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1. 发明公开

KR1020010076276A 본딩장치 및 본딩방법 有权
标题翻译：结合装置和方法
公开(公告)号：KR1020010076276A
公开(公告)日：2001-08-11
申请号：KR1020010002320
申请日：2001-01-16
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 하야타시게루 , 교마스류이치 , 에노키도사토시 , 사사노도시아키
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/004 , H01L2224/78301 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01015 , H01L2924/01027 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01074 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/09701 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2224/48 , H01L2224/45099 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: To eliminate the need for an exclusive camera for calibrating offset when using a reference member for calibrating offset. CONSTITUTION: An axis center 4a of a tool 4 is brought closer to a reference member 30, laser diodes 16 and 17 are sequentially turned on for picking up the images of the reference member 30 and the tool 4 in X and Y directions by a camera 7 for detecting positions, and the amount of deviation of the tool 4 and the reference member 30 is measured. The camera 7 for detecting positions is brought closer to the reference member 30 to measure the amount of deviation between a light axis 7a of the camera 7 for detecting positions and the reference member 30 using the camera 7 for detecting positions. Based on the measurement values and the amount of travel, an accurate amount of offset is obtained. The image light of the tool 4 and the reference member 30 is guided to the camera 7 for detecting positions by prisms 13, 14, and 18, and a half mirror 15, thus eliminating the need for an exclusive camera for detecting the amount of deviation between the tool 4 and the reference member 30.
摘要翻译：目的：为了消除在使用参考构件校准偏移量时需要专用摄像机校准偏移量。构成：工具4的轴心4a靠近参考构件30，激光二极管16和17顺序地接通，以通过照相机在X和Y方向上拾取参考构件30和工具4的图像 7，用于检测位置，并测量工具4和参考构件30的偏离量。用于检测位置的摄像机7靠近基准构件30，以测量用于检测位置的照相机7的光轴7a与使用摄像机7检测位置的基准构件30之间的偏差量。基于测量值和行程量，获得准确的偏移量。工具4和参考构件30的图像光被引导到用于检测棱镜13,14和18的位置的照相机7和半反射镜15，从而不需要专用照相机来检测偏差量在工具4和参考构件30之间。

2. 发明公开

KR1020010087325A 오프셋 측정방법, 툴위치 검출방법 및 본딩장치 失效
标题翻译：偏移测量方法，工具位置检测方法和连接装置
公开(公告)号：KR1020010087325A
公开(公告)日：2001-09-15
申请号：KR1020010011101
申请日：2001-03-05
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 하야타시게루 , 교마스류이치 , 에노키도사토시 , 사사노도시아키
IPC分类号： H01L21/60 , G01B11/00
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/004 , H01L2224/78301 , H01L2224/8513 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01074 , H01L2924/01082 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , Y10T29/49131 , Y10T29/53178 , H01L2224/48 , H01L2224/45099 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: To exactly execute the measurement of tool position in offset correction. CONSTITUTION: The axis center 4a of a tool 4 is made access to a reference member 30, a reference pattern L is cast on the tool 4 by turning on a laser diode 15 and the shift quantity of the reference member 30 and the tool 4 in X-direction is measured based on the image of the reference pattern L projected on the tool 4. The image of the tool 4 in Y-direction (direction facing to the paper surface) is photographed with a position detection camera 7 and the shift quantity of the reference member 30 and the tool 4 in Y-direction is measured. By moving the position detection camera 7 to make access to the reference member 30, the shift quantity between the light axis 7a of the position detection camera 7 and the reference member is measured with the position detection cemera 7. Based on the measured values and the moving values, exact offset quantity is obtained.
摘要翻译：目的：精确执行偏移校正中刀具位置的测量。构成：使工具4的轴心4a接近基准构件30，通过接通激光二极管15和参考构件30和工具4的移位量将基准图案L投射在工具4上基于投影在工具4上的参考图案L的图像来测量X方向。使用位置检测摄像机7拍摄工具4在Y方向（面向纸张表面的方向）上的图像，并且移动量测量基准部件30和工具4的Y方向。通过移动位置检测摄像机7以访问参考构件30，通过位置检测电路7测量位置检测摄像机7的光轴7a与基准构件之间的偏移量。基于测量值和移动值，精确偏移量。

3. 发明授权

KR100399471B1 본딩 장치 및 본딩 방법 失效
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR100399471B1
公开(公告)日：2003-09-29
申请号：KR1020000078255
申请日：2000-12-19
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 에노키도사토시 , 교마스류이치 , 하야타시게루 , 사사노도시아키
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/004 , G06T7/70 , G06T2207/30148 , H01L2224/78301 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01027 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/12041 , H01L2224/48 , H01L2224/45099
摘要： (과제) 오프셋 보정에 돌기상의 레퍼런스 부재를 사용하는 경우에 오프셋 보정용 카메라의 대수를 감소한다.
(해결수단) 툴(4)의 축심(4a)을 레퍼런스 부재(30)에 근접시키고, 발광 다이오드(16,17)를 순차적으로 점등하여 레퍼런스 부재(30) 및 툴(4)의 XY방향의 상을 오프셋 교정용 카메라(12)로 촬영하고, 툴(4)과 레퍼런스 부재(30)의 어긋남 량을 측정한다. 위치검출용 카메라(7)를 레퍼런스 부재(30)에 근접시켜 위치검출용 카메라(7)의 광축(7a)과 레퍼런스 부재(30)의 어긋남 량을 위치검출용 카메라(7)로 측정한다. 이들 측정값과 이동량에 의거하여 정확한 오프셋 양을 구한다.
摘要翻译：引线接合方法和接合工具的轴向中心被引入基准部件的装置，发光二极管依次点亮，使得基准部件和接合工具在X和Y方向上的图像通过偏移校正获得相机。以这种方式，测量接合工具和参考构件之间的偏差量。然后，使位置检测摄像机接近基准构件，并且通过位置检测摄像机测量位置检测摄像机的光轴与基准构件之间的偏移量。基于这些测量值和运动量来确定精确的偏移量。

4. 发明授权

KR101962888B1 와이어 본딩 장치 및 와이어 본딩 방법 有权
公开(公告)号：KR101962888B1
公开(公告)日：2019-03-27
申请号：KR1020177030639
申请日：2016-03-22
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 하야타시게루 , 에노키도사토시
IPC分类号： H01L23/00

5. 发明公开

KR1020010067422A 본딩 장치 및 본딩 방법 失效
标题翻译：绑定装置和绑定方法
公开(公告)号：KR1020010067422A
公开(公告)日：2001-07-12
申请号：KR1020000078255
申请日：2000-12-19
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 에노키도사토시 , 교마스류이치 , 하야타시게루 , 사사노도시아키
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/004 , G06T7/70 , G06T2207/30148 , H01L2224/78301 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01027 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/12041 , H01L2224/48 , H01L2224/45099
摘要： PURPOSE: To reduce the number of cameras for offset calibration, in the case where a projected reference member is used for the correction of the offset of a bonding device. CONSTITUTION: An axial center 4a of a tool 4 is made to approach a reference member 30, light-emitting diodes 16 and 17 are lighted up in the order, to photograph images in the XY directions of the member 30 and the tool 4 by a offset calibration camera 12 and the amount of the deviation of the tool 4 from the member 30 is measured by the camera 12. A camera 7 for position detection is made to approach the member 30 to measure the amount of the deviation of the optical axis 7a of the camera 7 from the member 30 by the camera 7. Accurate amount of the offset of a bonding device is found, on the basis of the measured values of these amounts of the deviation and the distances of movement of the tool 4 and the camera 7.
摘要翻译：目的：为了减少偏移校准的摄像机的数量，在使用投影的参考构件来校正接合装置的偏移量的情况下。构成：工具4的轴心4a靠近基准构件30，发光二极管16和17按顺序点亮，以便通过一个或多个元件30在成员30和工具4的XY方向上拍摄图像偏移校准照相机12，并且通过照相机12测量工具4与构件30的偏差量。用于位置检测的摄像机7接近构件30以测量光轴7a的偏差量通过相机7从构件30获取照相机7.根据这些偏差量和工具4和相机的移动距离的测量值，找到接合装置的偏移量的精确量 7。

6. 发明公开

KR1019960012419A 시료검사장치에 있어서의 시료반송장치 失效
标题翻译：样本测试装置中的样本传送方法和样本传送装置
公开(公告)号：KR1019960012419A
公开(公告)日：1996-04-20
申请号：KR1019950023964
申请日：1995-08-03
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 도미야마히로미 , 오가타요시유키 , 에노키도사토시 , 나카가와다케유키
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/66
CPC分类号： H01L24/78 , B07C5/36 , H01L2224/78 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01082 , Y10S209/922 , Y10S209/939 , H01L2224/48 , H01L2224/45099
摘要： 다음공정에서양·불량의검출및 선별을행할필요가없는시료검사장치에있어서시료반송방법및 시료반송장치를제공한다. 로더측매거진(21)에수납된시료를검사위치로이송하여시료검사장치(10)로검사하고, 양품의시료는본래의로더측매거진(21)에수납하고, 불량품의시료는언로더측매거진(31)에수납하도록반송한다.
摘要翻译：本发明提供了一种样品检测装置中的样品输送方法和样品输送装置，该样品检测装置不需要在下一步骤中进行西部和贫穷的检测和选择。在该杂志的21装载机侧单向，由无缺陷产品的样品中，所存储的样本传送到测试位置的样本检查装置10被存储在库21和有缺陷的样品卸载侧杂志的其原始装载机侧并返回到存储（31）。

7. 发明公开

KR1020170129936A 와이어 본딩 장치 및 와이어 본딩 방법 审中-实审
标题翻译：引线键合装置和引线键合方法
公开(公告)号：KR1020170129936A
公开(公告)日：2017-11-27
申请号：KR1020177030639
申请日：2016-03-22
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 하야타시게루 , 에노키도사토시
IPC分类号： H01L23/00
CPC分类号： H01L24/78 , B23K1/06 , B23K3/08 , B23K35/0261 , B23K2201/40 , H01L2224/78621 , H01L2224/78701 , H01L2224/78702 , H01L2224/78753
摘要： 와이어본딩을위한오프셋을간편하고또한정확하게측정할수 있고, 와이어본딩의정밀도향상을도모하기위해서, 와이어본딩장치(10)는제1 촬상부(30)와, 본딩툴(18)과, 이동기구(12)와, 레퍼런스부재(50)와, 기준면(S)에대하여본딩툴(18) 및제1 촬상부(30)와는반대측에배치된제2 촬상부(40)와, 제어부(60)를구비하고, 제1 촬상부(30)는레퍼런스부재(50)의위치에대한제1 촬상부(30)의광축(30a)의위치를검출하고, 제2 촬상부(40)는미리기억된오프셋값 Xw, Yw에따라본딩툴(18)을레퍼런스부재(50)의상방으로이동시켰을때, 레퍼런스부재(50)의위치를검출함과아울러, 와이어(20)의볼형상선단부(22)의위치를검출하고, 제어부(60)는각 검출결과에기초하여본딩툴(18)과제1 촬상부(30) 사이의오프셋의변화를측정한다.
摘要翻译：引线接合装置10包括第一摄像单元30，接合工具18和移动机构12（参见图1）第二成像单元40，其相对于参考平面S布置在接合工具18和第一成像单元30的相反侧;以及控制单元60，第一成像单元（30）包括第一成像单元30和第二成像单元40的光轴（30A）的检测位置被预先存储偏移值的基准部件（50）XW的位置，当sikyeoteul根据YW移动在基准构件50装室的键合工具18，并且还检测基准部件50，此外，检测电线20 uibol形远端22的位置的位置，控制单元（60）基于检测结果来测量键合工具（18）的图像拾取单元（30）之间的偏移量的变化。

8. 发明授权

KR100805826B1 와이어본딩 장치의 캐필러리 접지위치 데이터 설정방법 失效
标题翻译：用于设置接线装置的毛刺接地位置数据的方法
公开(公告)号：KR100805826B1
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：KR1020070003560
申请日：2007-01-12
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 다카하시구니유키 , 에노키도사토시
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： B23K20/005 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/48245 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/49171 , H01L2224/78301 , H01L2224/786 , H01L2224/851 , H01L2224/85181 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/12041 , H01L2924/14 , H01L2924/00 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要： 캐필러리 교환 시의 시간단축을 도모하고, 메인터넌스의 절력화를 도모한다.
와이어본딩 장치(10)의 캐필러리 교환에 있어서의, 고유의 접지위치에 설정된 캐필러리(16)의 접지위치 데이터 설정방법으로서, 캐필러리 교환 전후에 측정한 각 캐필러리(16)와 기준 부재(25) 사이의 높이 방향의 클리어런스의 차(△Z)와, 교환 전 캐필러리의 접지위치 데이터에 기초하여, 교환 후의 캐필러리 접지위치 데이터를 설정한다. 클리어런스의 측정은, 캐필러리 선단(16c)과 기준 부재(25)의 입면화상을 촬상하는 촬상 수단과, 촬상 수단에 의해 취득된, 캐필러리 선단(16c)과 기준 부재(25)를 포함하는 입면화상을 처리하여 캐필러리 선단(16c)과 기준 부재(25) 사이의 높이 방향의 거리를 측정하는 클리어런스 측정 수단에 의해 행한다.
와이어본딩 장치, 캐필러, 접지위치, 데이터 설정방법, 기준부재, 촬상 수단, 입면화상, 클리어런스 측정 수단, 와이어본딩 장치

9. 发明公开

KR1020070081083A 와이어본딩 장치의 캐필러리 접지위치 데이터 설정방법 失效
标题翻译：用于设置接线装置的毛刺接地位置数据的方法
公开(公告)号：KR1020070081083A
公开(公告)日：2007-08-14
申请号：KR1020070003560
申请日：2007-01-12
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 다카하시구니유키 , 에노키도사토시
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： B23K20/005 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/48245 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/49171 , H01L2224/78301 , H01L2224/786 , H01L2224/851 , H01L2224/85181 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/12041 , H01L2924/14 , H01L2924/00 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要： A method for setting capillary ground position data of a wire bonding apparatus is provided to reduce a capillary replacing time and to economize maintenance costs. Capillary ground position data of post-capillary replacement are set on the basis of predetermined data. The predetermined data contains clearance difference between each capillary and a reference member(25) in a height direction and a ground position of pre-capillary replacement. The measurement of the clearance between the capillary and the reference member in the height direction is performed by using a photographing unit and a clearance measuring unit.
摘要翻译：提供了一种用于设置引线接合装置的毛细管接地位置数据的方法，以减少毛细管更换时间并节省维护成本。基于预定数据设置毛细管后替换的毛细管接地位置数据。预定数据包含毛细管和参考构件（25）之间的高度方向和毛细血管置换前的位置之间的间隙差。通过使用拍摄单元和间隙测量单元来测量毛细管和参考构件之间的高度方向上的间隙。

10. 发明授权

KR100420272B1 오프셋 측정방법, 툴위치 검출방법 및 본딩장치 失效
标题翻译： 오프셋측정방법，툴위치치검방법및본딩장치
公开(公告)号：KR100420272B1
公开(公告)日：2004-03-02
申请号：KR1020010011101
申请日：2001-03-05
申请人： 가부시키가이샤 신가와
发明人： 하야타시게루 , 교마스류이치 , 에노키도사토시 , 사사노도시아키
IPC分类号： H01L21/60 , G01B11/00
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/004 , H01L2224/78301 , H01L2224/8513 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01074 , H01L2924/01082 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , Y10T29/49131 , Y10T29/53178 , H01L2224/48 , H01L2224/45099 , H01L2924/00
摘要： In measuring the position of a bonding tool accurately in offset correction in a bonding apparatus, the tool is moved to approach a reference member, the tool is illuminated with a reference pattern by a laser diode, and the deviation between the reference member and tool in one horizontal direction is measured based upon the image of the reference pattern projected on the tool. A position detection camera images the tool in another horizontal direction, thus measuring the deviation of the tool and reference member. The position detection camera is moved to approach the reference member, and the deviation between the position detection camera and the reference member is measured by the position detection camera. The accurate offset amounts between the position detection camera and the tool are determined based upon these measured values and amounts of movement of the position detection camera and the tool.
摘要翻译：在键合设备中精确地测量键合工具的偏移校正中的位置时，工具被移动以接近参考构件，工具通过激光二极管以参考图案照亮，并且参考构件和工具之间的偏差在基于投影在工具上的参考图案的图像来测量一个水平方向。位置检测摄像机在另一水平方向上对工具成像，从而测量工具和参考构件的偏差。移动位置检测摄像机以接近基准构件，并且由位置检测摄像机测量位置检测摄像机和基准构件之间的偏差。基于这些测量值和位置检测照相机和工具的移动量来确定位置检测照相机和工具之间的精确偏移量。

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