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    • 3. 发明专利
    • 圧力センサ
    • 压力传感器
    • JP2016033460A
    • 2016-03-10
    • JP2014155683
    • 2014-07-31
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 風間 敦太田 裕之小野塚 準二小貫 洋飛田 美帆芝田 瑞紀稲波 久雄
    • H01L29/84G01L9/00
    • G01L9/00H01L29/84
    • 【課題】ダイアフラムを有するセンサ筐体にセンサチップを接合した構成の圧力センサにおいて、感度が高く、特性変化が小さく精度のよい圧力センサを実現すること。 【解決手段】ダイアフラムを有するセンサ筐体と、前記センサ筐体上に設けられるセンサチップと、センサチップ上に設けられる歪ゲージと、を有する圧力センサにおいて、前記センサチップは薄い接合部を介して前記センサ筐体に接続されており、前記接合部の面積は前記センサチップおよび前記ダイアフラムの面積よりも小さく、前記歪ゲージは前記接合部の投影面内に配置される構成とする。 【選択図】 図1
    • 要解决的问题:为了提供一种具有传感器壳体的压力传感器,其具有与传感器芯片连接的隔膜,该压力传感器具有高灵敏度,抑制特性变化并且具有高精度。解决方案:提供一种压力传感器,其具有 具有隔膜的传感器壳体,设置在传感器壳体上的传感器芯片和设置在传感器芯片上的变形计,其中传感器芯片经由薄的连接部分连接到传感器壳体; 连接部分的面积小于传感器芯片和隔膜的面积; 变形量规布置在连接部件的投影面上。图1: