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    • 1. 发明专利
    • 非揮發性記憶體裝置的交接點佈局
    • 非挥发性内存设备的交接点布局
    • TW201832238A
    • 2018-09-01
    • TW106131577
    • 2017-09-14
    • 新加坡商格羅方德半導體私人有限公司GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE. LTD.
    • 蔡新樹CAI, XINSHU林 啟榮LIM, KHEE YONG郭 克文QUEK, KIOK BOONE ELGIN
    • G11C11/412H01L27/11
    • 本文揭露一種裝置及形成該裝置的方法。該方法包括提供製備有一記憶體單元區域的一基板以及形成記憶體單元對於該單元區域中。該記憶體單元對包括第一分離閘極記憶體單元以及第二分離閘極記憶體單元。各記憶體單元包括作為一存取閘極的一第一閘極,相鄰於該第一閘極的一第二閘極,該第二閘極作為一儲存閘極,一第一源/汲(S/D)區域鄰接該第一閘極以及一第二S/D區域鄰接該第二閘極。該方法還包括形成矽化物接觸件於拾取點區域中的閘極導電體以及第一S/D區域以及暴露的掩埋共同的源線(SL)上的基板上,以增加至一延伸位移距離DE的字元線以及源線(WLSL)區域中的位移距離,而避免該第一偏移存取閘極導電體以及記憶體單元對的行(row)的相鄰存取閘極導電體之間的短路。
    • 本文揭露一种设备及形成该设备的方法。该方法包括提供制备有一内存单元区域的一基板以及形成内存单元对于该单元区域中。该内存单元对包括第一分离闸极内存单元以及第二分离闸极内存单元。各内存单元包括作为一存取闸极的一第一闸极,相邻于该第一闸极的一第二闸极,该第二闸极作为一存储闸极,一第一源/汲(S/D)区域邻接该第一闸极以及一第二S/D区域邻接该第二闸极。该方法还包括形成硅化物接触件于十取点区域中的闸极导电体以及第一S/D区域以及暴露的掩埋共同的源线(SL)上的基板上,以增加至一延伸位移距离DE的字符线以及源线(WLSL)区域中的位移距离,而避免该第一偏移存取闸极导电体以及内存单元对的行(row)的相邻存取闸极导电体之间的短路。