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1. 发明专利

TWI693650B 用於燈的固持及絕緣特徵有权
简体标题：用于灯的固持及绝缘特征
公开(公告)号：TWI693650B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW104109398
申请日：2015-03-24
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：姚東明 , IU, DONGMING , 拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 希莉布萊諾夫歐佳V , SEREBRYANOV, OLEG V.
IPC分类号： H01L21/67

2. 发明专利

TWI646298B 裝備有具有溫度管理之燈頭的基板處理系統有权
简体标题：装备有具有温度管理之灯头的基板处理系统
公开(公告)号：TWI646298B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：TW102115084
申请日：2013-04-26
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 布里哈特保羅 , BRILLHART, PAUL , 古波若沙堤西 , KUPPURAO, SATHEESH , 姚東明 , IU, DONGMING
IPC分类号： F27D11/00 , H01L21/02

3. 发明专利

TWI605533B 具有可撓式間隙件的燈頭印刷電路板有权
简体标题：具有可挠式间隙件的灯头印刷电路板
公开(公告)号：TWI605533B
公开(公告)日：2017-11-11
申请号：TW103104626
申请日：2014-02-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 賽利布萊恩諾夫奧勒格 , SEREBRYANOV, OLEG , 姚東明 , IU, DONGMING
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H05B3/0047 , H01L21/67115

5. 发明专利

TW201545256A 用於燈的固持及絕緣特徵审中-公开
简体标题：用于灯的固持及绝缘特征
公开(公告)号：TW201545256A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104109398
申请日：2015-03-24
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：姚東明 , IU, DONGMING , 拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 希莉布萊諾夫歐佳V , SEREBRYANOV, OLEG V.
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67115 , H01R33/09 , H05B3/0047 , H05B3/06
摘要：本發明揭露的實施例一般係關於用於作為熱處理腔室中熱輻射源的燈之改良的固持及絕緣特徵。在一個實施例中，提供一處理腔室。該處理腔室包括用於半導體基板熱處理的燈組件、燈組件殼體、電源分配組件及分隔板，燈組件具有燈電連接器及第一側向操作元件，燈組件殼體具有用於容納燈組件的通道，電源分配組件具有用於承接燈電連接器及將電源傳送到燈電連接器之插座，分隔板設置於燈組件殼體與電源分配組件之間，其中分隔板具有經成形以允許燈電連接器通過分隔板的通道，及分隔板具有固持特徵，固持特徵經配置而嚙合或鬆開第一側向操作元件。
简体摘要：本发明揭露的实施例一般系关于用于作为热处理腔室中热辐射源的灯之改良的固持及绝缘特征。在一个实施例中，提供一处理腔室。该处理腔室包括用于半导体基板热处理的灯组件、灯组件壳体、电源分配组件及分隔板，灯组件具有灯电连接器及第一侧向操作组件，灯组件壳体具有用于容纳灯组件的信道，电源分配组件具有用于承接灯电连接器及将电源发送到灯电连接器之插座，分隔板设置于灯组件壳体与电源分配组件之间，其中分隔板具有经成形以允许灯电连接器通过分隔板的信道，及分隔板具有固持特征，固持特征经配置而啮合或松开第一侧向操作组件。

6. 发明专利

TW201436083A 具有可撓式間隙件的燈頭印刷電路板审中-公开
简体标题：具有可挠式间隙件的灯头印刷电路板
公开(公告)号：TW201436083A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW103104626
申请日：2014-02-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 賽利布萊恩諾夫奧勒格 , SEREBRYANOV, OLEG , 姚東明 , IU, DONGMING
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H05B3/0047 , H01L21/67115
摘要：此述的實施例大體上關於與熱處理腔室中之燈頭組件一併使用的可撓式間隙件。一個實施例中，該燈頭組件可包括：燈頭，具有一或多個固定的燈頭位置；燈泡；燈基座，具有間隙件接觸配接器；以及可撓式間隙件，能夠附接與定位該燈組件。可撓式間隙件可包括：插座，裝設成接收燈組件之燈基座；容座，裝設成將燈組件之燈泡定位成與處理腔室熱連接；接觸配接器，裝設成電連接電源供應器；以及導電材料，電連接該插座與該接觸配接器。
简体摘要：此述的实施例大体上关于与热处理腔室中之灯头组件一并使用的可挠式间隙件。一个实施例中，该灯头组件可包括：灯头，具有一或多个固定的灯头位置；灯泡；灯基座，具有间隙件接触配接器；以及可挠式间隙件，能够附接与定位该灯组件。可挠式间隙件可包括：插座，装设成接收灯组件之灯基座；容座，装设成将灯组件之灯泡定位成与处理腔室热连接；接触配接器，装设成电连接电源供应器；以及导电材料，电连接该插座与该接触配接器。

7. 发明专利

TW201432103A 石英的上部及下部圓頂审中-公开
简体标题：石英的上部及下部圆顶
公开(公告)号：TW201432103A
公开(公告)日：2014-08-16
申请号：TW102147992
申请日：2013-12-24
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：常安中 , CHANG, ANZHONG , 布里哈特保羅 , BRILLHART, PAUL , 薩米爾梅莫特圖格魯爾 , SAMIR, MEHMET TUGRUL , 恩蓋葉安哈N , NGUYEN, ANH N. , 帕塔雷凱拉辛奇蘭 , PATALAY, KAILASH KIRAN , 庫瑪蘇拉吉特 , KUMAR, SURAJIT , 阿保艾吉史蒂夫 , ABOAGYE, STEVE , 卡爾森大衛K , CARLSON, DAVID K. , 古波若沙堤西 , KUPPURAO, SATHEESH , 拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 賽利布萊恩諾夫奧勒格 , SEREBRYANOV, OLEG , 姚東明 , IU, DONGMING , 劉樹寬 , LAU, SHU-KWAN , 朱作明 , ZHU, ZUOMING , 迪尼茲赫曼 , DINIZ, HERMAN
IPC分类号： C30B25/08 , C30B25/10
CPC分类号： H01L21/67115 , C23C16/45504
摘要：本發明的實施例關於一種圓頂裝置。該圓頂裝置包括一上部圓頂與一下部圓頂。該上部圓頂包括：一中心窗部；以及一上部周邊凸緣，該上部周邊凸緣在該中心窗部的一圓周處接合於該中心窗部，其中在該中心窗部的一內側表面上的一切線係在相對於該周邊凸緣的一平坦上部表面大約8°至大約16°的一角度處，該切線通過該中心窗部與該上部周邊凸緣的一相交處。該下部圓頂包括：一下部周邊凸緣；以及一底部，該底部連接該下部周邊凸緣與一中心開孔，其中在該底部的一外側表面上的一切線係在相對於該下部周邊凸緣的一平坦底部表面大約8°至大約16°的一角度處，該切線通過該下部周邊凸緣與該底部的一相交處。
简体摘要：本发明的实施例关于一种圆顶设备。该圆顶设备包括一上部圆顶与一下部圆顶。该上部圆顶包括：一中心窗部；以及一上部周边凸缘，该上部周边凸缘在该中心窗部的一圆周处接合于该中心窗部，其中在该中心窗部的一内侧表面上的一切线系在相对于该周边凸缘的一平坦上部表面大约8°至大约16°的一角度处，该切线通过该中心窗部与该上部周边凸缘的一相交处。该下部圆顶包括：一下部周边凸缘；以及一底部，该底部连接该下部周边凸缘与一中心开孔，其中在该底部的一外侧表面上的一切线系在相对于该下部周边凸缘的一平坦底部表面大约8°至大约16°的一角度处，该切线通过该下部周边凸缘与该底部的一相交处。

8. 发明专利

TW201350778A 裝備有具有溫度管理之燈頭的基板處理系統审中-公开
简体标题：装备有具有温度管理之灯头的基板处理系统
公开(公告)号：TW201350778A
公开(公告)日：2013-12-16
申请号：TW102115084
申请日：2013-04-26
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：拉尼許喬瑟夫M , RANISH, JOSEPH M. , 布里哈特保羅 , BRILLHART, PAUL , 古波若沙堤西 , KUPPURAO, SATHEESH , 姚東明 , IU, DONGMING
IPC分类号： F27D11/00 , H01L21/02
CPC分类号： C30B25/105 , F21V7/0083
摘要：在此提供處理基板的設備。在某些具體實施例中，在基板處理中所使用的燈頭包含具有一輪廓表面之單塊元件；位於該輪廓表面中之多數個反射鏡凹穴，其中每一反射鏡凹穴都具有做為一反射鏡或接收一燈具之可替換反射鏡的形狀；以及多數個燈具通道，其中每一燈具通道都從該多數個反射鏡凹穴延伸至該單塊元件之中。
简体摘要：在此提供处理基板的设备。在某些具体实施例中，在基板处理中所使用的灯头包含具有一轮廓表面之单块组件；位于该轮廓表面中之多数个反射镜凹穴，其中每一反射镜凹穴都具有做为一反射镜或接收一灯具之可替换反射镜的形状；以及多数个灯具信道，其中每一灯具信道都从该多数个反射镜凹穴延伸至该单块组件之中。

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