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    • 1. 发明申请
    • ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法
    • 电网极化器及其制造方法
    • WO2009123290A1
    • 2009-10-08
    • PCT/JP2009/056902
    • 2009-04-02
    • 旭硝子株式会社海田 由里子坂本 寛見矢木 崇平桜井 宏巳池田 康宏志堂寺 栄治川本 昌子
    • 海田 由里子坂本 寛見矢木 崇平桜井 宏巳池田 康宏志堂寺 栄治川本 昌子
    • G02B5/30G02F1/1335
    • G02B5/3058G02F1/133536G02F2001/133548
    •  可視光領域において、表面側から入射する光に対して高い偏光度、p偏光透過率およびs偏光反射率を示し、かつ裏面側から入射する光に対して低いs偏光反射率を示すワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法を提供する。  光透過性基板14の表面にピッチ(Pp)で形成された凸条12を有し、凸条12の上面16、第1の側面18、第2の側面20の計3面が金属細線22で被覆されたワイヤグリッド型偏光子10であって、(a)第1の側面18を被覆している金属細線22の厚さDm1および第2の側面20を被覆している金属細線22の厚さDm2が20nm以下であり、(b)上面16を被覆している金属細線22の厚さHmおよび凸条12の高さHpが40nm≦Hm≦0.5×Hpを満足し、(c)Dm1、Dm2、Ppおよび凸条12の幅DpがDm1+Dm2≦0.4×(Pp-Dp)を満足する。
    • 公开了一种线栅偏振器,其对于从表面侧入射的光呈现出高度的偏振度,p偏振透射率和s偏振反射率,以及从背面进入的光的低s偏振反射率。 还公开了一种用于制造线栅偏振器的方法。 线栅偏振器(10)在形成有间距Pp的透光基板(14)的表面上具有脊(12),并且每个脊(12)的三个表面 - 上表面(16),第一侧 表面(18)和第二侧表面(20)被薄金属线覆盖,其中:(a)覆盖第一侧表面(18)的细金属丝的厚度Dm1和薄金属线的厚度Dm2 覆盖第二侧面(20)的线材为20nm以下; (b)覆盖上表面(16)的细金属丝(22)的厚度Hm和脊(12)的高度Hp满足关系40nm = Hm = 0.5xHp; 和(c)Dm1,Dm2,Pp和脊(12)的宽度Dp满足关系Dm1 + Dm2 = 0.4x(Pp-Dp)。
    • 2. 发明申请
    • ワイヤグリッド型偏光子の製造方法
    • 一种线网偏振器的制造方法
    • WO2009125751A1
    • 2009-10-15
    • PCT/JP2009/057076
    • 2009-04-06
    • 旭硝子株式会社海田 由里子坂本 寛見矢木 崇平桜井 宏巳池田 康宏志堂寺 栄治川本 昌子
    • 海田 由里子坂本 寛見矢木 崇平桜井 宏巳池田 康宏志堂寺 栄治川本 昌子
    • G02B5/30G02F1/1335
    • G02B5/3058G02F1/133536G02F2001/133548
    •  可視光領域において高い偏光分離能を示し、かつ短波長領域の透過率が向上したワイヤグリッド型偏光子を容易に製造できる方法を提供する。  表面に複数の凸条12が形成された光透過性基板14に下地層22、第1の金属細線24、第2の金属細線30を、条件(A)~(F)を満足する蒸着法で形成する。(A)角度θ L をなす方向から凸条12の上面16および第1の側面18に下地層材料を蒸着する。(B)条件(A)とは逆の角度θ R をなす方向から第1の下地層22aの上面および第2の側面20に下地層材料を蒸着する。(C)θ L 、θ R は60゜~90゜とする。(D)下地層22の高さHma1は1~20nmとする。(E)下地層22の上面および溝26の底面28に金属または金属化合物を蒸着する。(F)第1の金属細線24の高さHma2および凸条の高さHpが40nm≦Hma2≦0.9×Hpを満足する。
    • 提供了一种能够容易地制造在可见光区域中分离偏振光而具有高功能性的线栅偏振器的方法,并且在短波长区域中具有改善的透射率。 通过在光学透明基板(14)上实现条件(A)至(F)的气相沉积方法形成底层(22),第一薄金属线(24)和第二细金属丝(30) 在其表面上形成有多个脊(12)。 (A)从形成角度θL的方向在上述表面(16)和脊部(12)的第一侧面(18)上蒸镀下层材料。 (B)从形成与条件(A)相反的角度θR的方向,将底层材料蒸镀在第一基底(22a)的上表面和第二侧面(20)上。 (C)ΔL和ΔR在60°和90°之间。 (D)底层(22)的高度(Hma1)为1〜20nm。 (E)金属或金属化合物气相沉积在底层(22)的上表面和凹槽(26)的底表面(28)上。 (F)第一细金属丝(24)的高度(Hma2)和脊的高度(Hp)满足关系40nm = Hma2 = 0.9×Hp。