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1. 发明专利

JP2015132623A 荷電粒子ビーム検査方法及び装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束检测方法和装置
公开(公告)号：JP2015132623A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2015050598
申请日：2015-03-13
申请人：株式会社荏原製作所 , 株式会社東芝
发明人：畠山雅規 , 太田拓見
IPC分类号： G01N23/225
摘要：【課題】除電作業を簡素化して除電に要する時間を低減し、一つの検査装置で複数種類の検査を行うことができるスループットを向上した荷電粒子ビーム検査技術を提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム検査装置71は、試料Sを搭載するステージ29と、荷電粒子ビームを試料Sに照射する電子銃41と、試料Sから得られる信号を検出する検出器47と、検出器47からの信号から像を形成する画像処理部61と、試料Sへ照射する荷電粒子ビームのビームエネルギーを制御するエネルギー制御部65と、検査中の試料Sを真空状態に保持するメインチャンバ11と、メインチャンバ11へ試料Sを搬送する搬送ロボット27と、搬送ロボット27を真空状態に保持する搬送チャンバ9と、搬送チャンバ9内に設けられた除電装置73とを備える。【選択図】図7
摘要翻译：要解决的问题：提供一种带电粒子束检查技术，其被配置为简化静电消除操作，以减少静电消除所需的时间，并且允许使用一个检查装置进行多种检查，同时提高吞吐量。解决方案：带电粒子光束检查装置71包括：载置试样S的载物台29; 电子枪41，其向带电粒子束照射样品S; 检测器47，其检测从样本S获得的信号; 图像处理部61，其根据来自检测器47的信号形成图像; 控制照射在样品S上的带电粒子束的能量的能量控制部65; 在真空状态下将样品S保持在检查状态的主室11; 将样品S输送到主室11的输送机器人27; 将输送机器人27保持在真空状态的输送室9; 以及布置在输送室9中的静电消除装置73。

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