분류 공급할 때에, 상기 복수의 분기 공급라인(GL
1 , GL
2 )에 압력식 분류량 제어기(FV
1 , FV
2 )를 설치함과 아울러, 유량이 큰 쪽의 압력식 분류량 제어기의 컨트롤 밸브(CV)의 개도를 완전개방으로 하는 분류량 제어판(FRC)으로부터의 초기유량 설정신호에 의해, 상기 양 분류량 제어기(FV
1 , FV
2 )의 개도 제어를 시작하고, 상기 컨트롤 밸브(CV)의 하류측 압력(P
3 ', P
3 ")을 각각 조정함으로써 샤워 플레이트(3, 4)에 형성한 오리피스 구멍(3a, 4a)을 통해서, 식 Q
1 =C
1 P
3 ' 및 Q
2 =C
2 P
3 "(단, C
1 , C
2 는 오리피스 구멍의 단면적이나 오리피스 구멍 상류측의 가스 온도에 � ��해 결정되는 정수)에 의해 나타내어지는 소망의 분류량(Q
1 , Q
2 )으로 상기 챔버(C) 내에 총량(Q)=Q
1 +Q
2 의 가스를 분류 공급한다.
摘要翻译：从指定量Q的处理气体中，以期望的流量比Q1 / Q2准确且快速地从配备有流量控制器的气体供给设备分配到腔室中的方法。当从具有流量控制器的气体供给设备以期望的流量比Q1 / Q2将规定量的气体Q分成多个分支供给管路和固定在该分支供给管路上的簇射板向减压室C供给时在多个分支供给管线GL1，GL2中设置压力分割量控制部FV1，FV2。通过来自分割量控制基板FRC的初始流量设定信号，开始对两个分割量控制器FV1，FV2的开度控制，使流量和压力P3'高的压力分割量控制器的控制阀CV全开， P3＆QUOT; 在控制阀CV的下游侧被调节，从而在通过在喷淋板（3,4）中形成的孔口孔（3a，4a）以期望的分配量分配到腔室C中的同时提供总量Q = Q1 + 由公式Q1 = C1P3'和Q2 = C2P3“表示的Q1和Q2。（其中C1和C2是常数，取决于孔口的横截面积或其上游侧的气体温度）。＆lt;图像＆GT;

2. 发明授权

KR100556195B1 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터의 챔버에의가스 분류 공급방법 有权
标题翻译：从配有流量控制器的气体供应设备供应到气室的气体供应方法
公开(公告)号：KR100556195B1
公开(公告)日：2006-03-03
申请号：KR1020047000678
申请日：2003-01-20
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 스기야마카즈히코 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 도히료우스케 , 우에노야마토요미
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： A method for supplying a specified quantity Q of processing gas while dividing at a desired flow rate ratio Q1/Q2 accurately and quickly from a gas supply facility equipped with a flow controller into a chamber. When a specified quantity Q of gas is supplied while being divided at a desired flow rate ratio Q1/Q2 from a gas supply facility equipped with a flow controller into a reduced pressure chamber C through a plurality of branch supply lines and shower plates fixed to the ends thereof, pressure type division quantity controllers FV1 and FV2 are provided in the plurality of branch supply lines GL1 and GL2. Opening control of both division quantity controllers FV1 and FV2 is started by an initial flow rate set signal from a division quantity control board FRC for fully opening the control valve CV of the pressure type division quantity controller having a higher flow rate and pressures P3' and P3" on the downstream side of the control valve CV are regulated thus supplying a total quantity Q = Q1 + Q2 of gas while dividing into the chamber C through orifice holes (3a, 4a) made in shower plates (3, 4) at desired division quantities Q1 and Q2 represented by formulas Q1 = C1P3' and Q2 = C2P3" (where, C1 and C2 are constants dependent on the cross-sectional area of the orifice hole or the gas temperature on the upstream side thereof).

3. 发明公开

KR1020010052885A 병렬분류형 유체공급장치와, 이것에 사용하는 유체가변형압력식 유량제어방법 및 유체가변형 압력식 유량제어장치 有权
标题翻译：平行型流体供给装置，流体型可变压力型流量控制方法以及流体可变压力型流量控制装置
公开(公告)号：KR1020010052885A
公开(公告)日：2001-06-25
申请号：KR1020007014228
申请日：2000-04-03
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 카가츠메사토시 , 스기야마카즈히코 , 히로세준 , 후카자와카즈오 , 코이즈미히로시 , 나가오카히데키 , 미나미유키오 , 니시노코지 , 도히료스케 , 요네하나카츠노리 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 모리모토아키히로 , 우노토미오 , 이데타에이지 , 마츠모토아츠시 , 우에노야마토요미 , 히로세타카시
IPC分类号： G05D7/06
摘要： 압력조정용의 1개의 레귤레이터로부터 복수개의 유로를 병렬적으로 설치한 유체공급장치에 있어서, 각 유로의 유체공급의 개폐조작이 다른 유로의 정상공급에 과도적 변동을 주지 않도록 한다. 그를 위하여 각 유로에 유량제어용의 매스플로 컨트롤러(MFC) 또는 압력식 유량제어장치(FCS)를 설치하고, 어느 유로의 유체공급이 닫힘에서 열림으로 되었을 때, 그 유로의 매스플로 컨트롤러(MFC)가 동작개시로부터 일정한 지연시간(Δt)만큼 지연되어 설정유량(Qs)에 도달하도록 구성한다.
또, 1대의 압력식 유량제어장치에 의해 복수의 가스종류를 고밀도로 유량제어할 수 있는 방법과 그 장치를 실현한다. 그를 위하여, 임계압력비 이하의 조건에서 오리피스를 통과하는 가스의 유량계산식을 이론적으로 도출하고, 그 식으로부터 플로팩터를 정의하고, 이 플로팩터를 사용하여 다수의 가스종류에 대응할 수 있도록 하였다.
즉, 오리피스(8)의 상류측 압력(P
1 )을 하류측 압력(P
2 )의 약 2배 이상으로 확보한 상태에서 오리피스를 통과하는 가스의 연산유량(Qc)을 Qc=KP
1 (K는 정수)로서 연산하는 유량제어방법에 있어서, 가스종류마다 플로팩터(FF)를 FF=(k/ν
S ){2/(κ+1)}
1/(κ-1) [κ/{(κ+1)R}]
1/2 에 의해 계산하고, 가스종류 A의 연산유량이 Q
A 인 경우에, 동일 오리피스, 동일 상류측 압력 및 동일 상류측 온도의 조건하에서 가스종류 B를 유통시켰을 때, 그 연산유량(Q
B )을 Q
B =(FF
B /FF
A )Q
A 로서 산출한다. 여기서 ν
S 는 가스의 표준상태 밀도, κ는 가스의 비열비, R은 가스정수, k는 가스종류에 의존하지 않는 비례정수, FF
A , FF
B 는 가스종류 A, B의 플로팩터이다.

4. 发明授权

KR100427563B1 병렬분류형 유체공급장치와, 이것에 사용하는 유체가변형압력식 유량제어방법 및 유체가변형 압력식 유량제어장치 有权
标题翻译： 병렬분류형유체공급급와량량량량및및및및및및및및및량
公开(公告)号：KR100427563B1
公开(公告)日：2004-04-27
申请号：KR1020007014228
申请日：2000-04-03
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 카가츠메사토시 , 스기야마카즈히코 , 히로세준 , 후카자와카즈오 , 코이즈미히로시 , 나가오카히데키 , 미나미유키오 , 니시노코지 , 도히료스케 , 요네하나카츠노리 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 모리모토아키히로 , 우노토미오 , 이데타에이지 , 마츠모토아츠시 , 우에노야마토요미 , 히로세타카시
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0664 , Y10S438/935 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/87877 , Y10T137/87917
摘要： 압력조정용의 1개의 레귤레이터로부터 복수개의 유로를 병렬적으로 설치한 유체공급장치에 있어서, 각 유로의 유체공급의 개폐조작이 다른 유로의 정상공급에 과도적 변동을 주지 않도록 한다. 그를 위하여 각 유로에 유량제어용의 매스플로 컨트롤러(MFC) 또는 압력식 유량제어장치(FCS)를 설치하고, 어느 유로의 유체공급이 닫힌 상태에서 열린 상태로 되었을 때, 그 유로의 매스플로 컨트롤러(MFC)가 동작개시로부터 일정한 지연시간(Δt)만큼 지연되어 설정유량(Qs)에 도달하도록 구성한다.
또, 1대의 압력식 유량제어장치에 의해 복수의 가스종류를 고밀도로 유량제어할 수 있는 방법과 그 장치를 실현한다. 그를 위하여, 임계압력비 이하의 조건에서 오리피스를 통과하는 가스의 유량계산식을 이론적으로 도출하고, 그 식으로부터 플로팩터를 정의하고, 이 플로팩터를 사용하여 다수의 가스종류에 대응할 수 있도록 하였다.
즉, 오리피스(8)의 상류측 압력(P
1 )을 하류측 압력(P
2 )의 약 2배 이상으로 확보한 상태에서 오리피스를 통과하는 가스의 연산유량(Qc)을 Qc=KP
1 (K는 정수)로서 연산하는 유량제어방법에 있어서, 가스종류마다 플로팩터(FF)를
FF = (k/ν
S ){2/(κ+1)}
1/(κ-1) [κ/{(κ+1)R}]
1/2 에 의해 계산하고, 가스종류 A의 연산유량이 Q
A 인 경우에, 동일 오리피스, 동일 상류측 압력 및 동일 상류측 온도의 조건하에서 가스종류 B를 유통시켰을 때, 그 연산유량(Q
B )을 Q
B =(FF
B /FF
A )Q
A 로서 산출한다. 여기서 ν
S 는 가스의 표준상태 밀도, κ는 가스의 비열비, R은 가스정수, k는 가스종류에 의존하지 않는 비례정수, FF
A , FF
B 는 가스종류 A, B의 플로팩터이다.
摘要翻译：一种流体供应装置，其具有从一个调节器分支出来用于调节压力的多条流动管线，所述流动管线平行布置，其中采取措施，即操作，即一个流动通道的打开或关闭将不具有对其他流动通道的稳定流动产生瞬态影响。为此，每个流道设置有延时型质量流量控制器MFC，使得当打开一个封闭流体通道时，该流道上的质量流量控制器在特定延迟时间Δt内达到设定流量Qs 从起点。还提供了一种上述方法和装置，其中可以通过一个压力型流量控制系统高精度地控制多种气体类型的流量。为此，理论上导出用于计算气体流量的公式，其中压力比不高于临界压力比。根据该公式，定义流量因子，以便可以使用流量因子将公式应用于多种气体类型。该方法包括在孔口的上游侧的压力P1设定为高于下游侧的压力P2两倍以上的压力P1的情况下，根据公式Qc = KP1（K =常数）计算通过孔口的气体的流量Qc ，其中每种气体的流量因子FF计算如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算为如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算为如下：＆Delta; FF =（k / ＆AUML; kappa / auml;（kappa + 1）R＆lt; uuml; 1/2＆gt; ＆LT; / DF＆GT; 并且其中，如果所计算的气体类型A的流量是QA，并且当允许气体类型B在上游侧上的相同压力下和上游侧上相同温度下流过同一孔口时， QB计算如下：＆lt; DF＆gt; QB =（FFB / FFA）QA＆lt; / DF＆gt; ys =标准状态下的气体浓度; kappa =气体比热比; R =气体的常数; K =不依赖于气体类型的比例常数; FFA = A型气体流量系数; 和FFB =气体类型B的流量因子。

5. 发明授权

KR100313220B1 압력식 유량제어장치 有权
标题翻译：压力式流量控制装置
公开(公告)号：KR100313220B1
公开(公告)日：2001-11-07
申请号：KR1019997003162
申请日：1998-08-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오오미타다히로 , 카가즈메테트 , 스기야마카즈히코 , 도히료스케 , 우노토미오 , 니시노코지 , 후쿠다히로유키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 반도체제조장치의가스공급게등에서사용하는압력식유량제어장치에있어서, 오리피스의구경을가변으로하고, 유체의유량제어범위를간단히변경할수 있도록함과아울러, 압력식유량제어장치의소형화와가스치환성의향상, 발진방지성능의향상, 제조비용의인하등을가능하게하는것이다. 구체적으로는, 오리피스와, 오리피스의상류측에설치한컨트롤밸브와, 컨트롤밸브와오리피스사이에설치한압력검출기와, 압력검출기의검출압력(P)으로부터의유량(Q)을 Q=KP(단, K는정수)로서연산함과아울러, 유량지령신호(Qs)와상기연산한유량신호(Q)의차를제어신호(Qy)로서상기컨트롤밸브의구동부로출력하는제어장치로구성되고, 오리피스의상류측압력(P)과하류측압력(P)의비를피제어유체의임계압력비이하로유지한상태에서상기컨트롤밸브의개폐에의해오리피스상류측압력(P)을조정하고, 오리피스하류측의유체유량(Q)을제어하도록한 압력식유량제어장치에있어서, 상기오리피스를다이렉트터치형의메탈다이어프램밸브로하고, 밸브시트와다이어프램의링형상의간격을가변오리피스로함과아울러, 오리피스구동장치에의해상기간격의크기를조정하는것이다.

6. 发明授权

KR100294983B1 압력식 유량제어장치의 오리피스 및 오리피스의 제조방법 失效
标题翻译： ORIFICEOR压力式流量控制单元及其制造方法
公开(公告)号：KR100294983B1
公开(公告)日：2001-08-07
申请号：KR1019997003197
申请日：1998-08-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 카가즈메테트 , 스기야마카즈히코 , 후카다오사무 , 오자와스스므 , 사토우요시히로 , 도히료스케 , 우노토미오 , 니시노코지 , 후쿠다히로유키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오
IPC分类号： F15D1/08
CPC分类号： G01F1/40 , G05D7/0186
摘要： 압력식유량제어장치에있어서, 사용하는오리피스를간단하고값싸게제조하는것이가능하도록하고, 제조한오리피스가넓은압력비 P/P(단 P은오리피스상류측의압력, P는오리피스하류측압력)의범위에걸쳐서, 오리피스상류측압력(P)과유량과의사이에리니어특성을보유하고, 더욱이복수개의오리피스상호간의유량특성의조정을간단히가능하도록한다. 구체적으로는오리피스를본체부재(D)에펀칭한아래구멍(6) 한쪽의개구단부를절삭하여나팔모양으로한 입구테이퍼부(1)및이것에연속하는짧은조리개평행부(2)와; 상기아래구멍(6)의다른쪽의개구단부를확경하는것에의해형성한상기조리개평행부(2)에연속하는짧은테이퍼확경부(3)및이것에연속하는평행확경부(4)를구비한제조의오리피스로한다.

7. 发明公开

KR1020000068757A 압력식 유량제어장치의 오리피스 및 오리피스의 제조방법 失效
标题翻译： ORIFICEOR压力式流量控制单元及其制造方法
公开(公告)号：KR1020000068757A
公开(公告)日：2000-11-25
申请号：KR1019997003197
申请日：1998-08-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오미다다히로 , 카가즈메테트 , 스기야마카즈히코 , 후카다오사무 , 오자와스스므 , 사토우요시히로 , 도히료스케 , 우노토미오 , 니시노코지 , 후쿠다히로유키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오
IPC分类号： F15D1/08
CPC分类号： G01F1/40 , G05D7/0186
摘要： 압력식유량제어장치에있어서, 사용하는오리피스를간단하고값싸게제조하는것이가능하도록하고, 제조한오리피스가넓은압력비 P/P(단 P은오리피스상류측의압력, P는오리피스하류측압력)의범위에걸쳐서, 오리피스상류측압력(P)과유량과의사이에리니어특성을보유하고, 더욱이복수개의오리피스상호간의유량특성의조정을간단히가능하도록한다. 구체적으로는오리피스를본체부재(D)에펀칭한아래구멍(6) 한쪽의개구단부를절삭하여나팔모양으로한 입구테이퍼부(1)및이것에연속하는짧은조리개평행부(2)와; 상기아래구멍(6)의다른쪽의개구단부를확경하는것에의해형성한상기조리개평행부(2)에연속하는짧은테이퍼확경부(3)및이것에연속하는평행확경부(4)를구비한제조의오리피스로한다.

8. 发明公开

KR1020000068752A 압력식 유량제어장치 有权
标题翻译：压力式流量控制装置
公开(公告)号：KR1020000068752A
公开(公告)日：2000-11-25
申请号：KR1019997003162
申请日：1998-08-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 오오미타다히로 , 카가즈메테트 , 스기야마카즈히코 , 도히료스케 , 우노토미오 , 니시노코지 , 후쿠다히로유키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 반도체제조장치의가스공급게등에서사용하는압력식유량제어장치에있어서, 오리피스의구경을가변으로하고, 유체의유량제어범위를간단히변경할수 있도록함과아울러, 압력식유량제어장치의소형화와가스치환성의향상, 발진방지성능의향상, 제조비용의인하등을가능하게하는것이다. 구체적으로는, 오리피스와, 오리피스의상류측에설치한컨트롤밸브와, 컨트롤밸브와오리피스사이에설치한압력검출기와, 압력검출기의검출압력(P)으로부터의유량(Q)을 Q=KP(단, K는정수)로서연산함과아울러, 유량지령신호(Qs)와상기연산한유량신호(Q)의차를제어신호(Qy)로서상기컨트롤밸브의구동부로출력하는제어장치로구성되고, 오리피스의상류측압력(P)과하류측압력(P)의비를피제어유체의임계압력비이하로유지한상태에서상기컨트롤밸브의개폐에의해오리피스상류측압력(P)을조정하고, 오리피스하류측의유체유량(Q)을제어하도록한 압력식유량제어장치에있어서, 상기오리피스를다이렉트터치형의메탈다이어프램밸브로하고, 밸브시트와다이어프램의링형상의간격을가변오리피스로함과아울러, 오리피스구동장치에의해상기간격의크기를조정하는것이다.

9. 发明授权

KR100740914B1 차압식 유량계 및 차압식 유량 제어 장치 有权
标题翻译：差压式流量计和差压式流量计控制器
公开(公告)号：KR100740914B1
公开(公告)日：2007-07-20
申请号：KR1020057023572
申请日：2004-06-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 스기야마카즈히코 , 우노토미오 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 나카무라오사무 , 도히료우스케 , 마츠모토아츠시
IPC分类号： G01F1/42 , G01F1/50 , G01F7/00
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要： 차압식 유량계의 구조를 간소화하여 제조 비용의 인하를 도모함과 아울러, 100% ∼ 1%의 넓은 유량 범위에 걸쳐서 오차(E)가 (1%SP)이하의 고정밀도의 유량 계측을 리얼타임으로 또한 인라인 상태에서 행하도록 한다. 이를 위해, 오리피스, 오리피스 상류측의 압력(P
1 ) 검출기, 오리피스 하류측의 유체 압력(P
2 ) 검출기, 오리피스 상류측의 유체 온도(T) 검출기, 및 상기 각 검출기로부터의 검출 압력(P
1 , P
2 ) 및 검출 온도(T)를 이용하여 오리피스를 유통하는 유체 유량(Q)를 연산하는 제어 연산 회로로 이루어지는 차압식 유량계에 있어서, 상기 유체 유량(Q)을 (단, C
1 은 비례 정수, m 및 n은 정수)에 의해 연산한다.
차압식 유량계, 차압식 유량 제어 장치

10. 发明公开

KR1020060022682A 차압식 유량계 및 차압식 유량 제어 장치 有权
标题翻译：差压式流量计和差压式流量计控制器
公开(公告)号：KR1020060022682A
公开(公告)日：2006-03-10
申请号：KR1020057023572
申请日：2004-06-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 스기야마카즈히코 , 우노토미오 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 나카무라오사무 , 도히료우스케 , 마츠모토아츠시
IPC分类号： G01F1/42 , G01F1/50 , G01F7/00
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要： A differential pressure type flow meter in which production cost is lowered by simplifying the structure and high- accuracy measurement of flow rate can be carried out in real time under inline state with an error E not higher than (1%SP) over a wide flow rate range of 100%-1%. The differential pressure type flow meter comprises an orifice, a detector of pressure P1 on the upstream side of the orifice, a detector of pressure P2 on the downstream side of the orifice, a detector of fluid temperature T on the upstream side of the orifice, and a control operation circuit for operating the flow rate Q of fluid passing through the orifice using detected pressures P1 and P2 and detected temperature T from respective detectors, wherein the flow rate Q of fluid is operated according to the following expression; Q=C1.P1/√T.(P2/P1) m-(P2/P1)n)1/2 (where, C 1 is a proportional constant, m and n are constants).
摘要翻译：通过简化流量的结构和高精度测量可以实现生产成本降低的差压式流量计，可以在内联状态下实时进行，误差E不大于（1％SP）的宽流量率范围为100％-1％。差压式流量计包括孔口，孔口上游侧的压力P1检测器，孔口下游侧的压力检测器P2，孔口上游侧的流体温度T检测器，以及控制操作电路，用于通过检测压力P1和P2以及来自各个检测器的检测温度T来操作通过孔的流体的流量Q，其中流体的流量Q根据以下表达式操作; Q = C1.P1 /√T。（P2 / P1）m-（P2 / P1）n）1/2（其中，C 1是比例常数，m和n是常数）。

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