会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 8. 发明专利
    • 基板剥離装置および基板剥離方法
    • 基板剥离装置和基板剥离方法
    • JP2016183016A
    • 2016-10-20
    • JP2015063895
    • 2015-03-26
    • 東京応化工業株式会社
    • 菊地 浩之高瀬 真治升 芳明
    • G09F9/00B65H41/00
    • 【課題】支持体から樹脂基板を良好に剥離できる基板剥離装置および基板剥離方法を提供する。 【解決手段】支持体上に形成された平面形状が矩形の樹脂基板を剥離する基板剥離装置において、樹脂基板の少なくとも1つの角部に配置され、角部と樹脂基板との界面に挿入可能な挿入部と、挿入部が界面に挿入された状態で、挿入部と支持体とを相対移動させる移動機構と、樹脂基板を保持し、挿入部により界面に形成されたスリットを基点として支持体から剥離する剥離機構と、を備える基板剥離装置に関する。 【選択図】図4
    • 要解决的问题:提供一种从支撑介质平滑地剥离树脂基板并提供基板剥离方法的基板剥离装置。解决方案:基板剥离装置剥离具有矩形平面形状并形成在支撑件上的树脂基板 介质,包括:插入部,其设置在所述树脂基板的至少一个角部,并且可以插入到所述角部和所述树脂基板之间的界面中; 移动机构,其使插入部和支撑介质相对移动,插入部插入到界面中; 以及剥离机构,其保持树脂基板,并且将具有狭缝的树脂基板从支撑介质剥离,该狭缝通过插入部形成在界面上,设置为基点。图4