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1. 发明专利

JP2014215218A 検査装置有权
标题翻译：检查装置
公开(公告)号：JP2014215218A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2013094044
申请日：2013-04-26
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー , Nuflare Technology Inc
发明人： TAYA MAKOTO , KIKUIRI NOBUTAKA
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/95607 , G01N21/956
摘要：【課題】対物レンズの特性を安定に保ち、高い精度で欠陥検出を行うことができる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置100は、マスク101の光学画像を取得する構成部Aとそこで取得された光学画像を用いて検査に必要な処理を行う構成部Bとを有する。構成部Aは、光源103、XYθテーブル102、照明光学系170、フォトダイオードアレイ105、センサ回路106およびレーザ測長システム122とそれらを収納して温度管理するチャンバ180を有する。検査装置100は、対物レンズユニット104に接続されて、チャンバ180の外部から対物レンズユニット104の内部に不活性ガスを供給するガス配管181をさらに有し、ガス配管181のチャンバ180内に配置される部分は、対物レンズユニット104の内部に供給される不活性ガスがチャンバ180の設定温度となる長さと配置構造を有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够稳定地保持物镜的特性并且以高精度执行缺陷检测的检查装置。解决方案：检查装置100包括：用于获取掩模101的光学图像的构造部分A; 以及配置部分B，用于使用在配置部分A中获取的光学图像执行检查所需的处理。配置部分A包括：光源103; 一个XY＆thetas; 表102; 照明光学系统170; 光电二极管阵列105; 传感器电路106; 和激光长度测量系统122; 以及用于存储这些元件并执行温度管理的室180。检查装置100连接到物镜单元104，并且还包括：用于从室180的外部向物镜单元104的内部供应惰性气体的气体管道181.设置在室180内的部分气体管道181具有供给到物镜单元104的内部的惰性气体成为室180的设定温度的长度和排列结构。

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