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    • 7. 发明专利
    • 晶片結構及其製作方法 CHIP STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
    • 芯片结构及其制作方法 CHIP STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
    • TWI308785B
    • 2009-04-11
    • TW094133248
    • 2005-09-23
    • 米輯電子股份有限公司 MEGICA CORPORATION
    • 林茂雄 LIN, MOU-SHIUNG周健康 CHOU, CHIEN-KANG羅心榮 LO, HSIN-JUNG
    • H01L
    • H01L2224/16225H01L2924/15174H01L2924/15311
    • 本發明針對高性能積體電路提供一後護層(post-passivation)之頂層金屬結構。積體電路包括半導體基底、一薄膜金屬結構、一保護層及一頂層金屬結構。半導體元件係形成在半導體基底內,薄膜金屬結構包括細金屬內連線連接到半導體元件上,且有一保護層形成於其上。保護層內之開孔可以暴露出細金屬內連線之連接墊。頂層金屬結構形成於保護層上,且連接到細金屬內連線,此頂層金屬結構包括頂層金屬線路,其厚度及寬度遠大於保護層下之細金屬內連線。藉由頂層金屬結構可以使保護層下之薄膜金屬結構的多個部份連接。保護層上的頂層金屬結構之電阻電容乘積値比如係遠小於保護層下之薄膜金屬結構之電阻電容乘積値。
    • 本发明针对高性能集成电路提供一后护层(post-passivation)之顶层金属结构。集成电路包括半导体基底、一薄膜金属结构、一保护层及一顶层金属结构。半导体组件系形成在半导体基底内,薄膜金属结构包括细金属内连接连接到半导体组件上,且有一保护层形成于其上。保护层内之开孔可以暴露出细金属内连接之连接垫。顶层金属结构形成于保护层上,且连接到细金属内连接,此顶层金属结构包括顶层金属线路,其厚度及宽度远大于保护层下之细金属内连接。借由顶层金属结构可以使保护层下之薄膜金属结构的多个部份连接。保护层上的顶层金属结构之电阻电容乘积値比如系远小于保护层下之薄膜金属结构之电阻电容乘积値。