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1. 发明专利

TW201530279A 氣體分流供應裝置以及氣體分流供應方法审中-公开
简体标题：气体分流供应设备以及气体分流供应方法
公开(公告)号：TW201530279A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103128436
申请日：2014-08-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：髙橋栄治 , TAKAHASHI, EIJI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：在使來自壓力式流量控制裝置的氣流通過複數個分流路進行分流供應的氣體分流供應裝置中，防止氣體導入時分流路中的氣體產生過衝，並且提升分流量控制的應答性、穩定性及控制精度。本發明之氣體分流供應裝置，具備：流量控制裝置，係控制來自氣體供應源的氣體之流量；複數個分流路(L1~Ln)，係並列連接而使來自流量控制裝置的氣體分流到氣體使用部位；熱式流量感測器，係介設在各分流路(L1~Ln)；電動閥28a~28n，係設置在熱式流量感測器(29a~29n)的下游側；控制器(16a~16n)，係控制各電動閥(28a~28n)的開閉；以及流量比設定運算器(RSC)，係從外部輸入流量比指令值並且依據各熱式流量感測器(29a~29n)的流量來運算總流量，且根據該運算後的總流量和前述流量比指令值來運算各分流路(L1~Ln)的流量值，將該運算流量值作為設定流量而輸入到各控制器(16a~16n)；首先，將從前述流量比設定運算器 (RSC)輸入的設定流量值成為最大的任一分流路(L1~Ln)之開啟度保持於一定值而作為非控制狀態，並且將其他分流路的開啟度控制在設定開啟度，然後，藉由各控制器(16a~16n)反饋控制各分流路(L1~Ln)的分流量。
简体摘要：在使来自压力式流量控制设备的气流通过复数个分流路进行分流供应的气体分流供应设备中，防止气体导入时分流路中的气体产生过冲，并且提升分流量控制的应答性、稳定性及控制精度。本发明之气体分流供应设备，具备：流量控制设备，系控制来自气体供应源的气体之流量；复数个分流路(L1~Ln)，系并列连接而使来自流量控制设备的气体分流到气体使用部位；热式流量传感器，系介设在各分流路(L1~Ln)；电动阀28a~28n，系设置在热式流量传感器(29a~29n)的下游侧；控制器(16a~16n)，系控制各电动阀(28a~28n)的开闭；以及流量比设置运算器(RSC)，系从外部输入流量比指令值并且依据各热式流量传感器(29a~29n)的流量来运算总流量，且根据该运算后的总流量和前述流量比指令值来运算各分流路(L1~Ln)的流量值，将该运算流量值作为设置流量而输入到各控制器(16a~16n)；首先，将从前述流量比设置运算器 (RSC)输入的设置流量值成为最大的任一分流路(L1~Ln)之打开度保持于一定值而作为非控制状态，并且将其他分流路的打开度控制在设置打开度，然后，借由各控制器(16a~16n)反馈控制各分流路(L1~Ln)的分流量。

2. 发明专利

TWI483089B 流體控制裝置有权
简体标题：流体控制设备
公开(公告)号：TWI483089B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW099105894
申请日：2010-03-02
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀨潤 , HIROSE, JUN , 手塚一幸 , TEZUKA, KAZUYUKI , 內田陽平 , UCHIDA, YOHEI , 小艾睦典 , KOYOMOGI, MUTSUNORI , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396

3. 发明专利

TWI534576B 氣體分流供應裝置以及氣體分流供應方法有权
简体标题：气体分流供应设备以及气体分流供应方法
公开(公告)号：TWI534576B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103128436
申请日：2014-08-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：髙橋栄治 , TAKAHASHI, EIJI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761

5. 发明专利

TWI687658B 流體控制器的異常檢測裝置、異常檢測系統、異常檢測方法及流體控制器有权
简体标题：流体控制器的异常检测设备、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器
公开(公告)号：TWI687658B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW107104994
申请日：2018-02-12
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 川田幸司 , KAWADA, KOJI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 河内勇人 , KAWAUCHI, YUTO
IPC分类号： G01F15/02 , G05D16/20

6. 发明专利

TW201920761A 流體控制裝置审中-公开
简体标题：流体控制设备
公开(公告)号：TW201920761A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107125647
申请日：2018-07-25
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 中谷貴紀 , NAKATANI, TAKATOSHI , 中辻景介 , NAKATSUJI, KEISUKE , 平尾圭志 , HIRAO, KEIJI , 皆見幸男 , MINAMI, YUKIO , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： C23C16/52 , H01L21/31
摘要：為了使用加熱器來適當地進行原料的供給，流體控制裝置(100)，是具備：在內部設有流路或流體收容部的流體加熱部(1)、以及加熱流體加熱部的加熱器(10)，加熱器，具有：發熱體(10a)、以及與發熱體導熱連接並以包圍流體加熱部的方式來配置的金屬製之傳熱構件(10b)，傳熱構件之與流體加熱部相對向的面，是含有為了提升放熱性而被表面處理過的面(S1)。
简体摘要：为了使用加热器来适当地进行原料的供给，流体控制设备(100)，是具备：在内部设有流路或流体收容部的流体加热部(1)、以及加热流体加热部的加热器(10)，加热器，具有：发热体(10a)、以及与发热体导热连接并以包围流体加热部的方式来配置的金属制之传热构件(10b)，传热构件之与流体加热部相对向的面，是含有为了提升放热性而被表面处理过的面(S1)。

7. 发明专利

TWI644092B 濃度測定裝置有权
简体标题：浓度测定设备
公开(公告)号：TWI644092B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：TW105126105
申请日：2016-08-16
申请人：國立大學法人德島大學 , TOKUSHIMA UNIVERSITY , 日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：出口祥啓 , DEGUCHI, YOSHIHIRO , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 河嶋将慈 , KAWASHIMA, MASAYOSHI , 田中一輝 , TANAKA, KAZUTERU
IPC分类号： G01N21/39

8. 发明专利

TWI643048B 流量訊號修正方法及使用其之流量控制裝置有权
简体标题：流量信号修正方法及使用其之流量控制设备
公开(公告)号：TWI643048B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW105135098
申请日：2016-10-28
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 河嶋将慈 , KAWASHIMA, MASAYOSHI , 今井嵩浩 , IMAI, TAKAHIRO
IPC分类号： G05D7/06 , G05D7/03 , G06G5/00 , G01F1/34

9. 发明专利

TWI632609B 氣化供給裝置有权
简体标题：气化供给设备
公开(公告)号：TWI632609B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW105112439
申请日：2016-04-21
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 中谷貴紀 , NAKATANI, TAKATOSHI , 山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 平尾圭志 , HIRAO, KEIJI
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/205 , C23C16/448

10. 发明专利

TW201814254A 流量控制機器、流量控制機器的流量校正方法、流量測定機器及使用流量測定機器的流量測定方法审中-公开
简体标题：流量控制机器、流量控制机器的流量校正方法、流量测定机器及使用流量测定机器的流量测定方法
公开(公告)号：TW201814254A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106122260
申请日：2017-07-03
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F15/04 , G05D7/06 , H01L21/67
CPC分类号： G01F1/00 , G01F1/34 , G01F1/42 , G01F25/00
摘要：在與流量基準器所計測的流量進行比較之基礎下進行流量校正的流量控制機器之校正方法中，針對複數個流量設定來設定規定容許誤差範圍，將複數個流量設定之中之至少1個特定流量設定的容許誤差範圍，設定為小於規定容許誤差範圍。
简体摘要：在与流量基准器所计测的流量进行比较之基础下进行流量校正的流量控制机器之校正方法中，针对复数个流量设置来设置规定容许误差范围，将复数个流量设置之中之至少1个特定流量设置的容许误差范围，设置为小于规定容许误差范围。

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