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    • 7. 发明申请
    • 反射防止構造を有する光学素子用成形型、その製造方法および光学素子
    • 具有抗反射结构的光学装置的模具,其制造方法和光学装置
    • WO2008059671A1
    • 2008-05-22
    • PCT/JP2007/069279
    • 2007-10-02
    • 独立行政法人産業技術総合研究所栗原 一真島 隆之富永 淳二
    • 栗原 一真島 隆之富永 淳二
    • B29C33/38G02B1/11B29L11/00
    • G02B1/118B29C33/38
    •  基板表面にナノオーダーの微細な凹凸面の反射防止構造を有する光学素子用成形型を簡単な工程で作製する製造方法を実現する。  基板2上に1層以上のエッチング転写層3を形成し、このエッチング転写層3上に半球状の微粒子生成用の薄膜4を形成し、熱反応、光反応、ガス反応のいずれか、またはそれらの複合反応を用いて、薄膜4に、その物質の凝集作用、分解作用、または核形成作用を生じさせて、半球状の島状微粒子5を複数、形成し、複数の島状微粒子5を保護マスクとしてエッチング転写層3及び前記基板2を反応ガスによって順次エッチングして、基板2の微細な表面に錐形状のパターンを形成して、基板2表面に微細な凹凸面(反射防止構造型面)1’を有する光学素子用成形型1を製造する。
    • 一种用于通过简单操作生产用于在基底表面上具有纳米级微观不平坦面的抗反射结构的光学装置的模具的方法。 通过包括在基底(2)的表面上形成一个或多个蚀刻转移层(3)的方法,在基底(2)的表面上形成具有微观不均匀平面(抗反射结构裸片平面)(1')的光学器件用成型模具(1) 2); 在蚀刻转移层(3)上形成用于形成半球形微粒的薄膜(4); 通过使用热反应,光反应和气体反应中的任何一种或这些反应的组合使薄膜(4)发生聚集或分解或成核,从而形成多个半球状的岛状微粒(5); 并使用多岛状微粒(5)作为保护掩模,通过反应性气体对蚀刻转移层(3)和基底(2)进行顺序蚀刻,从而在基底(2)的微观表面上形成圆锥形图案, 。