专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2020106303A 基板分析方法および基板分析装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020106303A
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：JP2018242929
申请日：2018-12-26
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , イーソンジェ , 林匠馬
IPC分类号： H01L21/66 , G01N1/28
摘要：【課題】基板端部を、より簡易で迅速に分析することができる分析技術を提供する。【解決手段】先端から分析液Dを吐出し、吐出した分析液Dで基板Wの表面を掃引した後に分析液Dを吸引する基板分析用のノズル(配管110、第一外管120、第二外管130とからなる三重管で構成)を用いた基板分析方法において、ノズルの先端と対向する位置に、吐出される分析液Dを受け止めるための液受止め板を配置し、配管110の先端から吐出した分析液Dをノズルの先端と液受止め板との間に保持し、ノズルの先端と液受止め板との間に、基板Wの端部を挿入できるように基板Wを位置調整し、基板Wの端部を、ノズルの先端と液受止め板との間に保持された分析液Dに接触させ、基板Wの端部が分析液Dに接触した状態で、ノズルと液受止め板とを基板の周縁に沿って同時に移動させることにより、基板端部を分析する。【選択図】図4

2. 发明专利

JP6328003B2 レーザーアブレーションICP分析方法及び分析装置有权
公开(公告)号：JP6328003B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2014164656
申请日：2014-08-13
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 国香仁
IPC分类号： G01N27/62 , G01N1/28

3. 发明专利

JP2017040614A オンライン移送した分析試料の分析システム有权
标题翻译：分析样品网上转账的分析系统
公开(公告)号：JP2017040614A
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015163751
申请日：2015-08-21
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 池内満政
IPC分类号： G01N21/73
CPC分类号： G01N21/68 , G01N21/714 , G01N21/73 , G01N21/85 , G01N27/62 , H01J49/105 , G01N2001/002 , G01N2001/1006 , G01N2021/8411
摘要：【課題】本発明は、分析試料をオンライン移送可能としつつ、迅速に分析結果を得ることのできる分析システムに関する。また、2以上の現場から供給される分析試料について、1台の分析装置で分析可能としつつ、ネブライザーやスプレーチャンバー等の洗浄工程を要しない分析システムを提供する。【解決手段】本発明は、2以上の試料別移送手段を備えるとともに、試料別移送手段の各試料移送経路が、誘導結合プラズマ若しくはマイクロ波プラズマを利用した分析装置からなる共通分析手段のプラズマトーチと接続しており、各試料移送経路には、メイン流路とメイクアップガス供給路とドレイン流路とを有し、プラズマトーチは、略中央に霧化した分析試料を導入する試料導入管を有し、ドレイン流路の内径は、プラズマトーチの試料導入管の入り口部分の内径と同等以上である分析システムに関する。【選択図】図2
摘要翻译：本发明公开了分析样品而网上转移，能够获得快速分析的分析系统。此外，从两个或多个位点提供的分析样品，而在一个分析装置使分析，以提供不需要分析系统中的洗涤步骤，例如雾化器和雾化室。本发明设置有两个或更多个样品由转印手段，共同分析的等离子炬装置，通过转移的样本的每个样本传输路径是指，由使用感应耦合等离子体或微波等离子体光谱仪的被连接到所述中，在每个样品转移路径，并且主流动路径和补充气体供给通道和所述排水通道，一个等离子体焰炬，一个样品导入管用于引入分析样品在大致中央雾化它具有排水通道的内径，所述内和分析系统的入口部分等同于或大于所述等离子体焰炬的样品导入管。 .The

4. 发明专利

JP5881166B2 基板分析用ノズル有权
标题翻译：用于分析的喷嘴基板
公开(公告)号：JP5881166B2
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：JP2012134629
申请日：2012-06-14
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , イーソンジェ , 国香仁 , 鈴木淳司
IPC分类号： G01N1/00

5. 发明专利

JP6108367B1 シリコン基板用分析装置有权
公开(公告)号：JP6108367B1
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：JP2015249588
申请日：2015-12-22
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 林匠馬
IPC分类号： G01N1/28 , G01N1/32 , G01N27/62
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/32 , G01N27/62
摘要：【課題】本発明は、膜厚の厚い窒化膜や酸化膜が成膜されたシリコン基板における微量金属等の不純物を、ICP−MSにより高精度に分析可能なシリコン基板用分析装置を提供する。【解決手段】本発明は、ロードポート、基板搬送ロボット、アライナー、乾燥室、気相分解チャンバー、分析ステージ及び基板分析用ノズルを有する分析スキャンポート、分析液採取手段、誘導結合プラズマ分析する分析手段を備えるシリコン基板用分析装置であって、酸化膜や窒化膜が成膜されたシリコン基板を、基板分析用ノズルにより高濃度回収液でシリコン基板表面を掃引して回収し、回収した高濃度回収液をシリコン基板表面に吐出後、加熱乾燥して、分析液によりシリコン基板表面を掃引して回収し、分析液をICP−MSで分析することを特徴とする。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2016223803A 誘導結合プラズマ又はマイクロ波プラズマ分析用の希釈システム审中-公开
标题翻译：用于微波等离子体分析电感耦合等离子体或稀释剂系统
公开(公告)号：JP2016223803A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：JP2015107530
申请日：2015-05-27
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 池内満政
IPC分类号： G01N27/62 , G01N21/73 , G01N1/10
CPC分类号： G01N1/10 , G01N21/73 , G01N27/62
摘要：【課題】本発明は、分析試料をオンライン供給する誘導結合プラズマ又はマイクロ波プラズマ分析用の希釈システムにおいて、複数の供給源からの分析試料を1台の分析装置で分析する場合にも好適なシステムを提供する。【解決手段】本発明は、一定長さの試料定量区域(Q)及び定量用ドレイン流路(D dq )を備えた定量手段、混合手段、及び分析手段を有する希釈システムに関する。本発明の希釈システムは、微量の分析試料も正確に希釈することができる。また、複数の現場からサンプリングした分析試料を、試料同士の汚染を生じることなく、1台の分析装置で分析することも可能になる。【選択図】図1
摘要翻译：公开的是用于在用于提供感应耦合等离子体或微波等离子体分析，在一个分析仪器分析来自多个源的被分析物时适当的系统采样线的分析稀释系统提供。本发明涉及一种具有一个稀释系统的给药装置，混合装置，和分析具有预定长度（Q）和所述量确定所述排水通道（DDQ）的样品量化部分的装置。本发明的稀释系统可以分析的准确稀释微量的样品。此外，从多个部位进行采样，而不之间使样品污染的分析样品，它也能够在一个分析装置来分析。点域1

7. 发明专利

JP2016125911A 元素分析方法有权
公开(公告)号：JP2016125911A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2015000283
申请日：2015-01-05
申请人：信越化学工業株式会社 , 株式会社イアス
发明人：荻原勤 , 岩淵元亮 , 種田義則 , 森澤拓 , 星征朗 , 川端克彦 , 小林理朗 , 狩野光正
IPC分类号： G01N31/12 , G01N27/62 , G01N1/28 , G01N31/00
摘要：【課題】ケイ素マトリックスの析出による元素分析装置の閉塞を防止しながら、ケイ素含有化合物を含む試料中の不純物元素を従来の1,000倍の精度で分析することができる元素分析方法を提供する。【解決手段】ケイ素含有化合物を含む試料中の不純物元素を分析する方法であって、少なくとも加熱機構、送液機構、及び搬送機構が具備された自動気相分解装置を用いて、前記試料中に含まれるケイ素含有化合物を分解し、該分解後の試料中のケイ素分を除去して元素分析用試料を調製し、該調製した元素分析用試料を自動で元素分析装置に注入して、前記元素分析用試料中の不純物元素を分析する元素分析方法。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种元素分析方法，其能够分析与含硅化合物的样品中的杂质元素相比，与常规方法相比精度为1,000倍，同时防止元素分析仪被硅基质的沉积阻挡。解决方案：用于分析包含含硅化合物的样品中的杂质元素的方法包括：使用至少包括加热机构，送液机构和输送机构的自动气相分解装置分解样品中包含的含硅化合物; 在分解后除去样品中的硅部分，以制备用于元素分析的样品; 自动将准备的元素分析样品注入元素分析仪; 并分析样品中的杂质元素进行元素分析。选择图：图1

8. 发明专利

JP5971289B2 基板局所の自動分析装置及び分析方法有权
标题翻译：自动分析装置和分析方法，用于在衬底的局部
公开(公告)号：JP5971289B2
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：JP2014167171
申请日：2014-08-20
申请人：株式会社イアス , 信越半導体株式会社
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 今井利彦
IPC分类号： G01N1/28 , G01N1/32 , G01N27/62 , G01N35/10 , G01N1/00
CPC分类号： G01N1/00 , G01N1/28 , G01N27/62 , G01N35/10

9. 发明专利

JP2016044988A 基板局所の自動分析装置及び分析方法有权
标题翻译：自动分析仪和基板分析方法
公开(公告)号：JP2016044988A
公开(公告)日：2016-04-04
申请号：JP2014167171
申请日：2014-08-20
申请人：株式会社イアス , 信越半導体株式会社
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 今井利彦
IPC分类号： G01N1/28 , G01N27/62 , G01N35/10 , G01N1/00
CPC分类号： G01N1/00 , G01N1/28 , G01N27/62 , G01N35/10
摘要：【課題】ICP−MSによる基板の局所分析を自動化した分析装置を提供する。【解決手段】基板W上に分析液Dを吐出する分析液供給手段と、分析対象物を含む分析液を基板上よりノズル内に回収し、ネブライザー300へ送液する分析液排出手段と、ノズル内を排気経路とする排気手段と、を有する局所分析用ノズル100を備え、回収した分析液をICP−MSへ自動的に送液する自動送液手段を有し、分析液流量を調整する流量調整手段を有し、局所分析とICP−MSによる分析対象物の分析とを同時進行で行い、隣接した複数の所定領域を連続して自動分析する自動制御手段を有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种通过ICP-MS对基板进行局部分析自动化的分析器。解决方案：分析仪包括用于局部分析的喷嘴100，包括：分析液体供应装置，用于将分析液体D输送到基板W上 ; 分析液体排出装置，用于将含有分析物体的分析液体从基材收集到喷嘴中并将其供给到喷雾器300; 以及用于将喷嘴内部设置为排气路径的排气装置。分析仪包括：自动送液装置，用于将收集的分析液自动送入ICP-MS; 用于调节分析液体流量的流量调节装置; 以及自动控制装置，用于通过ICP-MS同时执行分析对象的局部分析和分析，并且连续且自动地分析多个相邻的预定区域。图示：图1

10. 发明专利

JP2016040537A レーザーアブレーションICP分析方法及び分析装置有权
标题翻译：激光雷达ICP分析方法和分析仪
公开(公告)号：JP2016040537A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：JP2014164656
申请日：2014-08-13
申请人：株式会社イアス
发明人：川端克彦 , 一之瀬達也 , 国香仁
IPC分类号： G01N27/62 , G01N1/28
摘要：【課題】本発明は、分析試料の拡散や分析感度の低下を抑制しつつ、表面積の大きな分析試料も簡便に分析可能となるレーザーアブレーションICP分析方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明は、レーザーアブレーションICP分析方法において、エジェクタ、ネブライザー又は真空ポンプの吸引により、微粒子化した分析試料をキャリアガスとともにチャンバー内から排出して誘導結合プラズマ質量分析するレーザーアブレーションICP分析方法に関する。本発明によれば、ICP信号強度のシャープなピークが示され高感度な分析が可能になる。また、表面積の大きな分析試料も簡便に分析できる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够容易地分析具有大的表面积的分析样品的激光烧蚀ICP分析方法，同时抑制分析样品的扩散和分析灵敏度的降低。解决方案：本发明涉及激光烧蚀ICP 分析方法，其中通过喷射器，雾化器或真空泵将雾化分析样品与载气一起从室排出，并进行电感耦合等离子体质量分析。根据本发明，指示ICP信号强度的尖峰，并允许高灵敏度分析。此外，可以容易地分析具有大表面积的分析样品。选择图：图1

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式