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    • 3. 发明专利
    • 圧力センサ
    • 压力传感器
    • JP2015099106A
    • 2015-05-28
    • JP2013239454
    • 2013-11-20
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 風間 敦小野塚 準二小貫 洋飛田 美帆日尾 真之
    • G01L9/04
    • G01L9/0055G01L19/0038G01L19/0084G01L19/04G01L9/0044
    • 【課題】ダイアフラム上に歪ゲージを形成した構成の圧力センサにおいて、歪ゲージの位置ずれによるセンサ特性の変化を抑制し、かつ温度変化に対するセンサ出力の変化を抑制する。 【解決手段】長手と短手を備えたダイアフラム上に、ブリッジ回路を構成する特性の等しい4つの歪ゲージが形成されたセンサチップを配置し、ダイアフラムに加えられた圧力に比例した電圧出力をブリッジ回路で検出する圧力センサであって、4つの歪ゲージは、2つを短手に沿って、他の2つを長手に沿って、ダイアフラムの中央付近に近接して配置され、センサチップから見て長手の方向に、ダイアフラムの厚みが薄い部分を有する構成とする。 【選択図】 図1
    • 要解决的问题:为了抑制由于应变仪的位置偏差引起的传感器特性的变化,并且还抑制了传感器输出与温度变化的变化相对于其中形成有应变仪的组成的压力传感器的温度变化 隔膜。提供了一种压力传感器,其中具有四个应变计的传感器芯片的特性相同,用于配置布置在具有长边和短边的隔膜上的桥接电路以及与压力成比例的电压输出 通过桥式电路检测施加到隔膜的四个应变计,其中四个应变计布置在隔膜的中心附近,其中两个沿着短边,两个沿着长边布置,并且被配置为具有 从传感器芯片看,隔膜的长边方向的薄壁部分。
    • 8. 发明专利
    • 圧力センサ
    • 压力传感器
    • JP2016033460A
    • 2016-03-10
    • JP2014155683
    • 2014-07-31
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 風間 敦太田 裕之小野塚 準二小貫 洋飛田 美帆芝田 瑞紀稲波 久雄
    • H01L29/84G01L9/00
    • G01L9/00H01L29/84
    • 【課題】ダイアフラムを有するセンサ筐体にセンサチップを接合した構成の圧力センサにおいて、感度が高く、特性変化が小さく精度のよい圧力センサを実現すること。 【解決手段】ダイアフラムを有するセンサ筐体と、前記センサ筐体上に設けられるセンサチップと、センサチップ上に設けられる歪ゲージと、を有する圧力センサにおいて、前記センサチップは薄い接合部を介して前記センサ筐体に接続されており、前記接合部の面積は前記センサチップおよび前記ダイアフラムの面積よりも小さく、前記歪ゲージは前記接合部の投影面内に配置される構成とする。 【選択図】 図1
    • 要解决的问题:为了提供一种具有传感器壳体的压力传感器,其具有与传感器芯片连接的隔膜,该压力传感器具有高灵敏度,抑制特性变化并且具有高精度。解决方案:提供一种压力传感器,其具有 具有隔膜的传感器壳体,设置在传感器壳体上的传感器芯片和设置在传感器芯片上的变形计,其中传感器芯片经由薄的连接部分连接到传感器壳体; 连接部分的面积小于传感器芯片和隔膜的面积; 变形量规布置在连接部件的投影面上。图1: