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1. 发明申请

WO2010078264A2 METHODS AND SYSTEMS OF TRANSFERRING, DOCKING AND PROCESSING SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译：方法和系统的传输，对接和处理基板
公开(公告)号：WO2010078264A2
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：PCT/US2009069601
申请日：2009-12-28
申请人： ARCHERS INC , LEI LAWRENCE CHUNG-LAI , MAK ALFRED , LIU REX , PARK KON , PAK SAMUEL S , WU TZY-CHUNG TERRY , ZHU SIMON , ROSE RONALD L , SHIN GENE , WANG XIAOMING , LOH YING TSONG
发明人： LEI LAWRENCE CHUNG-LAI , MAK ALFRED , LIU REX , PARK KON , PAK SAMUEL S , WU TZY-CHUNG TERRY , ZHU SIMON , ROSE RONALD L , SHIN GENE , WANG XIAOMING , LOH YING TSONG
IPC分类号： H01L21/677 , B25J5/02 , B25J9/06 , B65G49/06 , B65G49/07 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67173 , B65G49/061 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , H01L21/6719 , H01L21/67706 , H01L21/67748
摘要： In accordance with some embodiments described herein, methods and systems for transferring a substrate to two or more process modules is provided, comprising loading at least one substrate into one or more mobile transverse chambers, the mobile transverse chambers being carried on a rail positioned adjacent to the two or more process modules, and wherein each mobile transverse chamber is configured to maintain a specified gas condition during conveyance of the substrate. One or more drive systems are actuated to propel at least one of the one or more mobile transverse chambers along the rail. The at least one mobile transfer chamber docks to at least one of the process modules, and the substrate is conveyed from the mobile transverse chamber to the at least one process modules. In some embodiments a process module facility is integrated with a system for processing substrates comprising at least one process chamber carried in a frame, a sub floor adjacent the process module, a stationary pump and electrical box positioned atop the subfloor, and gas control lines and vacuum exhaust lines housed within the subfloor and coupled to the process.
摘要翻译：根据本文所述的一些实施例，提供了用于将衬底传送到两个或更多个处理模块的方法和系统，包括：将至少一个衬底加载到一个或多个横向移动室中，移动横向室被承载在邻近所述两个或更多个处理模块，并且其中每个移动横向室被配置为在所述基板的传送期间保持特定的气体状态。致动一个或多个驱动系统以沿轨道推进一个或多个横向移动室中的至少一个。所述至少一个移动传送室对接至所述处理模块中的至少一个，并且所述衬底从所述移动横向室传送至所述至少一个处理模块。在一些实施例中，处理模块设施与用于处理基板的系统集成，所述系统包括承载在框架中的至少一个处理室，邻近处理模块的底层，定位在底层地板顶上的固定泵和电箱以及气体控制线和真空排气管道安装在底层地板内并与过程耦合。

2. 发明申请

WO2010078264A3 METHODS AND SYSTEMS OF TRANSFERRING, DOCKING AND PROCESSING SUBSTRATES 审中-公开
公开(公告)号：WO2010078264A3
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：PCT/US2009/069601
申请日：2009-12-28
申请人： ARCHERS INC. , LEI, Lawrence, Chung-Lai , MAK, Alfred , LIU, Rex , PARK, Kon , PAK, Samuel, S. , WU, Tzy-Chung, Terry , ZHU, Simon , ROSE, Ronald, L. , SHIN, Gene , WANG, Xiaoming , LOH, Ying Tsong
发明人： LEI, Lawrence, Chung-Lai , MAK, Alfred , LIU, Rex , PARK, Kon , PAK, Samuel, S. , WU, Tzy-Chung, Terry , ZHU, Simon , ROSE, Ronald, L. , SHIN, Gene , WANG, Xiaoming , LOH, Ying Tsong
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G49/07 , B25J5/02 , B25J9/06 , G02F1/13
摘要： In accordance with some embodiments described herein, methods and systems for transferring a substrate to two or more process modules is provided, comprising loading at least one substrate into one or more mobile transverse chambers, the mobile transverse chambers being carried on a rail positioned adjacent to the two or more process modules, and wherein each mobile transverse chamber is configured to maintain a specified gas condition during conveyance of the substrate. One or more drive systems are actuated to propel at least one of the one or more mobile transverse chambers along the rail. The at least one mobile transfer chamber docks to at least one of the process modules, and the substrate is conveyed from the mobile transverse chamber to the at least one process modules. In some embodiments a process module facility is integrated with a system for processing substrates comprising at least one process chamber carried in a frame, a sub floor adjacent the process module, a stationary pump and electrical box positioned atop the subfloor, and gas control lines and vacuum exhaust lines housed within the subfloor and coupled to the process.

3. 发明专利

TWI581443B 太陽能模組及其製造方法有权
简体标题：太阳能模块及其制造方法
公开(公告)号：TWI581443B
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW103124566
申请日：2014-07-17
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：吳建樹 , WU, CHIEN SHU , 詹逸民 , CHAN, I MIN
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/05
CPC分类号： Y02E10/50

4. 发明专利

TW201711213A 半導體元件及其製作方法审中-公开
简体标题：半导体组件及其制作方法
公开(公告)号：TW201711213A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：TW104129664
申请日：2015-09-08
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：劉書謙 , LIU, JOHN , 詹逸民 , CHAN, I MIN , 吳建樹 , WU, CHIEN SHU
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/04 , H01L31/072 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：一種半導體元件的製作方法包括提供一半導體堆疊層以及一電鍍電極於一溶液中、對半導體堆疊層的相對面與電鍍電極施加一電壓差以及提供一光束至半導體堆疊層，令第一電極形成於半導體堆疊層的入光面上。電壓差使電鍍電極提供至少一金屬離子至溶液中並形成一金屬離子溶液。半導體堆疊層的入光面與半導體堆疊層的相對面相對，且半導體堆疊層適於吸收上述光束並產生一電子至入光面，令金屬離子溶液中的金屬離子與電子形成第一電極於半導體堆疊層的入光面上。一種半導體元件亦被提出。
简体摘要：一种半导体组件的制作方法包括提供一半导体堆栈层以及一电镀电极于一溶液中、对半导体堆栈层的相对面与电镀电极施加一电压差以及提供一光束至半导体堆栈层，令第一电极形成于半导体堆栈层的入光面上。电压差使电镀电极提供至少一金属离子至溶液中并形成一金属离子溶液。半导体堆栈层的入光面与半导体堆栈层的相对面相对，且半导体堆栈层适于吸收上述光束并产生一电子至入光面，令金属离子溶液中的金属离子与电子形成第一电极于半导体堆栈层的入光面上。一种半导体组件亦被提出。

5. 发明专利

TW201635566A 太陽能電池的製作方法审中-公开
简体标题：太阳能电池的制作方法
公开(公告)号：TW201635566A
公开(公告)日：2016-10-01
申请号：TW104109417
申请日：2015-03-24
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：陳麒麟 , CHEN, CHI LIN , 吳建樹 , WU, CHIEN SHU
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/072 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50
摘要：一種太陽能電池的製作方法，包括下列步驟。提供一半導體基底，半導體基底具有一側面以及互相背對之一第一面與一第二面，且側面上形成有一離型層。於第一面上依序形成一第一半導體層以及一第一摻雜半導體層，且於第二面上依序形成一第二半導體層以及一第二摻雜半導體層。於第一摻雜半導體層與第二摻雜半導體層上形成一透明導電層，且透明導電層係至少部分覆蓋離型層。將離型層與半導體基底分離，以移除離型層與覆蓋離型層之透明導電層。
简体摘要：一种太阳能电池的制作方法，包括下列步骤。提供一半导体基底，半导体基底具有一侧面以及互相背对之一第一面与一第二面，且侧面上形成有一离型层。于第一面上依序形成一第一半导体层以及一第一掺杂半导体层，且于第二面上依序形成一第二半导体层以及一第二掺杂半导体层。于第一掺杂半导体层与第二掺杂半导体层上形成一透明导电层，且透明导电层系至少部分覆盖离型层。将离型层与半导体基底分离，以移除离型层与覆盖离型层之透明导电层。

6. 发明专利

TW201607063A 背接觸式太陽能模組及其背板結構审中-公开
简体标题：背接触式太阳能模块及其背板结构
公开(公告)号：TW201607063A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：TW103127638
申请日：2014-08-12
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：吳建樹 , WU, CHIEN SHU
IPC分类号： H01L31/05
CPC分类号： Y02E10/50
摘要：一種背接觸式太陽能模組，包括背板結構、背接觸式太陽能電池、透光基板及密封材。背板結構包括第一絕緣層、配置於第一絕緣層上的緻密層、配置於緻密層上的第二絕緣層及配置於第二絕緣層上且交錯排列的多個第一電極及多個第二電極。緻密層的分子間隙小於第一絕緣層及第二絕緣層的分子間隙。背接觸式太陽能電池具有相對的吸光面及非吸光面，且包括配置在非吸光面上且交錯排列的多個第三電極與多個第四電極。第一電極接觸第三電極，且第二電極接觸第四電極。透光基板配置於吸光面上。密封材填充於背板結構與透光基板之間。
简体摘要：一种背接触式太阳能模块，包括背板结构、背接触式太阳能电池、透光基板及密封材。背板结构包括第一绝缘层、配置于第一绝缘层上的致密层、配置于致密层上的第二绝缘层及配置于第二绝缘层上且交错排列的多个第一电极及多个第二电极。致密层的分子间隙小于第一绝缘层及第二绝缘层的分子间隙。背接触式太阳能电池具有相对的吸光面及非吸光面，且包括配置在非吸光面上且交错排列的多个第三电极与多个第四电极。第一电极接触第三电极，且第二电极接触第四电极。透光基板配置于吸光面上。密封材填充于背板结构与透光基板之间。

7. 发明专利

TW201818498A 晶圓輸送裝置审中-公开
简体标题：晶圆输送设备
公开(公告)号：TW201818498A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：TW105136556
申请日：2016-11-10
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：曹承育 , TSAU, CHENG-YU , 張志平 , CHANG, CHIHPING
IPC分类号： H01L21/677 , B65G47/90
摘要：一種晶圓輸送裝置，適於將一晶圓從一晶圓盒中取出並輸送。晶圓輸送裝置包括一氣浮機構及一帶動機構。氣浮機構包括一供氣模組及一氣浮平台，其中供氣模組提供氣體至氣浮平台，且氣浮平台適於配置在晶圓盒下方。帶動機構配置於氣浮平台旁，其中放置於晶圓盒內的晶圓適於受到氣浮平台所噴出的氣壓而飄浮，且帶動機構適於施力於晶圓的側邊以推動晶圓離開晶圓盒。
简体摘要：一种晶圆输送设备，适于将一晶圆从一晶圆盒中取出并输送。晶圆输送设备包括一气浮机构及一带动机构。气浮机构包括一供气模块及一气浮平台，其中供气模块提供气体至气浮平台，且气浮平台适于配置在晶圆盒下方。带动机构配置于气浮平台旁，其中放置于晶圆盒内的晶圆适于受到气浮平台所喷出的气压而飘浮，且带动机构适于施力于晶圆的侧边以推动晶圆离开晶圆盒。

8. 发明专利

TWI569353B 取放腔室有权
公开(公告)号：TWI569353B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW104122842
申请日：2015-07-15
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：雷仲禮 , LEI, LAWRENCE CHUNG-LAI , 黃正忠 , HUANG, ZHENG-ZHONG
IPC分类号： H01L21/67

9. 发明专利

TWI563672B 太陽能模組有权
简体标题：太阳能模块
公开(公告)号：TWI563672B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：TW103130423
申请日：2014-09-03
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：吳建樹 , WU, CHIEN SHU
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50

10. 发明专利

TW201633551A 太陽能電池以及太陽能電池模組审中-公开
简体标题：太阳能电池以及太阳能电池模块
公开(公告)号：TW201633551A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104107458
申请日：2015-03-09
申请人：精曜有限公司 , ARCHERS INC.
发明人：吳建樹 , WU, CHIEN SHU
IPC分类号： H01L31/042
CPC分类号： Y02E10/50
摘要：一種太陽能電池包括半導體基底、第一非晶半導體層、第二非晶半導體層、複數個接觸孔、複數個第一電極以及複數個第二電極。半導體基底具有第一面以及相對之第二面。第一非晶半導體層設置於半導體基底之第一面上，且第一非晶半導體層具有第一摻雜型式。第二非晶半導體層設置於半導體基底之第二面上，且第二非晶半導體層具有第二摻雜型式。各接觸孔貫穿半導體基底、第一非晶半導體層以及第二非晶半導體層。第一電極設置於第一非晶半導體層上，第二電極設置於第二非晶半導體層上，且各第一電極係透過至少一個接觸孔與一個第二電極電性連接。
简体摘要：一种太阳能电池包括半导体基底、第一非晶半导体层、第二非晶半导体层、复数个接触孔、复数个第一电极以及复数个第二电极。半导体基底具有第一面以及相对之第二面。第一非晶半导体层设置于半导体基底之第一面上，且第一非晶半导体层具有第一掺杂型式。第二非晶半导体层设置于半导体基底之第二面上，且第二非晶半导体层具有第二掺杂型式。各接触孔贯穿半导体基底、第一非晶半导体层以及第二非晶半导体层。第一电极设置于第一非晶半导体层上，第二电极设置于第二非晶半导体层上，且各第一电极系透过至少一个接触孔与一个第二电极电性连接。

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