专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI546396B 成膜裝置及使用其之成膜方法有权
简体标题：成膜设备及使用其之成膜方法
公开(公告)号：TWI546396B
公开(公告)日：2016-08-21
申请号：TW103117892
申请日：2014-05-22
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 石山敦 , ISHIYAMA, ATSUSHI , 藤井博文 , FUJII, HIROFUMI
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/22
CPC分类号： C23C14/541 , C23C14/505

2. 发明专利

TW201702421A 成膜裝置及成膜裝置的分隔壁構造體审中-公开
简体标题：成膜设备及成膜设备的分隔壁构造体
公开(公告)号：TW201702421A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105109715
申请日：2016-03-28
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 大庭尚樹 , OHBA, NAOKI , 井亦輝 , IMATA, AKIRA
IPC分类号： C23C16/455
摘要：本發明提供一種成膜裝置及成膜裝置的分隔壁構造體，本發明的分隔壁構造體在成膜裝置的腔室的內部形成至少1個成膜區。分隔壁構造體具備周向限制部和一對分隔壁。周向限制部與分隔壁相連，使得該周向限制部與分隔壁的相對位置被固定。分隔壁的內側面在分隔壁被安裝於腔室時與成膜輥的外周面隔開間隙地相對向。周向限制部形成面向成膜輥外周面的成膜區。本發明的成膜裝置具備一對分隔壁，前述一對分隔壁被固定於腔室，在成膜輥的寬度方向的兩側配置於在與該成膜輥之間隔開間隙的位置，分隔壁具有朝向成膜輥的徑向外側的外側面和朝向成膜輥的徑向內側的內側面，擋板安裝在分隔壁的外側面上，分隔壁的內側面位於比成膜輥的外周面更靠成膜輥的徑向內側的位置。
简体摘要：本发明提供一种成膜设备及成膜设备的分隔壁构造体，本发明的分隔壁构造体在成膜设备的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连，使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地相对向。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜设备具备一对分隔壁，前述一对分隔壁被固定于腔室，在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置，分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面，挡板安装在分隔壁的外侧面上，分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。

3. 发明专利

TW201501917A 成膜裝置审中-公开
简体标题：成膜设备
公开(公告)号：TW201501917A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103117635
申请日：2014-05-20
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 大庭尙樹 , OHBA, NAOKI , 黒川好德 , KUROKAWA, YOSHINORI
IPC分类号： B29D7/01 , C23C14/56
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332 , H01L21/67132
摘要：提供一種將成膜單元以及其上游側及下游側單元未以上下相重疊而可確保作業空間的成膜裝置。成膜裝置係具備有：成膜單元(16)、及被配置在其左右的上游側及下游側單元(14、18)。成膜單元(16)係具有：成膜滾筒(70)；複數導引滾筒(72)；具有成膜滾筒收容部(74)及其上側的導引滾筒收容部(76)的主腔室(64)；在成膜滾筒收容部(74)的左右收容複數成膜製程用機器(84、86)的第1及第2製程腔室(66、68)；及製程腔室支持部(104)，其係以製程腔室(66、68)可在成膜用的正規位置與朝左右退避的退避位置之間移動，而且可在其退避位置與朝前後方向遠離的露出位置之間移動的方式支持該製程腔室(66、68)者。
简体摘要：提供一种将成膜单元以及其上游侧及下游侧单元未以上下相重叠而可确保作业空间的成膜设备。成膜设备系具备有：成膜单元(16)、及被配置在其左右的上游侧及下游侧单元(14、18)。成膜单元(16)系具有：成膜滚筒(70)；复数导引滚筒(72)；具有成膜滚筒收容部(74)及其上侧的导引滚筒收容部(76)的主腔室(64)；在成膜滚筒收容部(74)的左右收容复数成膜制程用机器(84、86)的第1及第2制程腔室(66、68)；及制程腔室支持部(104)，其系以制程腔室(66、68)可在成膜用的正规位置与朝左右退避的退避位置之间移动，而且可在其退避位置与朝前后方向远离的露出位置之间移动的方式支持该制程腔室(66、68)者。

4. 发明专利

TWI543859B 成膜裝置有权
简体标题：成膜设备
公开(公告)号：TWI543859B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW103117635
申请日：2014-05-20
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 大庭尙樹 , OHBA, NAOKI , 黒川好德 , KUROKAWA, YOSHINORI
IPC分类号： B29D7/01 , C23C14/56
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332 , H01L21/67132

5. 发明专利

TW201506192A 除氣處理裝置审中-公开
简体标题：除气处理设备
公开(公告)号：TW201506192A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103117634
申请日：2014-05-20
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 大庭尚樹 , OHBA, NAOKI
IPC分类号： C23C16/455 , C23C14/56
CPC分类号： F26B25/001 , C23C14/021 , C23C14/562 , C23C16/0209 , C23C16/545
摘要：提供可效率佳地進行維護的除氣處理裝置。除氣處理裝置係具備有：一邊將被成膜材(10)朝上下方向搬送，一面以行進方向行進的上側及下側滾輪(18A、18B)；以與蛇行的被成膜材(10)相鄰接的方式予以配設的板式加熱器(12)；及具有外壁的腔室(14)。外壁係包含：分別具有上側滾輪支持部(20a、22a)及下側滾輪支持部(20b、22b)的前側壁(20)及後側壁(22)。在前側壁(20)及後側壁(22)的至少一者，在其上側滾輪支持部與下側滾輪支持部之間的區域形成滾輪間開口(40、42)，該滾輪間開口(40、42)係具有將蛇行的被成膜材(10)及板式加熱器(12)朝前述行進方向橫越的形狀。
简体摘要：提供可效率佳地进行维护的除气处理设备。除气处理设备系具备有：一边将被成膜材(10)朝上下方向搬送，一面以行进方向行进的上侧及下侧滚轮(18A、18B)；以与蛇行的被成膜材(10)相邻接的方式予以配设的板式加热器(12)；及具有外壁的腔室(14)。外壁系包含：分别具有上侧滚轮支持部(20a、22a)及下侧滚轮支持部(20b、22b)的前侧壁(20)及后侧壁(22)。在前侧壁(20)及后侧壁(22)的至少一者，在其上侧滚轮支持部与下侧滚轮支持部之间的区域形成滚轮间开口(40、42)，该滚轮间开口(40、42)系具有将蛇行的被成膜材(10)及板式加热器(12)朝前述行进方向横越的形状。

6. 发明专利

TWI613314B 成膜裝置及成膜裝置的分隔壁構造體有权
简体标题：成膜设备及成膜设备的分隔壁构造体
公开(公告)号：TWI613314B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW105109715
申请日：2016-03-28
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 大庭尚樹 , OHBA, NAOKI , 井亦輝 , IMATA, AKIRA
IPC分类号： C23C16/455

7. 发明专利

TWI577827B 除氣處理裝置有权
简体标题：除气处理设备
公开(公告)号：TWI577827B
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：TW103117634
申请日：2014-05-20
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 大庭尚樹 , OHBA, NAOKI
IPC分类号： C23C16/455 , C23C14/56
CPC分类号： F26B25/001 , C23C14/021 , C23C14/562 , C23C16/0209 , C23C16/545

8. 发明专利

TW201446983A 成膜裝置及使用其之成膜方法审中-公开
简体标题：成膜设备及使用其之成膜方法
公开(公告)号：TW201446983A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103117892
申请日：2014-05-22
申请人：神戶製鋼所股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
发明人：瀬川利規 , SEGAWA, TOSHIKI , 石山敦 , ISHIYAMA, ATSUSHI , 藤井博文 , FUJII, HIROFUMI
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/22
CPC分类号： C23C14/541 , C23C14/505
摘要：提供一種大幅減低冷媒的洩漏風險，且可提升冷卻效率之成膜裝置及成膜方法。成膜裝置(1)，具備：冷卻部(4)，在腔室(2)的空間(2e)內將工件(W)冷卻；以及旋轉平台本體(11)，係在載置有工件(W)的狀態下繞著垂直軸旋轉之旋轉平台本體(11)，具有供冷卻部(4)載置之冷卻部載置部(21)、及配置成圍繞該冷卻部載置部(21)的周圍而供工件(W)載置之工件載置部(22)；以及升降機構(5)，係使冷卻部(4)於空間(2e)內，在載置於旋轉平台本體(11)的第1位置，和在從上方遠離該旋轉平台本體(11)且與載置於工件載置部(22)之工件(W)的側面相向的第2位置之間升降；以及冷媒配管(6)，安裝於腔室(2)，可裝卸地連接至冷卻部(4)而對該冷卻部(4)供給冷媒。
简体摘要：提供一种大幅减低冷媒的泄漏风险，且可提升冷却效率之成膜设备及成膜方法。成膜设备(1)，具备：冷却部(4)，在腔室(2)的空间(2e)内将工件(W)冷却；以及旋转平台本体(11)，系在载置有工件(W)的状态下绕着垂直轴旋转之旋转平台本体(11)，具有供冷却部(4)载置之冷却部载置部(21)、及配置成围绕该冷却部载置部(21)的周围而供工件(W)载置之工件载置部(22)；以及直升电梯构(5)，系使冷却部(4)于空间(2e)内，在载置于旋转平台本体(11)的第1位置，和在从上方远离该旋转平台本体(11)且与载置于工件载置部(22)之工件(W)的侧面相向的第2位置之间升降；以及冷媒配管(6)，安装于腔室(2)，可装卸地连接至冷却部(4)而对该冷却部(4)供给冷媒。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式