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标题翻译： 병렬분류형유체공급급와량량량량및및및및및및및및및량

公开(公告)号：KR100427563B1

公开(公告)日：2004-04-27

申请号：KR1020007014228

申请日：2000-04-03

申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 오미다다히로 , 카가츠메사토시 , 스기야마카즈히코 , 히로세준 , 후카자와카즈오 , 코이즈미히로시 , 나가오카히데키 , 미나미유키오 , 니시노코지 , 도히료스케 , 요네하나카츠노리 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 모리모토아키히로 , 우노토미오 , 이데타에이지 , 마츠모토아츠시 , 우에노야마토요미 , 히로세타카시

IPC分类号： G05D7/06

CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0664 , Y10S438/935 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/87877 , Y10T137/87917

摘要： 압력조정용의 1개의 레귤레이터로부터 복수개의 유로를 병렬적으로 설치한 유체공급장치에 있어서, 각 유로의 유체공급의 개폐조작이 다른 유로의 정상공급에 과도적 변동을 주지 않도록 한다. 그를 위하여 각 유로에 유량제어용의 매스플로 컨트롤러(MFC) 또는 압력식 유량제어장치(FCS)를 설치하고, 어느 유로의 유체공급이 닫힌 상태에서 열린 상태로 되었을 때, 그 유로의 매스플로 컨트롤러(MFC)가 동작개시로부터 일정한 지연시간(Δt)만큼 지연되어 설정유량(Qs)에 도달하도록 구성한다.
또, 1대의 압력식 유량제어장치에 의해 복수의 가스종류를 고밀도로 유량제어할 수 있는 방법과 그 장치를 실현한다. 그를 위하여, 임계압력비 이하의 조건에서 오리피스를 통과하는 가스의 유량계산식을 이론적으로 도출하고, 그 식으로부터 플로팩터를 정의하고, 이 플로팩터를 사용하여 다수의 가스종류에 대응할 수 있도록 하였다.
즉, 오리피스(8)의 상류측 압력(P
1 )을 하류측 압력(P
2 )의 약 2배 이상으로 확보한 상태에서 오리피스를 통과하는 가스의 연산유량(Qc)을 Qc=KP
1 (K는 정수)로서 연산하는 유량제어방법에 있어서, 가스종류마다 플로팩터(FF)를
FF = (k/ν
S ){2/(κ+1)}
1/(κ-1) [κ/{(κ+1)R}]
1/2 에 의해 계산하고, 가스종류 A의 연산유량이 Q
A 인 경우에, 동일 오리피스, 동일 상류측 압력 및 동일 상류측 온도의 조건하에서 가스종류 B를 유통시켰을 때, 그 연산유량(Q
B )을 Q
B =(FF
B /FF
A )Q
A 로서 산출한다. 여기서 ν
S 는 가스의 표준상태 밀도, κ는 가스의 비열비, R은 가스정수, k는 가스종류에 의존하지 않는 비례정수, FF
A , FF
B 는 가스종류 A, B의 플로팩터이다.

摘要翻译：一种流体供应装置，其具有从一个调节器分支出来用于调节压力的多条流动管线，所述流动管线平行布置，其中采取措施，即操作，即一个流动通道的打开或关闭将不具有对其他流动通道的稳定流动产生瞬态影响。为此，每个流道设置有延时型质量流量控制器MFC，使得当打开一个封闭流体通道时，该流道上的质量流量控制器在特定延迟时间Δt内达到设定流量Qs 从起点。还提供了一种上述方法和装置，其中可以通过一个压力型流量控制系统高精度地控制多种气体类型的流量。为此，理论上导出用于计算气体流量的公式，其中压力比不高于临界压力比。根据该公式，定义流量因子，以便可以使用流量因子将公式应用于多种气体类型。该方法包括在孔口的上游侧的压力P1设定为高于下游侧的压力P2两倍以上的压力P1的情况下，根据公式Qc = KP1（K =常数）计算通过孔口的气体的流量Qc ，其中每种气体的流量因子FF计算如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算为如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算为如下：＆Delta; FF =（k / ＆AUML; kappa / auml;（kappa + 1）R＆lt; uuml; 1/2＆gt; ＆LT; / DF＆GT; 并且其中，如果所计算的气体类型A的流量是QA，并且当允许气体类型B在上游侧上的相同压力下和上游侧上相同温度下流过同一孔口时， QB计算如下：＆lt; DF＆gt; QB =（FFB / FFA）QA＆lt; / DF＆gt; ys =标准状态下的气体浓度; kappa =气体比热比; R =气体的常数; K =不依赖于气体类型的比例常数; FFA = A型气体流量系数; 和FFB =气体类型B的流量因子。

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