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1. 发明专利

TW200837323A 熱交換器及縱型熱處理裝置失效
简体标题：热交换器及纵型热处理设备
公开(公告)号：TW200837323A
公开(公告)日：2008-09-16
申请号：TW097100159
申请日：2008-01-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.
发明人：門部雅人 KADOBE, MASATO , 關谷健二 SEKIYA, KENJI , 櫻井誠 SAKURAI, MAKOTO , 茅本隆司 KAYAMOTO, TAKASHI
IPC分类号： F28F , F27B , H01L
摘要：本發明係提供一種可防止心部之疲勞斷裂及因疲勞斷裂所造成之自心部之漏水,同時可提升耐久性之熱交換器及縱型熱處理裝置。熱交換器包含有:心部,係具有業經積層之複數波狀薄板,並交互地形成空氣通路與冷卻水通路者;水冷配管連接部,係收納該心部,同時用以連接使冷卻水於心部之冷卻水通路中流通之水冷配管者;及殼體,係收納前述心部,並具有用以連接使空氣於該空氣通路中流通之排氣配管的排氣配管連接部者。又,前述心部係設置成可於前述殼體內自由移動,以吸收心部與殼體之熱膨脹差。
简体摘要：本发明系提供一种可防止心部之疲劳断裂及因疲劳断裂所造成之自心部之漏水,同时可提升耐久性之热交换器及纵型热处理设备。热交换器包含有:心部,系具有业经积层之复数波状薄板,并交互地形成空气通路与冷却水通路者;水冷配管连接部,系收纳该心部,同时用以连接使冷却水于心部之冷却水通路中流通之水冷配管者;及壳体,系收纳前述心部,并具有用以连接使空气于该空气通路中流通之排气配管的排气配管连接部者。又,前述心部系设置成可于前述壳体内自由移动,以吸收心部与壳体之热膨胀差。

2. 发明专利

TW200818372A 石英製品之烤焙方法及石英製品 QUARTZ-PRODUCT BAKING METHOD AND QUARTZ PRODUCT 审中-公开
简体标题：石英制品之烤焙方法及石英制品 QUARTZ-PRODUCT BAKING METHOD AND QUARTZ PRODUCT
公开(公告)号：TW200818372A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：TW096122749
申请日：2007-06-23
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：安倍勝彥 ANBAI, KATSUHIKO , 及川雅之 OIKAWA, MASAYUKI , 門部雅人 KADOBE, MASATO
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67109
摘要：本發明揭示一種石英製品之烤焙方法,其用於烤焙一第一石英製品及一第二石英製品,以移除包含於其中的一金屬,該等第一及第二石英製品係載入用於熱處理一半導體基板的一熱處理裝置內,從而使各石英製品之至少一部分接觸該熱處理裝置的一熱處理空氣,該石英製品之烤焙方法包含以下步驟:採用一夾具,其包括以一層狀方式可脫離地堆疊的一第一夾具元件及一第二夾具元件,將該第一石英製品放置於該第一夾具元件上,將該第二夾具元件堆疊於該第一夾具元件上,以及將該第二石英製品放置於該第二夾具元件上;將該夾具放置於一蓋子部件上,其中該石英製品係以一層狀方式放置,提升該蓋子部件以透過一較低開口將該夾具載入一烤焙垂直容器內,以及採用該蓋子部件密封該烤焙垂直容器之該較低開口;加熱該烤焙垂直容器內之一空氣;以及向該烤焙垂直容器內供應包含一氯化氫氣體之一烤焙氣體及用於增强該氯化氫氣體之反應性的一氣體。
简体摘要：本发明揭示一种石英制品之烤焙方法,其用于烤焙一第一石英制品及一第二石英制品,以移除包含于其中的一金属,该等第一及第二石英制品系加载用于热处理一半导体基板的一热处理设备内,从而使各石英制品之至少一部分接触该热处理设备的一热处理空气,该石英制品之烤焙方法包含以下步骤:采用一夹具,其包括以一层状方式可脱离地堆栈的一第一夹具组件及一第二夹具组件,将该第一石英制品放置于该第一夹具组件上,将该第二夹具组件堆栈于该第一夹具组件上,以及将该第二石英制品放置于该第二夹具组件上;将该夹具放置于一盖子部件上,其中该石英制品系以一层状方式放置,提升该盖子部件以透过一较低开口将该夹具加载一烤焙垂直容器内,以及采用该盖子部件密封该烤焙垂直容器之该较低开口;加热该烤焙垂直容器内之一空气;以及向该烤焙垂直容器内供应包含一氯化氢气体之一烤焙气体及用于增强该氯化氢气体之反应性的一气体。

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