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    • 4. 发明申请
    • モールド、その製造方法および転写微細パターンを有する基材の製造方法
    • 模具,其生产方法以及生产具有转移精细图案的基材的方法
    • WO2009125697A1
    • 2009-10-15
    • PCT/JP2009/056732
    • 2009-03-31
    • 旭硝子株式会社角崎 健太郎川口 泰秀佐野 幹彦
    • 角崎 健太郎川口 泰秀佐野 幹彦
    • B29C33/40B29C59/02G11B5/84G11B5/855G11B7/26H01L21/027
    • G11B5/855B29C33/40B29C33/42B29C35/0888
    •  光透過性および離型性が高く、かつ最大高さが比較的大きな微細パターンを有するモールド、その製造方法および該モールドを用いた転写微細パターンを有する基材の製造方法を提供する。  ガラス転移温度が含フッ素重合体(I)および含フッ素重合体(II)のガラス転移温度以下である透明樹脂からなり、中間層(C)が形成された表面に官能基(x)に基づく化学結合を有する透明樹脂層(A)12と、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、官能基(x)と反応性の反応性基(y)を有する含フッ素重合体(II)からなる中間層(C)14と、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、反応性基(y)を有しない含フッ素重合体(I)からなる表面層(B)16とを有し、微細パターンの最大高さが、表面層(B)の厚さと中間層(C)の厚さの合計を超えるモールド10。
    • 提供了具有高透光性和高脱模性的模具,并且具有相对较大的最大高度的精细图案。 还提供了:生产模具的方法; 以及使用该模具制造具有转印精细图案的基板的方法。 模具(10)包括由透明树脂构成的透明树脂层(A)(12),其中间层(C)侧的表面具有基于官能团(x)的化学键,中间层(C) (14)包含具有氟化脂环结构的主链和具有与官能团(x)反应的反应性基团(y)的含氟聚合物(II)和包含含氟聚合物(I)的表面层(B)(16) ),其具有氟化脂环结构的骨架,并且不具有反应性基团(y),所述透明树脂的玻璃化转变温度不高于含氟聚合物(I)和含氟聚合物(II)的玻璃化转变温度。 精细图案具有超过表面层(B)的厚度和中间层(C)的厚度之和的最大高度。
    • 5. 发明申请
    • モールド、その製造方法および転写微細パターンを有する基材の製造方法
    • 模具,用于生产模具的方法,以及用于生产具有复制的精细图案的衬底的方法
    • WO2008146542A1
    • 2008-12-04
    • PCT/JP2008/056984
    • 2008-04-09
    • 旭硝子株式会社角崎 健太郎川口 泰秀坂根 好彦庄子 習一水野 潤片座 慎吾
    • 角崎 健太郎川口 泰秀坂根 好彦庄子 習一水野 潤片座 慎吾
    • B29C33/38B29C59/02
    • B29C59/02B29C33/40B29C33/424B29C33/56B29C35/0888B29C59/005B29L2011/00
    •  光透過性、離型性、機械的強度、寸法安定性、高精度な微細パターンを有し、微細パターンの変形が少ないモールド;モールドの微細パターンを寸法精度よく転写でき、転写微細パターンの変形が少ない転写微細パターンを有する基材の製造方法を提供する。  中間層(C)14が形成された表面に官能基(x)に基づく化学結合を有し、含フッ素重合体(I)の線膨張係数との線膨張係数の差(絶対値)が30ppm/°C未満であり、熱変形温度が100~300°Cである透明基体(A)12、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、官能基(x)と反応性の反応性基(y)を有する含フッ素重合体(II)からなる中間層(C)14、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、反応性基(y)を実質的に有しない含フッ素重合体(I)からなり、表面に微細パターン18を有する表面層(B)16を有するモールド10。
    • 公开了具有透光性,脱模性,机械强度,尺寸稳定性和高精度精细图案的模具,并且导致精细图案的变形较小。 还公开了一种能够以良好的尺寸精度复制模具上的精细图案并具有复制精细图案的复制精细图案的方法。 具体公开了包括透明基板(A)(12),中间层(C)(14)和表面层(B)(16)的模具(10)。 在透明基板(A)(12)的表面上形成中间层(C)(14)之后,透明基板(A)(12)具有从表面上的官能团(x)衍生的化学键 的中间层(C)(14)。 透明基板(A)(12)和含氟聚合物(I)之间的线膨胀系数的差(绝对值)小于30ppm /℃。 透明基板(A)(12)的热变形温度为100〜300℃。 中间层(C)(14)包含具有氟化脂肪族环状结构作为主链并且还具有与官能团(x)反应的反应性基团(y)的氟化聚合物(II)。 表面层(B)(16)包含具有氟化脂肪族环状结构作为主链且基本上不具有反应性基团(y)的含氟聚合物(I),并且在其表面上形成微细图案(18)。