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1. 发明专利

JP5837733B2 水分発生用反応炉有权
公开(公告)号：JP5837733B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2009107139
申请日：2009-04-24
申请人：国立大学法人東北大学 , 株式会社フジキン
发明人：大見忠弘 , 川田幸司 , 池田信一 , 森本明弘 , 皆見幸男 , 平尾圭志 , 坂本信治 , 北野真史
IPC分类号： B01J23/42 , C01B5/00
CPC分类号： B01J23/63 , B01J12/007 , B01J37/0244 , C01B5/00 , B01J23/42 , B01J35/023 , B01J37/0225

2. 发明专利

JPWO2020066732A1 濃度測定装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020066732A1
公开(公告)日：2021-08-30
申请号：JP2019036301
申请日：2019-09-17
申请人：株式会社フジキン
发明人：永瀬正明 , 田中一輝 , 平尾圭志 , 薬師神忠幸 , 西野功二 , 山路道雄 , 池田信一
IPC分类号： G01N21/59 , G01N21/39 , G01N21/05
摘要：濃度測定装置100は、流路を有する測定セル4と、光源1と、測定セルから出射した光を検出する光検出器7と、光検出器の出力に基づいて被測定流体の吸光度および濃度を演算する演算部8とを有し、測定セルは、セル本体と、流路に接するようにセル本体に固定される窓部3と、窓部を介して測定セルに入射した光を反射する反射部材5とを有し、窓部は、セル本体40に、ガスケット15を介して窓押さえ部材30によって固定されており、窓部を支持するガスケットの第1の面には環状のシール用突起部15aが設けられ、ガスケットの第1の面と反対側の第2の面を支持するセル本体の支持面42にも環状のシール用突起部42aが設けられている。

3. 发明专利

JP2016095212A 液面計及び液体原料気化供給装置有权
标题翻译：液位计和液体物质蒸发器
公开(公告)号：JP2016095212A
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：JP2014231119
申请日：2014-11-13
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 平田薫 , 山下哲 , 平尾圭志 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G01F23/00 , H01L21/31 , B01J4/00 , C23C16/455 , G01F23/22
CPC分类号： B01J4/00 , C23C16/455 , G01F23/22 , H01L21/31
摘要：【課題】液相から気相への切り替わりの検知時間に流量依存性を減らすとともに、検知時間を短縮し得る、液面計及び液体原料気化供給装置を提供する。【解決手段】液体原料を貯留するチャンバ2と、チャンバ2内の液面L1を検知するための測温抵抗体を収容した少なくとも一本の保護管3と、チャンバ2から流出したガスの流量を制御して供給する流量制御装置4と、を備え、保護管3が、チャンバ2の側壁2aに水平方向に挿入されて固定されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种液位计和液体材料蒸发给料器，其能够降低检测从液相到气相的开关的时间的流量依赖性和检测时间。解决方案：本发明包括：存储液体材料的室2，存储用于检测室2中的液面L1的温度测量电阻器的至少一个保护管3; 以及流量控制器4，其控制从室2排出并供给气体的气体的流量，保护管3沿水平方向插入腔室2的侧壁2a中，以固定。选择的图：图1

4. 发明专利

JP2021085813A 流量測定器审中-公开
公开(公告)号：JP2021085813A
公开(公告)日：2021-06-03
申请号：JP2019216300
申请日：2019-11-29
申请人：株式会社フジキン
发明人：河嶋将慈 , 山下哲 , 永瀬正明 , 平尾圭志 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G01F1/00 , G01F1/34
摘要：【課題】恒温槽内に配置できる小型のビルドアップ用チャンバを備え、ビルドアップ時の断熱圧縮による温度上昇を短時間で安定させることができる流量測定器を提供すること。【解決手段】流量制御装置20が制御した流体の流量を測定する流量測定器2であって、流量制御装置20の下流側に設けられた第1バルブV1と、第1バルブV1の下流側に設けられた圧カセンサP、温度センサT及び両センサの下流側に設けられた第2バルブV2と、第1バルブV1及び第2バルブV2の開閉動作を制御する制御部3とを備え、第1バルブV1と第2バルブV2との間を螺旋状に旋回した配管(旋回配管タンク10)で接続するようにしている。【選択図】図3

5. 发明专利

JP6212467B2 液面計及び液体原料気化供給装置有权
公开(公告)号：JP6212467B2
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：JP2014231119
申请日：2014-11-13
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 平田薫 , 山下哲 , 平尾圭志 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/31 , B01J4/00 , C23C16/455 , G01F23/22
CPC分类号： C23C16/45561 , B01J4/00 , C23C16/448 , G01F23/247 , G01F23/26 , H01L21/31 , H01L21/67248 , C23C16/4481 , G01F23/22

6. 发明专利

JP2016211021A 気化供給装置审中-公开
标题翻译：汽化供给单元
公开(公告)号：JP2016211021A
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：JP2015093494
申请日：2015-04-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 西野功二 , 池田信一 , 平尾圭志
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/448
CPC分类号： B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/31
摘要：【課題】気化器内から流量制御装置へ通じるガス流路内が液体で満たされる不具合を解消し得るに係る気化供給装置を提供する。【解決手段】液体Lを加熱して気化させる気化器2と、気化器から送出されるガスの流量を制御する流量制御装置3と、気化器2への液体の供給路4に介在された第1制御弁5と、気化器2で気化され流量制御装置3に送られるガスの圧力を検出するための圧力検出器6と、気化器2内の所定量を超える液体のパラメータを測定する液体検知部7Aと、圧力検出器6の検出した圧力値に基づいて気化器2に所定量の液体Lを供給するように第1制御弁5を制御するとともに、液体検知部7が液体を検知した時には第1制御弁5を閉じるように制御する制御装置8と、を備える。【選択図】図1
摘要翻译：以提供汽化和供给系统根据所要解决的是，气体流路从蒸发器到所述流量控制装置导致填充有液体的问题。和A汽化器2用于加热和汽化该液体L中，用于控制从蒸发器中，液体的插入进给路径4向蒸发器2输送的气体的流量的流量控制装置3 第一控制阀5，以测量所述压力检测器6，用于检测输送至所述流动控制装置3中的气体的压力的液体检测在气化器2被蒸发时，液体在蒸发器2超过预定量的参数和部7A，控制所述第一控制阀5供给具有预定量的基础上，压力检测器6的检测压力值，所述蒸发器2当液体检测部7检测液体中的液体L 和用于控制以关闭第一控制阀5，一个控制单元8。点域1

7. 发明专利

JP6578125B2 気化供給装置有权
公开(公告)号：JP6578125B2
公开(公告)日：2019-09-18
申请号：JP2015093494
申请日：2015-04-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 西野功二 , 池田信一 , 平尾圭志
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/448

8. 发明专利

JP6508674B2 流量校正装置有权
公开(公告)号：JP6508674B2
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：JP2015038058
申请日：2015-02-27
申请人：株式会社TI , 株式会社フジキン , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：高橋善和 , 川崎正登 , 藤本良平 , 平尾圭志 , 皆見幸男 , 吉田肇
IPC分类号： G01M3/02

9. 发明专利

JP2016161315A 流量校正装置有权
标题翻译：流量校准装置
公开(公告)号：JP2016161315A
公开(公告)日：2016-09-05
申请号：JP2015038058
申请日：2015-02-27
申请人：株式会社TI , 株式会社フジキン , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：高橋善和 , 川崎正登 , 藤本良平 , 平尾圭志 , 皆見幸男 , 吉田肇
IPC分类号： G01M3/02
摘要：【課題】微量なガス流量を計測対象とした計測器の校正を高精度で安定的かつ効率的に実施可能な流量校正装置を提供する。【解決手段】流量校正装置は、少なくとも、流出するガスを分子流とすることが可能とされるコンダクタンス部4と、導入されるガスをコンダクタンス部4に流送する上流部2と、コンダクタンス部を通過して流出するガスが導入される下流部3とを備え、下流部3は、下流部3内に導入されるガスの流量を計測する被校正対象の計測部8a、8bを有し、上流部2は、上流部2内の圧力を計測する上流側真空計6と、上流部2内の設定圧力値に対し上流側真空計6から出力される圧力値が等しくなるように流量を電磁弁により制御してガスを上流部2内に導入する圧力制御部5とを有する。【選択図】図1(a)
摘要翻译：要解决的问题：提供一种流量校准装置，通过该流量校准装置，可以高精度地稳定高效地执行设计成测量微小气体流量的测量仪器的校准。解决方案：流量校准装置包括：能够至少将流出气体转换为分子流的电导单元4，将导入气体流入导电单元4的上游单元2和通过导电单元的气体流出的下游单元3 介绍。下游单元3具有测量单元8a，8b，该测量单元测量导入下游单元3的气体的流量。上游单元2具有用于测量上游单元2内的压力的上游侧真空计6，以及用于通过电磁阀控制流量的压力控制单元5，使得从上游侧真空计6输出的压力值等于上游单元2内的设定压力值，并将气体引入上游单元2 图1（a）

10. 发明专利

JP5913888B2 気化器有权
公开(公告)号：JP5913888B2
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2011216885
申请日：2011-09-30
申请人：国立大学法人東北大学 , 株式会社フジキン
发明人：大見忠弘 , 白井泰雪 , 永瀬正明 , 山下哲 , 日高敦志 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 平尾圭志
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4481

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