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    • 3. 发明专利
    • 減圧弁
    • JP2020193608A
    • 2020-12-03
    • JP2019101119
    • 2019-05-30
    • 株式会社不二工機
    • 渡辺 貴之茂木 隆柳澤 秀海沼 広司
    • F16K7/17F02M21/02
    • 【課題】大気圧の影響を受けることなく、精度よく動作する小型の減圧弁を提供する。 【解決手段】減圧弁は、高圧室と中間室との間の第1流路を遮断する第1遮断位置と、第1流路を開放する第1開放位置との間で変位可能な弁部32cを有する作動棒32と、作動棒32を駆動するパワーエレメント31と、中間室と減圧室との間の第2流路を遮断する第2遮断位置と、第2流路を開放する第2開放位置との間で変位可能な電磁弁体46と、電磁弁体46を前記第2遮断位置と前記第2開放位置との間で駆動する電磁コイル42と、を有し、パワーエレメント31は、不活性ガスを封入した圧力室POと、中間室に連通した受圧室PDと、圧力室POと受圧室PDとを仕切るダイアフラム313とを備え、ダイアフラム313は、圧力室POと受圧室PDとの圧力差に応じて変形し、作動棒32を変位させる。 【選択図】図2