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1. 发明专利

JPWO2018123854A1 液面計、それを備えた気化器、及び液面検知方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018123854A1
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：JP2017046102
申请日：2017-12-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 永瀬正明 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/31 , C23C16/448 , G01F23/22
摘要：本発明に係る液面計20は、測温抵抗体R11と、その上方に位置する温度測定体R12と、測温抵抗体及び温度測定体の温度を検出する温度検出部27と、測温抵抗体及び温度測定体が予め定められた温度差となるように、測温抵抗体に流される電流値を決定する電流制御部28と、決定された電流値の電流を測温抵抗体に流す電源部22と、液面の位置を検知する液面検知部29とを備え、液面検知部は、測温抵抗体に流れる電流値の予め定められた一定期間における変化幅の正負、及び変化幅が予め定められた値以上である否かにより、測温抵抗体に対する液面の相対位置の変化を検知する。これにより、測温抵抗体の特性のばらつきの影響を受けることなく、液面の位置を精度よく検出できる。

2. 发明专利

JP6578125B2 気化供給装置有权
公开(公告)号：JP6578125B2
公开(公告)日：2019-09-18
申请号：JP2015093494
申请日：2015-04-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 西野功二 , 池田信一 , 平尾圭志
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/448

3. 发明专利

JP6830265B2 液面計、それを備えた気化器、及び液面検知方法有权
公开(公告)号：JP6830265B2
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：JP2018559145
申请日：2017-12-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 永瀬正明 , 西野功二 , 池田信一
IPC分类号： G05D9/12 , B01J4/00 , H01L21/205 , H01L21/31 , C23C16/448 , G01F23/22

4. 发明专利

JPWO2020075600A1 圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020075600A1
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2019039017
申请日：2019-10-02
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 中谷貴紀 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介
IPC分类号： G01L19/14 , G01L19/00
摘要：流体通路3を形成したボディ4に流体通路3と連通する状態で気密状に取り付けられる筒状部材5と、筒状部材5に接続されてボディ4の流体通路3内を流れる流体の圧力を検出する圧力センサ部6とを備えた圧力センサ1であって、筒状部材5は、ニッケル−モリブデン−クロム合金材又はステンレス鋼材により形成され、圧力センサ部6は、流体が流入する受圧室7及び受圧室7に流入した流体に接するダイヤフラム8aを有しダイヤフラム8aにより一端が閉塞されたセンサボディ8と、ダイヤフラム8aの変位を圧力として出力する圧力検出素子2とを備え、センサボディ8は、コバルト−ニッケル合金材により形成され、開口側端部が筒状部材5の一端部に気密状に接続されている。

5. 发明专利

JP2016211021A 気化供給装置审中-公开
标题翻译：汽化供给单元
公开(公告)号：JP2016211021A
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：JP2015093494
申请日：2015-04-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：日高敦志 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 中谷貴紀 , 山下哲 , 西野功二 , 池田信一 , 平尾圭志
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/448
CPC分类号： B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/448 , C23C16/52 , H01L21/31
摘要：【課題】気化器内から流量制御装置へ通じるガス流路内が液体で満たされる不具合を解消し得るに係る気化供給装置を提供する。【解決手段】液体Lを加熱して気化させる気化器2と、気化器から送出されるガスの流量を制御する流量制御装置3と、気化器2への液体の供給路4に介在された第1制御弁5と、気化器2で気化され流量制御装置3に送られるガスの圧力を検出するための圧力検出器6と、気化器2内の所定量を超える液体のパラメータを測定する液体検知部7Aと、圧力検出器6の検出した圧力値に基づいて気化器2に所定量の液体Lを供給するように第1制御弁5を制御するとともに、液体検知部7が液体を検知した時には第1制御弁5を閉じるように制御する制御装置8と、を備える。【選択図】図1
摘要翻译：以提供汽化和供给系统根据所要解决的是，气体流路从蒸发器到所述流量控制装置导致填充有液体的问题。和A汽化器2用于加热和汽化该液体L中，用于控制从蒸发器中，液体的插入进给路径4向蒸发器2输送的气体的流量的流量控制装置3 第一控制阀5，以测量所述压力检测器6，用于检测输送至所述流动控制装置3中的气体的压力的液体检测在气化器2被蒸发时，液体在蒸发器2超过预定量的参数和部7A，控制所述第一控制阀5供给具有预定量的基础上，压力检测器6的检测压力值，所述蒸发器2当液体检测部7检测液体中的液体L 和用于控制以关闭第一控制阀5，一个控制单元8。点域1

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