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1. 发明专利

TW206198B 運送底質之裝置失效
简体标题：运送底质之设备
公开(公告)号：TW206198B
公开(公告)日：1993-05-21
申请号：TW081107738
申请日：1992-09-30
申请人：藍伯德公司
发明人：彼特馬勒 , 漢斯臥爾夫
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G2249/02 , H01L21/67712 , H01L21/6776
摘要：有關底質(23，23’, . . .)運送用之裝置，使各底質(substrate)能進入並通過真空處理設備，該真空處理設備具有許多站以及一加熱裝置和底質夾持具，該夾持具略呈板狀，扁平及平行六邊形(parallelepiped)之造形並在垂直位置內沿一預設的運送途徑經由各站而移動，因而，亦裝設有一實心之腳座(6)及在一真空室內供夾持及引導用之裝置，而在該腳座(6)上亦裝設有一頂部(7)，該頂部則構成為一種金(銀)絲細工作裝飾而成之平面框架，在該框架內可利用一底質之夾持具(14，15)將需要處理之各底質(23，23′, . . .)懸掛起來，而在該框上底質夾持具(14，15)之此種夾持夾方式則可以移動以及在底質夾持具(14，15)及框架間之相對運動亦屬可能，例如，由於加熱之結果而產生一種長度之改變。
简体摘要：有关底质(23，23’, . . .)运送用之设备，使各底质(substrate)能进入并通过真空处理设备，该真空处理设备具有许多站以及一加热设备和底质夹持具，该夹持具略呈板状，扁平及平行六边形(parallelepiped)之造形并在垂直位置内沿一默认的运送途径经由各站而移动，因而，亦装设有一实心之脚座(6)及在一真空室内供夹持及引导用之设备，而在该脚座(6)上亦装设有一顶部(7)，该顶部则构成为一种金(银)丝细工作装饰而成之平面框架，在该框架内可利用一底质之夹持具(14，15)将需要处理之各底质(23，23′, . . .)悬挂起来，而在该框上底质夹持具(14，15)之此种夹持夹方式则可以移动以及在底质夹持具(14，15)及框架间之相对运动亦属可能，例如，由于加热之结果而产生一种长度之改变。

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