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1. 发明申请

WO2008146542A1 モールド、その製造方法および転写微細パターンを有する基材の製造方法审中-公开
标题翻译：模具，用于生产模具的方法，以及用于生产具有复制的精细图案的衬底的方法
公开(公告)号：WO2008146542A1
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：PCT/JP2008/056984
申请日：2008-04-09
申请人：旭硝子株式会社 , 角崎健太郎 , 川口泰秀 , 坂根好彦 , 庄子習一 , 水野潤 , 片座慎吾
发明人：角崎健太郎 , 川口泰秀 , 坂根好彦 , 庄子習一 , 水野潤 , 片座慎吾
IPC分类号： B29C33/38 , B29C59/02
CPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C35/0888 , B29C59/005 , B29L2011/00
摘要：　光透過性、離型性、機械的強度、寸法安定性、高精度な微細パターンを有し、微細パターンの変形が少ないモールド；モールドの微細パターンを寸法精度よく転写でき、転写微細パターンの変形が少ない転写微細パターンを有する基材の製造方法を提供する。　中間層（Ｃ）１４が形成された表面に官能基（ｘ）に基づく化学結合を有し、含フッ素重合体（Ｉ）の線膨張係数との線膨張係数の差（絶対値）が３０ｐｐｍ／°C未満であり、熱変形温度が１００～３００°Cである透明基体（Ａ）１２、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、官能基（ｘ）と反応性の反応性基（ｙ）を有する含フッ素重合体（II）からなる中間層（Ｃ）１４、主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有し、反応性基（ｙ）を実質的に有しない含フッ素重合体（Ｉ）からなり、表面に微細パターン１８を有する表面層（Ｂ）１６を有するモールド１０。
摘要翻译：公开了具有透光性，脱模性，机械强度，尺寸稳定性和高精度精细图案的模具，并且导致精细图案的变形较小。还公开了一种能够以良好的尺寸精度复制模具上的精细图案并具有复制精细图案的复制精细图案的方法。具体公开了包括透明基板（A）（12），中间层（C）（14）和表面层（B）（16）的模具（10）。在透明基板（A）（12）的表面上形成中间层（C）（14）之后，透明基板（A）（12）具有从表面上的官能团（x）衍生的化学键的中间层（C）（14）。透明基板（A）（12）和含氟聚合物（I）之间的线膨胀系数的差（绝对值）小于30ppm /℃。透明基板（A）（12）的热变形温度为100〜300℃。中间层（C）（14）包含具有氟化脂肪族环状结构作为主链并且还具有与官能团（x）反应的反应性基团（y）的氟化聚合物（II）。表面层（B）（16）包含具有氟化脂肪族环状结构作为主链且基本上不具有反应性基团（y）的含氟聚合物（I），并且在其表面上形成微细图案（18）。

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