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    • 1. 发明专利
    • 散射量測系統及其方法
    • 散射量测系统及其方法
    • TW201708789A
    • 2017-03-01
    • TW105125725
    • 2016-08-12
    • 財團法人工業技術研究院INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 葉佳良YEH, CHIA LIANG陳義昌CHEN, YI CHANG顧逸霞KU, YI SHA羅竣威LO, CHUN WEI
    • G01B11/06
    • G01B11/24G01B2210/56H01L22/12
    • 本揭露為一種散射量測系統,該散射量測系統包括:產生不連續多波長光束之光源產生器,該多波長光束入射至一待測物後產生具有三維特徵資訊的多階繞射光束,具有感光陣列之感光器用於接收經該待測物後之多階繞射光束,並將所接收之該多階繞射光束轉換成具有該三維特徵資訊之多階繞射訊號,訊號處理裝置接收該多階繞射訊號,並比對該多階繞射訊號與預設建立在一資料庫內之多波長多階繞射特徵圖譜,以分析該待測物的三維特徵。透過本揭露之散射量測系統,即可得到具有待測物三維結構資訊之多階繞射訊號,且透過建立資料庫比對方式,可量測出待測物之三維形貌。
    • 本揭露为一种散射量测系统,该散射量测系统包括:产生不连续多波长光束之光源产生器,该多波长光束入射至一待测物后产生具有三维特征信息的多阶绕射光束,具有感光数组之感光器用于接收经该待测物后之多阶绕射光束,并将所接收之该多阶绕射光束转换成具有该三维特征信息之多阶绕射信号,信号处理设备接收该多阶绕射信号,并比对该多阶绕射信号与默认创建在一数据库内之多波长多阶绕射特征图谱,以分析该待测物的三维特征。透过本揭露之散射量测系统,即可得到具有待测物三维结构信息之多阶绕射信号,且透过创建数据库比对方式,可量测出待测物之三维形貌。