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1. 发明专利

TW201243097A 電漿輔助式化學氣相沉積裝置 APPARATUS OF PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 审中-公开
简体标题：等离子辅助式化学气相沉积设备 APPARATUS OF PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
公开(公告)号：TW201243097A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW100114032
申请日：2011-04-22
申请人：精曜有限公司
发明人：楊國璽 , 游正義 , 李曉菁 , 陳宣任
IPC分类号： C23C
摘要：一種電漿輔助式化學氣相沉積裝置包括一製程腔室、一上電極、一下電極以及至少一圖案化介質材料裝置。上電極與下電極係相對設置於製程腔室之內，用以產生一電漿輔助式化學氣相沉積反應，以將一薄膜材料沉積於一設置於該下電極上之基板上。圖案化介質材料裝置係設置於下電極上，並與基板之至少一邊角相鄰設置。
简体摘要：一种等离子辅助式化学气相沉积设备包括一制程腔室、一上电极、一下电极以及至少一图案化介质材料设备。上电极与下电极系相对设置于制程腔室之内，用以产生一等离子辅助式化学气相沉积反应，以将一薄膜材料沉积于一设置于该下电极上之基板上。图案化介质材料设备系设置于下电极上，并与基板之至少一边角相邻设置。

2. 发明专利

TW201044608A 薄膜太陽能電池及其製作方法 THIN FILM SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF 审中-公开
简体标题：薄膜太阳能电池及其制作方法 THIN FILM SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TW201044608A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW098119061
申请日：2009-06-08
申请人：精曜有限公司
发明人：游萃蓉 , 林俊榮 , 賴政志 , 楊國璽 , 楊能輝 , 陳建宏
IPC分类号： H01L , B82B
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：一種薄膜太陽能電池,包括一基板、一第一導電層、一催化材料層、一碳奈米結構、一本質層、一第二型半導體層以及一第二導電層。第一導電層配置於基板上。催化材料層配置於導電層上,其中催化材料層的材質為一具有鐵、鈷、鎳至少其一的化合物。碳奈米結構位於催化材料層上,並與其電性連接。本質層配置於碳奈米結構上。第二型半導體層配置於本質層上。第二導電層配置於第二型半導體層上。本發明亦提出一種薄膜太陽能電池的製作方法。
简体摘要：一种薄膜太阳能电池,包括一基板、一第一导电层、一催化材料层、一碳奈米结构、一本质层、一第二型半导体层以及一第二导电层。第一导电层配置于基板上。催化材料层配置于导电层上,其中催化材料层的材质为一具有铁、钴、镍至少其一的化合物。碳奈米结构位于催化材料层上,并与其电性连接。本质层配置于碳奈米结构上。第二型半导体层配置于本质层上。第二导电层配置于第二型半导体层上。本发明亦提出一种薄膜太阳能电池的制作方法。

3. 发明专利

TWI411701B 電漿輔助式化學氣相沉積裝置有权
简体标题：等离子辅助式化学气相沉积设备
公开(公告)号：TWI411701B
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：TW100114032
申请日：2011-04-22
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：楊國璽 , YANG, GWO SHII , 游正義 , YU, CHENG YI , 李曉菁 , LEE, HSIAO CHING , 陳宣任 , CHEN, HSUAN JEN
IPC分类号： C23C16/54

4. 发明专利

TWI403612B 電漿輔助式化學氣相沉積裝置有权
简体标题：等离子辅助式化学气相沉积设备
公开(公告)号：TWI403612B
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW100114029
申请日：2011-04-22
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：游正義 , YU, CHENG YI , 楊國璽 , YANG, GWO SHII , 李曉菁 , LEE, HSIAO CHING , 陳宣任 , CHEN, HSUAN JEN
IPC分类号： C23C16/513

5. 发明专利

TW201243096A 電漿輔助式化學氣相沉積裝置 APPARATUS OF PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION 审中-公开
简体标题：等离子辅助式化学气相沉积设备 APPARATUS OF PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
公开(公告)号：TW201243096A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW100114029
申请日：2011-04-22
申请人：精曜有限公司
发明人：游正義 , 楊國璽 , 李曉菁 , 陳宣任
IPC分类号： C23C
摘要：一種電漿輔助式化學氣相沉積裝置，包括一製程腔室、一上電極、一下電極、一射頻饋入裝置以及至少一連接裝置。上電極與下電極係相對設置於製程腔室之內。射頻饋入裝置係與上電極相連結，用以產生電漿輔助式化學氣相沉積反應，以將一薄膜材料沉積於一設置於下電極上之基板上。連接裝置係設置於製程腔室內，並與下電極及製程腔室之一上壁或一側壁電性耦合。
简体摘要：一种等离子辅助式化学气相沉积设备，包括一制程腔室、一上电极、一下电极、一射频馈入设备以及至少一连接设备。上电极与下电极系相对设置于制程腔室之内。射频馈入设备系与上电极相链接，用以产生等离子辅助式化学气相沉积反应，以将一薄膜材料沉积于一设置于下电极上之基板上。连接设备系设置于制程腔室内，并与下电极及制程腔室之一上壁或一侧壁电性耦合。

6. 发明专利

TW201044606A 薄膜太陽能電池及其製作方法 THIN FILM SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF 审中-公开
简体标题：薄膜太阳能电池及其制作方法 THIN FILM SOLAR CELL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TW201044606A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW098119051
申请日：2009-06-08
申请人：精曜有限公司
发明人：游萃蓉 , 楊能輝 , 賴政志 , 楊國璽
IPC分类号： H01L
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：一種薄膜太陽能電池,包括一基板、一第一導電層、一第一型半導體層、一混合式半導體層、一第二型半導體層以及一第二導電層。第一導電層配置於基板上。第一型半導體層配置於第一導電層上。混合式半導體層具有一非晶矽層及一結晶矽層。非晶矽層具有一第一能隙,而結晶矽層具有一第二能隙,其中第一能隙大於第二能隙。混合式半導體層位於第一型半導體層與第二型半導體層之間。第二導電層配置於第二型半導體層上。本發明亦提出一種薄膜太陽能電池的製作方法。
简体摘要：一种薄膜太阳能电池,包括一基板、一第一导电层、一第一型半导体层、一混合式半导体层、一第二型半导体层以及一第二导电层。第一导电层配置于基板上。第一型半导体层配置于第一导电层上。混合式半导体层具有一非晶硅层及一结晶硅层。非晶硅层具有一第一能隙,而结晶硅层具有一第二能隙,其中第一能隙大于第二能隙。混合式半导体层位于第一型半导体层与第二型半导体层之间。第二导电层配置于第二型半导体层上。本发明亦提出一种薄膜太阳能电池的制作方法。

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